本发明专利技术提供能够抑制在将连续的长条的布线图案描绘于基板时使用的描绘数据的数据量的描绘方法等。布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，基板的宽度方向上的图案在基板的长度方向上变化，该第2区域中，宽度方向上的图案不在长度方向上变化，用于描绘布线图案的描绘数据包含2维图像数据、1维图像数据及信息，该2维图像数据表示第1区域的2维图案，该1维图像数据表示第2区域的宽度方向上的1维图案，该信息表示第2区域的长度方向的长度，通过基于2维图像数据来扫描光束，并且输送基板，从而将第1区域的图案描绘于基板，通过基于1维图像数据，按1维图案反复照射光束，并且基于表示长度的信息来输送基板，从而将第2区域的图案描绘于基板。描绘于基板。描绘于基板。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】描绘方法、描绘装置、及程序
[0001]本专利技术涉及一种将布线图案描绘于具有可挠性的基板的描绘方法、描绘装置、及程序。
技术介绍
[0002]近年来，在汽车或航空器等运输器中被使用的电子设备的数量不断増加。随此，向电子设备的电源供给或信号的发送/接收中所使用的线束的数量也在増加。另一方面，在运输器中，要求轻量化及内部的省空间化，线束増加所伴随的重量増加及空间増加成为了问题。
[0003]出于这样的问题，也研究了利用具有可挠性、并呈细长片状的柔性印刷电路基板(Flexible Printed Circuit：FPC)来代替在运输器中使用的线束。
[0004]作为针对长条片状的基板的图案形成技术，例如，在非专利文献1中，公开了一种技术，其为了一边以辊对辊(Roll To Roll)方式不停止膜输送地连续输送一边进行处理，而并行地进行对准测量、重叠曝光及工件更换。
[0005]此外，在专利文献1中，公开了一种无掩膜曝光装置，包括：曝光部件，其包含光调制元件阵列；基板保持部件，其将长条基板的长度方向的一部分保持为平面状；相对移动部件，其使所述曝光部件与基板保持部件沿所述长条基板的长度方向相对移动；数据存储部件，其存储分割曝光图案数据，该分割曝光图案数据为将所述长条基板所对应的长条曝光图案数据沿所述长条基板的长度方向分割得到的数据；以及曝光控制部件，其一边通过所述相对移动部件使所述曝光部件与基板保持部件相对移动，一边按照被存储于所述数据存储部件的所述分割曝光图案数据，使所述曝光部件对所述长条基板进行曝光。在该专利文献1中，基于长条曝光图案数据，制作用于1次曝光步骤的分割曝光图案数据，此时，以在重叠区间中，分割曝光图案重复的方式制作分割曝光图案数据。然后，基于该分割曝光图案数据来驱动曝光单元，将分割曝光图案曝光于长条基板。
[0006][现有技术文献][0007][专利文献][0008]专利文献1:日本特开2016
‑
224301号公报
[0009][非专利文献][0010]非专利文献1:鬼头义昭及其他，“辊对辊方式高精度直接网格(direct web)曝光装置的开发，”影像信息媒体学会志，第71卷，第10号，第J230～J235页(2017)，一般社团法人影像信息媒体学会，2017年9月8日采录
技术实现思路
[0011][专利技术要解决的技术问题][0012]例如，为了将在汽车等运输器中使用的线束以FPC来代替，需要将数m(例如6m以上)的连续的布线图案形成于基板。在要将像这样地连续的长条的图案曝光于基板的情况
下，描绘数据的数据量会变得巨大。
[0013]本专利技术鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种能够抑制将长条的布线图案描绘于基板时使用的描绘数据的数据量的描绘方法、描绘装置、及程序。
[0014][用于解决技术问题的技术手段][0015]为了解决上述问题，作为本专利技术的一个方案的描绘方法为一种如下的描绘方法：一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此来使描绘布线图案的描绘装置执行该描绘方法，其中，所述描绘装置包括输送部件和至少1个曝光用头，该输送部件沿所述长度方向输送所述基板，该至少1个曝光用头被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，并向该一部分区域射出曝光用的光束，所述布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，与所述长度方向正交的宽度方向上的图案在所述长度方向上变化，该第2区域中，所述宽度方向上的图案不在所述长度方向上变化，用于描绘所述布线图案的描绘数据包含2维图像数据、1维图像数据及信息，该2维图像数据表示所述第1区域的2维图案，该1维图像数据表示所述第2区域的宽度方向上的1维图案，该信息表示所述第2区域的所述长度方向的长度，通过基于所述2维图像数据，在所述宽度方向上扫描所述光束，并且输送所述基板，从而将所述第1区域的图案描绘于所述基板，通过基于所述1维图像数据，按所述宽度方向上的1维图案反复照射所述光束，并且将所述基板输送基于表示所述长度的信息决定的长度，从而将所述第2区域的图案描绘于所述基板。
[0016]也可以是，在所述描绘方法中，所述2维图像数据为2维位图数据，所述1维图像数据为1维位图数据，表示所述长度的信息被付于所述1维位图数据的标头(header)。
[0017]也可以是，在所述描绘方法中，所述输送部件包含输送鼓，该输送鼓呈圆筒形，在外周面的一部分区域中支撑所述基板，并且围绕圆筒的中心轴旋转，由此来输送所述基板，在基于所述1维图像数据反复照射所述光束的期间，所述输送鼓旋转基于表示所述长度的信息决定的时间或旋转角度。
