一种气体稀释装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气体稀释装置，包括机箱，机箱内设置有气路流路系统、温控组件和控制组件；控制组件与气路流路系统及温控组件连接，温控组件用于对标气进行加热；气路流路系统包括MFC、比例阀、压力传感器、三通接头A、三通接头B和混合腔，三通接头A的两个进口分别与MFC及比例阀连接，三通接头A的出口与混合腔连接，三通接头B的进口与混合腔连接，三通接头B的两个出口分别连接有排空接口和标气输出接口；MFC的进口端连接有稀释气输入接口；比例阀连接有标气输入接口。本实用新型专利技术在实际的使用中将标气的控制采用压力控制方式来实现，提高了标气流量的准确度与降低受工况温度影响的程度。程度。程度。

【技术实现步骤摘要】
一种气体稀释装置


[0001]本技术涉及一种气体稀释
，具体涉及一种气体稀释装置。

技术介绍

[0002]稀释是指将比较干净(稀释气含量在99.999％以上)的稀释气混入较高浓度的标气的过程，根据混入的稀释气与标气的比例可知其稀释倍数。
[0003]标气：又称标准气体，为气体工业名词。标准物质是浓度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，进行量值仲裁等。
[0004]稀释气：一种杂质含量很低的惰性气体，一般要求主要成分含量要大于等于99.999％(俗称5个9以上的气体)，市面常用稀释气有氮气、氦气等。
[0005]在线有机分析仪器在使用过程中需要用到低浓度的标气，而一般市场上购置的标气多为高浓度标气比如：100ppb，1000ppb等浓度。而有机在线分析仪器需要使用到1ppb、2ppb、5ppb等低浓度标气，而动态稀释仪可以实现实时提供不同低浓度的标气的作用，从而解决在线有机分析仪器的连续不间断使用低浓度标气的需求。
[0006]如图4所示，现有技术中采用两个MFC(气体质量流量控制器)实现对标气与稀释气的流量进行比例关系的实时控制来达到动态稀释的目的；在实际的使用中，如果标气是100ppb的浓度，接入到图1标气的位置；标气经过MFC1控制到1mL/min的流量，稀释气经过MFC2控制到99mL/min的流量，这样就能够实时输出稀释了100倍的气体，即1ppb的标气。
[0007]但是，在实际的使用中，稀释比例的准确度要靠两个MFC的流量准确度来保证，一般来说稀释气是大量程MFC准确度不成问题，但是标气MFC一般控制流量要求控制到1mL/min甚至更小的流量，此时对MFC的精确度要求比较高，而且受空流量本来很小，受温度影响程度也就越大。即：标气流量采用MFC控制，容易受MFC精度与工况温度的影响，同时，MFC造价较高。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种气体稀释装置，其在实际的使用中将标气的控制采用压力控制方式来实现，以提高标气流量的准确度与降低受工况温度影响的程度。
[0009]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0010]一种气体稀释装置，包括机箱，机箱内设置有气路流路系统、温控组件和控制组件；控制组件与气路流路系统及温控组件连接，温控组件用于对标气进行加热；
[0011]其中，气路流路系统包括MFC、比例阀、压力传感器、三通接头A、三通接头B和混合腔，三通接头A的两个进口分别与MFC及比例阀连接，三通接头A的出口与混合腔连接，三通接头B的进口与混合腔连接，三通接头B的两个出口分别连接有排空接口和标气输出接口；
[0012]MFC的进口端连接有稀释气输入接口；比例阀连接有标气输入接口，所述压力传感
器设置在比例阀上并用于检测比例阀内部压力；排空接口、标气输出接口、稀释气输入接口及标气输入接口设置在机箱上。
[0013]其中，比例阀与三通接头A之间通过32mm管线连接。
[0014]进一步限定，温控组件包括加热棒、铝热板和热电偶，加热棒与铝热板紧密连接，32mm管线设置在铝热板上，加热棒及热电偶均与控制组件连接。
[0015]其中，比例阀底部设置有加热片。
[0016]进一步限定，加热片为PTC加热片。
[0017]其中，控制组件包括MCU控制板、PCB安装板、电源、PCB转接板，MCU控制板安装在PCB安装板上，MCU控制板通过电源开关与电源连接，PCB转接板与MCU控制板连接，MFC、压力传感器、比例阀、加热棒、热电偶及加热片均与所述MCU控制板连接，PCB转接板与安装在机箱上的串行通信接口连接。
[0018]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0019]本技术主要由气路流路系统、温控组件和控制组件组成，通过设置的控制组件来实现对气路流路系统、温控组件的控制，在温控组件的作用下为稀释过程提供一个恒温环境，降低了仪器受环境影响程度，增加了装置的稳定性；同时，气路流路系统包括MFC、比例阀、压力传感器、三通接头A、三通接头B和混合腔，三通接头A的两个进口分别与MFC及比例阀连接，三通接头A的出口与混合腔连接，三通接头B的进口与混合腔连接，三通接头B的两个出口分别连接有排空接口和标气输出接口；本技术只使用一个MFC，减少了MFC的使用数量，降低了生成成本，减少工况环境带来的影响；本专利技术将标气的控制采用压力控制方式来实现，提高了标气流量的准确度与降低了受工况温度影响的程度。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1为本技术整体结构示意图。
[0022]图2为本技术气路流路系统的整体原理图。
[0023]图3为本技术MCU控制板与MFC、比例阀等部件的连接关系示意图。
[0024]图4为现有技术中气体稀释原理图。
[0025]附图标记：
[0026]1‑
MCU控制板，2
‑
电源，3
‑
PCB转接板，4
‑
串行通信接口，5
‑
电源插头，6
‑
机箱，7
‑
稀释气输入接口，8
‑
标气输入接口，9
‑
标气输出接口，10
‑
排空接口，11
‑
电源开关，12
‑
加热片，13
‑
压力传感器，14
‑
比例阀，15
‑
MFC，16
‑
三通接头A，17
‑
三通接头B，18
‑
管线，19
‑
混合腔，20
‑
热电偶，21
‑
铝热板，22
‑
加热棒。
具体实施方式
[0027]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本技术实施例的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描
述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0028]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体稀释装置，包括机箱，其特征在于：机箱内设置有气路流路系统、温控组件和控制组件；控制组件与气路流路系统及温控组件连接，温控组件用于对标气进行加热；其中，气路流路系统包括MFC、比例阀、压力传感器、三通接头A、三通接头B和混合腔，三通接头A的两个进口分别与MFC及比例阀连接，三通接头A的出口与混合腔连接，三通接头B的进口与混合腔连接，三通接头B的两个出口分别连接有排空接口和标气输出接口；MFC的进口端连接有稀释气输入接口；比例阀连接有标气输入接口，所述压力传感器设置在比例阀上并用于检测比例阀内部压力；排空接口、标气输出接口、稀释气输入接口及标气输入接口设置在机箱上。2.根据权利要求1所述的一种气体稀释装置，其特征在于：比例阀与三通接头A之间通过32mm管线连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹辉，
申请(专利权)人：四川晟实科技有限公司，
类型：新型
国别省市：