一种晶圆检查机制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆检查机，涉及晶圆检查技术领域；为了解决同步性问题；具体包括底座，所述底座的顶部外壁固定安装有防护罩，防护罩的内侧壁通过X/Y平移组件连接有图像采集组件，所述图像采集组件包括相互滑动连接的矩形柱与矩形框，所述矩形柱的内壁分别依次固定安装有工业相机与显微镜，且所述工业相机的拍照端正对所述显微镜的观察端。本发明专利技术X/Y平移组件可带动矩形框沿着水平面移动，当矩形柱移动至限位凸起所处位置时，限位凸起对矩形柱进行限位，可使其下移，达到取像功能，从而可根据限位凸起位置的布置，确定拍照取像的位置，再通过按压闭合式信号开关的信号感应，达到位置确定与取像的同步性。确定与取像的同步性。确定与取像的同步性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检查机


[0001]本专利技术涉及晶圆检查
，尤其涉及一种晶圆检查机。

技术介绍

[0002]集成电路制造过程中，对于晶圆的检查非常普遍，也十分重要，其在检查时，有很重要的一个海晒过程就是利用显微镜与摄像机配合，对晶圆表面进行倍数放大后摄像，然后对影像进行肉眼分析，观察其表面是否缺陷、污损、加工残留等缺陷。
[0003]经检索，中国专利公开号为CN111883459A的专利，公开了一种晶圆检查机，包括LP组件、机械手组件、预对准组件、宏观检测组件、晶背检查组件、自动跑位组件、第一壳体、传感器、第一固定板、盖板、送料臂、箱体、连接杆、机械臂、底座、安装板、第二固定板、第一通孔、第二壳体、承片台、第二通孔、第一支撑臂、第三壳体、支撑台、显示器、显微镜、固定块、第二支撑臂、顶盖、警报灯、观察窗、滑轨、滑块和侧门，其特征在于：所述支撑台顶部中心一侧与第三壳体底部固定连接，所述支撑台顶部中心与显微镜底部固定连接，所述显微镜一侧设置有显示器。
[0004]上述专利存在以下不足：其利用X/Y平面移动相机和显微镜，从而对晶圆进行图像获取，然后再对图像分析，而针对于此，其虽未完全公开，但是其图像获取无非是摄像和拍照两种形式，采用摄像形式时，其需要对视频的每一帧进行分析，数据处理的负荷较大，速度较慢，而采用拍照形式时，其平面移动位置与相机的拍照时机无联动，会导致拍照重叠或者漏拍等情况，所以，还需要进一步改进。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆检查机。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种晶圆检查机，包括底座，所述底座的顶部外壁固定安装有防护罩，防护罩的内侧壁通过X/Y平移组件连接有图像采集组件，所述图像采集组件包括相互滑动连接的矩形柱与矩形框，所述矩形柱的内壁分别依次固定安装有工业相机与显微镜，且所述工业相机的拍照端正对所述显微镜的观察端，所述矩形柱的一侧外壁固定安装有感应板，矩形框位于感应板的正下方外壁固定安装有按压闭合式信号开关，所述按压闭合式信号开关与工业相机的启动端控制连接。
[0007]优选地：所述防护罩的顶部内侧壁固定安装有顶板，顶板的底部外壁固定安装有均匀的且按照预设拍摄位置布置的限位凸起。
[0008]进一步地：所述矩形柱的外壁固定安装有限位板，限位板与矩形框的相对一侧外壁固定安装有弹簧一。
[0009]在前述方案的基础上：所述矩形柱的顶部外壁滚动连接有滚珠。
[0010]在前述方案中更佳的方案是：所述底座的顶部外壁通过伸缩导向柱活动连接有晶圆放置台，所述底座与晶圆放置台的相对一侧外壁固定安装有电动伸缩杆。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述矩形柱的底部外壁固定安装有密闭凸起，密闭凸起的底部外壁粘接有橡胶衬套，所述矩形柱的底部内壁固定安装有LED灯珠，且所述LED灯珠的控制端与按压闭合式信号开关信号端连接，所述橡胶衬套的截面为空心三角形结构。
[0012]同时，所述顶板通过连接组件连接限位凸起，所述连接组件包括框架和滑块二，所述限位凸起固定安装于滑块二的底部外壁上，所述滑块二的顶部外壁通过铰接轴二转动连接有同一组交叉剪叉臂组件二，所述框架的内壁转动连接有丝杠二，其中一个端部的滑块二与框架固定连接，其余的所述滑块二均滑动连接于框架的内壁上，另一个端部的所述滑块二与丝杠二通过螺纹连接。
[0013]作为本专利技术的一种优选的：所述丝杠二的端部固定安装有旋钮二，所述丝杠二的外壁通过螺纹连接有防松螺母二。
[0014]同时，所述连接组件还包括龙门架，所述龙门架固定安装于框架的顶部外壁上，所述龙门架的顶部外壁通过铰接轴一转动连接有交叉剪叉臂组件一，所述顶板的底部外壁固定安装有支撑板，支撑板的内壁固定安装有丝杠一，其中一个端部的所述龙门架固定安装于顶板的底部外壁，其余的所述龙门架均通过直线滑轨与滑块一滑动连接于顶板的底部外壁，另一个端部的所述龙门架于丝杠一通过螺纹连接。
[0015]作为本专利技术的一种更优的方案：所述丝杠一的端部固定安装有旋钮一，所述丝杠一的外壁通过螺纹连接有防松螺母一。
