塑封模具清扫机构及塑封设备制造技术

本发明专利技术涉及一种塑封模具清扫机构及塑封设备，塑封模具清扫机构包括视觉单元、清扫单元及控制单元，其中，视觉单元设于塑封模具的上方，视觉单元用于检测塑封模具表面的清洁状态；清扫单元滑动连接于塑封压机上，清扫单元用于吹扫塑封模具，清扫单元能够伸出至塑封模具的上方，或者，清扫单元能够缩回至塑封模具的旁侧；控制单元与视觉单元和清扫单元均通信连接，控制单元响应于视觉单元的检测结果控制清扫单元运行或者停止。通过视觉单元、清扫单元以及控制单元的协同作用，对塑封模具自动清扫，不仅可通过视觉单元反馈清洁状态，进而减小清洁不到位导致卡料的风险，还可取代人工清扫，从而提高模具清扫工序的自动化程度。从而提高模具清扫工序的自动化程度。从而提高模具清扫工序的自动化程度。

【技术实现步骤摘要】
塑封模具清扫机构及塑封设备


[0001]本专利技术涉及半导体塑封设备
，特别是涉及一种塑封模具清扫机构及塑封设备。

技术介绍

[0002]在目前的半导体塑封制程设备中，塑封完成后，需要对压机模具的表面进行清扫，现有技术中主要采用人工手持气枪吹气的方式进行清扫。由于模具的型腔及浇道等通常是凹陷的，人工清扫时容易清扫不到位。而且采用人工清扫，在清扫完毕后，设备上没有信号反馈，设备无法识别是否清扫到位，只能肉眼观察。若清扫不到位，在对半导体工件进行塑封时，会出现卡料的情况，进而会影响产品质量。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对现有技术中半导体塑封压机模面采用人工清扫无法识别是否清扫到位的问题，提供一种塑封模具清扫机构及塑封设备。
[0004]一种塑封模具清扫机构，用于所述塑封压机中以清扫所述塑封模具的表面，所述塑封模具清扫机构包括：
[0005]视觉单元，设于所述塑封模具的上方，所述视觉单元用于检测所述塑封模具表面的清洁状态；
[0006]清扫单元，滑动连接于所述塑封压机上，所述清扫单元用于吹扫所述塑封模具，所述清扫单元能够伸出至所述塑封模具的上方，或者，所述清扫单元能够缩回至所述塑封模具的旁侧；
[0007]控制单元，与所述视觉单元和所述清扫单元均通信连接，所述控制单元响应于所述视觉单元的检测结果控制所述清扫单元运行或者停止。
[0008]在一些实施例中，所述视觉单元包括：
[0009]成像器件，固定于所述塑封压机上，并位于所述塑封模具的上方，所述成像器件的镜头的视野能够覆盖所述塑封模具的整个表面，所述成像器件与所述控制单元通信连接，所述成像器件获取到的所述检测结果可输送给所述控制单元；
[0010]光源，连接于所述塑封压机上或者设于所述成像器件内，所述光源能够产生可见光并照射于所述塑封模具上。
[0011]在一些实施例中，所述成像器件在所述塑封模具的上表面所在的平面上的投影位于所述塑封模具的旁侧，所述镜头的轴线与所述塑封模具的上表面之间形成夹角。
[0012]在一些实施例中，所述清扫单元包括：
[0013]底座，滑动连接于塑封压机上，并位于所述塑封模具的旁侧；
[0014]移动组件，固定于所述底座上；
[0015]滑动连接于所述移动组件上，所述吹扫喷嘴能够相对所述塑封模具沿着第一方向和第二方向移动，其中，所述第一方向和所述第二方向相交，所述吹扫喷嘴用于与外部气源
连接以喷射出具有压力的气体，所述吹扫喷嘴的出气口朝向所述塑封模具的表面设置。
[0016]在一些实施例中，所述移动组件包括：
[0017]两个滑道，相互间隔，并设于所述底座上，两个所述滑道均沿着所述第一方向延伸；
[0018]滑动件，设于两个所述滑道之间，所述滑动件的两端沿着所述第二方向延伸，并与所述滑道滑动连接，所述滑动件的两端可沿着所述滑道的延伸方向来回移动；
[0019]所述吹扫喷嘴滑动连接于所述滑动件，所述吹扫喷嘴可沿着所述滑动件的延伸方向来回移动。
[0020]在一些实施例中，所述移动组件还包括两个导轨，两个所述导轨固定于所述底座上，两个所述滑道分别设于两个所述导轨上，所述导轨沿着所述第一方向延伸。
[0021]在一些实施例中，所述滑动件沿着自身延伸方向上的长度可伸缩；两个所述导轨沿着自身的延伸方向上的长度可伸缩。
[0022]在一些实施例中，所述滑动件上还是有导滑部，所述导滑部沿着所述滑动件的延伸方向延伸；
[0023]所述清扫单元还包括一连接件，所述连接件的一端与所述吹扫喷嘴相固定，所述连接件的另一端与所述导滑部导向滑动连接。
