一种长晶炉籽晶杆循环水机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种长晶炉籽晶杆循环水机构，包括直角减速电机(1)、籽晶杆外杆(4)、籽晶杆内杆(5)和旋转接头(6)；旋转接头(6)安装在述籽晶杆内杆(5)上端；直角减速电机(1)与籽晶杆外杆(4)连接以带动籽晶杆外杆(4)旋转；籽晶杆内杆(5)伸入籽晶杆外杆(4)内，籽晶杆内杆(5)的底端与籽晶杆外杆(4)的底端之间具有供流体通过的间隙；旋转接头(6)外壁与籽晶杆外杆(4)连接。解决了现有技术中密封圈因磨损产生的冷却水泄露问题；旋转接头安装在最上方，拆卸更换安装极其方便；旋转接头结构相比套筒式结构简洁明了，降低零件加工成本；采用直角电机缩短轴承与电机之间的距离，保证籽晶杆旋转同心度。杆旋转同心度。杆旋转同心度。

【技术实现步骤摘要】
一种长晶炉籽晶杆循环水机构


[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其涉及一种长晶炉籽晶杆循环水机构。

技术介绍

[0002]长晶炉作为晶体生长的一种高温设备，生产工艺要求设备具有良好的循环水冷却性能，以保证其不会因高温产生运行故障，所以其冷却系统及其重要。而籽晶杆作为设备中及其重要的一个机构，其冷却结构亦相当重要。
[0003]现有的籽晶杆冷却结构一般为套筒式(外套筒及内水套)冷却结构(如图2所示)。水套15与籽晶杆内杆16和籽晶杆外杆17之间以孔槽相通，，水套上还需要设置进出水套筒14，以实现进出水，以橡胶圈(包含大密封圈19和小密封圈20)密封两者连接部分，冷却水从进水口进入，在水道内循环一周后经出水口排出。减速电机11安装在电机座12上，通过轴承电机座12位于籽晶杆内杆和外杆上方，水套15与籽晶杆外杆17通过轴承18连接；还需要设置联轴器13。由于密封圈的耐磨性和精度关系，往往会既给籽晶杆的旋转带来阻力，并且长时间运行也会发生因密封圈磨损产生密封不严的现象形成冷却水泄露损坏设备和影响生产。
[0004]基于此，现有技术仍然有待改进。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术实施例提出一种长晶炉籽晶杆循环水机构，以解决现有技术的籽晶杆冷却结构密封圈因磨损产生的冷却水泄露的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术一些实施例所公开的一种长晶炉籽晶杆循环水机构，包括直角减速电机、籽晶杆外杆、籽晶杆内杆和旋转接头；
[0007]其中，籽晶杆内杆为两端开口的管状；籽晶杆外杆上端开口，底部密封；旋转接头安装在述籽晶杆内杆上端；
[0008]直角减速电机与籽晶杆外杆连接以带动籽晶杆外杆旋转；籽晶杆内杆伸入籽晶杆外杆内，籽晶杆内杆的底端与籽晶杆外杆的底端之间具有供流体通过的间隙；旋转接头外壁与籽晶杆外杆连接；
[0009]籽晶杆内杆，籽晶杆外杆底部，以及籽晶杆内杆和籽晶杆外杆的间隙，构成循环水流道。
[0010]一些实施例中，还包括电机座，直角减速电机安装在电机座上。
[0011]一些实施例中，直角减速电机与籽晶杆外杆的外壁键连接。
[0012]一些实施例中，籽晶杆内杆上端连通进水管道。
[0013]一些实施例中，旋转接头上的出水口连通出水管道。
[0014]一些实施例中，还包括旋转接头固定机构，旋转接头的外壁固定在旋转接头固定机构上。
[0015]一些实施例中，籽晶杆内杆上设置有外螺纹，通过外螺纹与旋转接头螺纹连接。
[0016]一些实施例中，旋转接头固定机构与电机座固定连接。
[0017]一些实施例中，还包括升降机构，升降机构带动旋转接头固定机构和电机固定座同步位移。
[0018]一些实施例中，籽晶杆内杆上端连通冷却水系统的出水口，旋转接头的出水口连通冷却水系统的进水口。
[0019]采用上述技术方案，本技术至少具有如下有益效果：
[0020]本技术提供的一种长晶炉籽晶杆循环水机构，解决了现有技术中密封圈因磨损产生的冷却水泄露问题；由于旋转接头安装在最上方，拆卸更换安装极其方便；旋转接头结构相比套筒式结构简洁明了，降低零件加工成本；采用直角电机缩短轴承与电机之间的距离，保证籽晶杆旋转同心度。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术一些实施例所公开的一种长晶炉籽晶杆循环水机构的结构示意图；