[0018]也可以是，在所述描绘方法中，按照所述布线图案所包含的每个区域读入用于描绘所述布线图案的描绘数据所包含的图像数据，对被读入的所述图像数据是否为所述2维图像数据与所述1维图像数据中的任意一个进行判定，并根据该判定的结果来描绘所述第1或第2区域的图案。
[0019]作为本专利技术的另一方案的描绘装置为一种如下的描绘装置：一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此描绘布线图案；该描绘装置包括输送部件、至少1个曝光用头、存储部、以及控制部，该输送部件沿所述长度方向输送所述基板，该至少1个曝光用头被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，并向该一部分区域射出曝光用的光束，该存储部存储用于将布线图案描绘于所述基板的描绘数据，该控制部基于所述描绘数据，对所述至少1个曝光用头及所述输送部件的动作进行控制，所述布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，与所述长度方向正交的宽度方向上的图案在所述长度方向上变化，该第2区域中，所述宽度方向上的图案不在所述长度方向上变化，所述描绘数据包含2维图像数据、1维图像数据及信息，该2维图像数据表示所述第1区域的2维图案，该1维图像数据表示所述第2区域的宽度方向上的1维图案，该信息表示所述第2区域的所述长度方向的长度，所述控制部进行使第1描绘动作和第2描
绘动作执行的控制，该第1描绘动作通过基于所述2维图像数据，在所述宽度方向上扫描所述光束，并且输送所述基板，从而将所述第1区域的图案描绘于所述基板，该第2描绘动作通过基于所述1维图像数据，按所述宽度方向上的1维图案反复照射所述光束，并且将所述基板输送基于表示所述长度的信息决定的长度，从而将所述第2区域的图案描绘于所述基板。
[0020]作为本专利技术的另一方案的描绘程序为一种使描绘装置执行的如下的描绘程序：该描绘装置一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此来描绘布线图案；其中，所述描绘装置包括输送部件和至少1个曝光用头，该输送部件沿所述长度方向输送所述基板，该至少1个曝光用头被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，并向该一部分区域射出曝光用的光束，所述布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，与所述长度方向正交的宽度方向上的图案在所述长度方向上变化，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种描绘方法，其使描绘装置执行，该描绘装置一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此描绘布线图案，其中，所述描绘装置包括：输送部件，其沿所述长度方向输送所述基板；以及至少1个曝光用头，其被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，并向该一部分区域射出曝光用的光束，所述布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，与所述长度方向正交的宽度方向上的图案在所述长度方向上变化，该第2区域中，所述宽度方向上的图案不在所述长度方向上变化，用于描绘所述布线图案的描绘数据包含：2维图像数据，其表示所述第1区域的2维图案；1维图像数据，其表示所述第2区域的宽度方向上的1维图案；以及表示所述第2区域的所述长度方向的长度的信息，通过基于所述2维图像数据，在所述宽度方向上扫描所述光束，并且输送所述基板，从而将所述第1区域的图案描绘于所述基板，通过基于所述1维图像数据，按所述宽度方向上的1维图案反复照射所述光束，并且将所述基板输送基于表示所述长度的信息决定的长度，从而将所述第2区域的图案描绘于所述基板。2.如权利要求1所述的描绘方法，其中，所述2维图像数据为2维位图数据，所述1维图像数据为1维位图数据，表示所述长度的信息被附于所述1维位图数据的标头。3.如权利要求1或2所述的描绘方法，其中，所述输送部件包含输送鼓，该输送鼓呈圆筒形，在外周面的一部分区域中支撑所述基板，并且通过围绕圆筒的中心轴旋转来输送所述基板，在基于所述1维图像数据反复照射所述光束的期间，所述输送鼓旋转基于表示所述长度的信息决定的时间或旋转角度。4.如权利要求1～3的任意一项所述的描绘方法，其中，针对所述布线图案所包含的每个区域，读入用于描绘所述布线图案的描绘数据所包含的图像数据，对被读入的所述图像数据是否为所述2维图像数据与所述1维图像数据中的任意一个进行判定，根据该判定的结果，描绘所述第1或第2区域的图案。5.一种描绘装置，其一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此描绘布线图案，其中，该描绘装置包括：输送部件，其沿所述长度方向输送所述基板；至少1个曝光用头，其被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，...
【专利技术属性】
技术研发人员：菅原雅史，
申请(专利权)人：英视股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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