[0024]在一些实施例中，所述清扫单元还包括检测元件，所述检测元件固定于所述底座上，所述检测元件用于检测所述塑封模具上是否具有工件或者塑封材料。一种塑封设备，其包括如上所述的塑封模具清扫机构。
[0025]本专利技术的有益效果：
[0026]本专利技术提供了一种塑封模具清扫机构及塑封设备，其中，在塑封模具清扫机构中设置了视觉单元用于检测塑封模具表面的清洁状态，并且视觉单元可将检测到的清洁状态反馈给控制单元，控制单元根据视觉单元检测到的清洁状态的结果来控制清扫元件的运行。当视觉单元检测到塑封模具的表面清洁度未达到预设状态时，控制单元控制清扫单元继续运行，并对塑封模具进行吹扫；当视觉单元检测到塑封模具的表面清洁度达到预设状态，控制单元则控制清扫单元停止运行。而将清扫单元设置成相对塑封压机滑动的形式，当需要对塑封模具表面进行清扫时，清扫单元伸出至塑封模具的上方以对塑封模具进行清扫；当对塑封模具清扫完毕后，清扫单元缩回至塑封模具的旁侧，以为塑封模具的塑封工序提供必要的操作空间。本专利技术的塑封模具清扫机构通过视觉单元、清扫单元以及控制单元的协同作用，对塑封模具自动清扫，不仅可通过视觉单元反馈清洁状态，进而减小清洁不到位导致卡料的风险，同时，还可取代人工清扫，从而提高模具清扫工序的自动化程度。
附图说明
[0027]图1为本专利技术实施例提供的塑封模具清扫机构的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术实施例提供的塑封模具清扫机构的在另一视角下的结构示意图；
[0029]图3为本专利技术实施例提供的塑封模具清扫机构中的移动组件与底座连接后的结构示意图；
[0030]图4为本专利技术实施例提供的塑封模具清扫机构中的移动组件的结构示意图。
[0031]视觉单元10；清扫单元20；吹扫喷嘴201；导轨202；滑道2021；滑动件203；导滑部
2031；底座204；导滑结构205；塑封压机30；塑封模具301。
具体实施方式
[0032]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0033]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0034]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0035]在本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种塑封模具清扫机构，用于塑封压机中以清扫所述塑封模具的表面，其特征在于，所述塑封模具清扫机构包括：视觉单元，设于所述塑封模具的上方，所述视觉单元用于检测所述塑封模具表面的清洁状态；清扫单元，滑动连接于所述塑封压机上，所述清扫单元用于吹扫所述塑封模具，所述清扫单元能够伸出至所述塑封模具的上方，或者，所述清扫单元能够缩回至所述塑封模具的旁侧；控制单元，与所述视觉单元和所述清扫单元均通信连接，所述控制单元响应于所述视觉单元的检测结果控制所述清扫单元运行或者停止。2.根据权利要求1所述的塑封模具清扫机构，其特征在于，所述视觉单元包括：成像器件，固定于所述塑封压机上，并位于所述塑封模具的上方，所述成像器件的镜头的视野能够覆盖所述塑封模具的整个表面，所述成像器件与所述控制单元通信连接，所述成像器件获取到的所述检测结果可输送给所述控制单元；光源，连接于所述塑封压机上或者设于所述成像器件内，所述光源能够产生可见光并照射于所述塑封模具上。3.根据权利要求2所述的塑封模具清扫机构，其特征在于，所述成像器件在所述塑封模具的上表面所在的平面上的投影位于所述塑封模具的旁侧，所述镜头的轴线与所述塑封模具的上表面之间形成夹角。4.根据权利要求1
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3中任意一项所述的塑封模具清扫机构，其特征在于，所述清扫单元包括：底座，滑动连接于塑封压机上，并位于所述塑封模具的旁侧；移动组件，固定于所述底座上；吹扫喷嘴，滑动连接于所述移动组件上，所述吹扫喷嘴能够相对所述塑封模具沿着第一方向和第二方向移动，其中，所述第一方向和所述第二方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋荣盛，蒋立新，
申请(专利权)人：无锡市牛耳商用机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：