[0023]图2为现有技术的籽晶杆冷却结构的结构示意图。
[0024]附图标记说明：
[0025]图1中，1、直角减速电机；2、电机座；3、轴承；4、籽晶杆外杆；5、籽晶杆内杆；6、旋转接头。
[0026]图2中，11、减速电机；12、电机座；13、联轴器；14、进出水套筒；15、水套；16、籽晶杆内杆；17、籽晶杆外杆；18、轴承；19、大密封圈；20、小密封圈。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例对本公开的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本公开的原理，但不能用来限制本公开的范围，本公开可以以许多不同的形式实现，不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
[0028]本公开提供这些实施例是为了使本公开透彻且完整，并且向本领域技术人员充分表达本公开的范围。应注意到：除非另外具体说明，这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、材料的组分、数字表达式和数值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。
[0029]需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是大于或等于两个；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0030]此外，本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或
者重要性，而只是用来区分不同的部分。“垂直”并不是严格意义上的垂直，而是在误差允许范围之内。“平行”并不是严格意义上的平行，而是在误差允许范围之内。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。
[0031]还需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。当描述到特定器件位于第一器件和第二器件之间时，在该特定器件与第一器件或第二器件之间可以存在居间器件，也可以不存在居间器件。
[0032]本公开使用的所有术语与本公开所属领域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。
[0033]对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
[0034]如图1所示，本技术一些实施例公开了一种长晶炉籽晶杆循环水机构，包括直角减速电机1、籽晶杆外杆4、籽晶杆内杆5和旋转接头6；其中，旋转接头6安装在述籽晶杆内杆5上端；直角减速电机1与籽晶杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长晶炉籽晶杆循环水机构，其特征在于，包括直角减速电机(1)、籽晶杆外杆(4)、籽晶杆内杆(5)和旋转接头(6)；其中，所述籽晶杆内杆(5)为两端开口的管状；所述籽晶杆外杆(4)上端开口，底部密封；所述旋转接头(6)安装在述籽晶杆内杆(5)上端；所述直角减速电机(1)与所述籽晶杆外杆(4)连接以带动所述籽晶杆外杆(4)旋转；所述籽晶杆内杆(5)伸入所述籽晶杆外杆(4)内，所述籽晶杆内杆(5)的底端与所述籽晶杆外杆(4)的底端之间具有供流体通过的间隙；所述旋转接头(6)外壁与所述籽晶杆外杆(4)连接；所述籽晶杆内杆(5)内部，所述籽晶杆外杆(4)底部，以及所述籽晶杆内杆(5)和所述籽晶杆外杆(4)的间隙，构成循环水流道。2.根据权利要求1所述的长晶炉籽晶杆循环水机构，其特征在于，还包括电机座(2)，所述直角减速电机(1)安装在所述电机座(2)上。3.根据权利要求1所述的长晶炉籽晶杆循环水机构，其特征在于，所述直角减速电机(1)与所述籽晶杆外杆(4)的外壁通过轴承(3)键连接。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱苏宁，
申请(专利权)人：芜湖东旭光电装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：