[0016]本专利技术的有益效果为：1.该晶圆检查机，X/Y平移组件可带动矩形框沿着水平面移动，当矩形柱移动至限位凸起所处位置时，限位凸起对矩形柱进行限位，可使其下移，达到取像功能，从而可根据限位凸起位置的布置，确定拍照取像的位置，再通过按压闭合式信号开关的信号感应，达到位置确定与取像的同步性。
[0017]2.该晶圆检查机，当矩形柱接触限位凸起，下移时，首先橡胶衬套会接触晶圆表面，通过四周的接触，将矩形柱的内腔与外界隔离，阻挡外界光线进入矩形柱的内腔内，并且此时按压闭合式信号开关闭合，产生信号，控制工业相机拍摄的同时也会控制LED灯珠闪光，通过LED灯珠的光线补偿进行图像获取，在保证了拍照、闪光同步性，降低能耗的同时，也杜绝了外界光线的影响，增加了图像获取的清晰度，从而增加了后续分析的精准度。
[0018]3.该晶圆检查机，橡胶衬套的空心三角形结构截面，一方面能使得其竖直的边能产生较为可靠的支撑力，从而达到较好的密闭效果，阻挡外界光线进入，另一方面，当橡胶衬套与晶圆之间压力较大时，橡胶衬套竖边会向内侧倾斜，从而使得橡胶衬套的斜边接触晶圆，降低单点压力，防止晶圆受损。
[0019]4.该晶圆检查机，当丝杠二转动时，可通过螺纹连接作用带动最端部的一个滑块二移动，而另一端部的滑块二固定，可使其距离改变，并且滑块二连接同一个交叉剪叉臂组件二，通过交叉剪叉臂组件二的结构可使得滑块二无论如何调节均为等距排布，从而使得限位凸起的一个方向距离可根据实际拍照定位需求进行调节，当丝杠一转动时，可驱动一个端部的龙门架移动，从而通过交叉剪叉臂组件一带动其余的非端部龙门架移动，从而驱动框架移动，使得限位凸起的另一个方向具体可根据实际拍照定位需求调节，防止取像点不均匀造成的取像区域重叠或者间隔，在保证实用性的同时也保证了精度。
[0020]5.该晶圆检查机，调节完毕后，可拧紧防松螺母二，使其贴在框架的侧壁，通过其
与框架的相互作用力，增加丝杠二上配合螺纹副的摩擦力，拧紧防松螺母一，使其贴在支撑板的侧壁，通过其与支撑板的相互作用力，增加丝杠一上配合螺纹副的摩擦力，从而达到防松目的，增加装置可靠性。
附图说明
[0021]图1为本专利技术提出的一种晶圆检查机的整体结构示意图；图2为本专利技术提出的一种晶圆检查机的图象采集组件主视结构示意图；图3为本专利技术提出的一种晶圆检查机的图象采集组件剖视结构示意图；图4为本专利技术提出的一种晶圆检查机的局部结构示意图；图5为本专利技术提出的一种晶圆检查机的实施例2中顶板与限位凸起配合结构示意图；图6为本专利技术提出的一种晶圆检查机的连接组件部分结构示意图；图7为本专利技术提出的一种晶圆检查机的连接组件另一部分结构示意图。
[0022]图中：1、底座；2、防护罩；3、X/Y平移组件；4、顶板；5、限位凸起；6、图像采集组件；7、矩形柱；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检查机，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶部外壁固定安装有防护罩（2），防护罩（2）的内侧壁通过X/Y平移组件（3）连接有图像采集组件（6），所述图像采集组件（6）包括相互滑动连接的矩形柱（7）与矩形框（8），所述矩形柱（7）的内壁分别依次固定安装有工业相机（12）与显微镜（13），且所述工业相机（12）的拍照端正对所述显微镜（13）的观察端，所述矩形柱（7）的一侧外壁固定安装有感应板（10），矩形框（8）位于感应板（10）的正下方外壁固定安装有按压闭合式信号开关（11），所述按压闭合式信号开关（11）与工业相机（12）的启动端控制连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于，所述防护罩（2）的顶部内侧壁固定安装有顶板（4），顶板（4）的底部外壁固定安装有均匀的且按照预设拍摄位置布置的限位凸起（5）。3.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于，所述矩形柱（7）的外壁固定安装有限位板（18），限位板（18）与矩形框（8）的相对一侧外壁固定安装有弹簧一（17）。4.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于，所述矩形柱（7）的顶部外壁滚动连接有滚珠（9）。5.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于，所述底座（1）的顶部外壁通过伸缩导向柱（19）活动连接有晶圆放置台（20），所述底座（1）与晶圆放置台（20）的相对一侧外壁固定安装有电动伸缩杆（21）。6.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于，所述矩形柱（7）的底部外壁固定安装有密闭凸起（16），密闭凸起（16）的底部外壁粘接有橡胶衬套（15），所述矩形柱（7）的底部内壁固定安装有LED灯珠（14），且所述LED灯珠（14）的控制端与按压闭合式...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅力，胡冬云，
申请(专利权)人：江苏卓玉智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：