本实用新型专利技术提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，包括：旋风分离装置、硅粉缓冲装置和硅粉排放装置；其中，所述旋风分离装置的内部设置有旋风分离器，所述旋风分离装置的顶部设置有还原尾气入口，所述旋风分离装置的底部连接有第一管道，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部连通；所述硅粉缓冲装置的底部连接有第二管道，所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部连通；所述硅粉排放装置的下端连接有硅粉外排口。本实用新型专利技术中提供的装置将还原尾气夹带的硅粉排出系统，解决了尾气回收系统机泵频繁切换、设备堵塞，严重干扰尾气回收处理工艺运行的问题，通过将硅粉排出系统，也解决了硅粉进入系统污染生产环境的问题。的问题。的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置
[0001]本技术涉及生产多晶硅的
，具体涉及一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置。
技术介绍
[0002]目前，国际上多晶硅生产技术大多采用改良西门子法，其中部分企业采用的是12对棒、24对棒等小型还原炉，能耗比较高，生产成本也相对较高。大部分企业采用更为经济的36对棒、48对棒等大型还原炉，以提高生产效率，提高多晶硅单炉产量，降低多晶硅能耗。然而由于大型还原炉热场的不均匀性，运行过程中易产生硅粉，硅粉随着尾气带入尾气回收系统，给尾气回收设备造成严重破坏。尾气回收系统机泵受硅粉影响，必须频繁切换清洗过滤器，且硅粉沉积附着在管道机泵上，会造成磨损。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本技术提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，所述装置用于克服现有技术还原尾气中夹带硅粉的问题，实现对还原尾气除尘后的尾气回收，以及对还原尾气中的硅粉回收。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]第一方面，本技术提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，包括：
[0006]旋风分离装置、硅粉缓冲装置和硅粉排放装置；
[0007]其中，所述旋风分离装置的内部设置有旋风分离器，所述旋风分离装置的顶部设置有还原尾气入口，所述旋风分离装置的底部连接有第一管道，所述第一管道的上端与所述旋风分离装置的底部连通，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部连通；所述硅粉缓冲装置的底部连接有第二管道，所述第二管道的上端与所述硅粉缓冲装置的底部连通，所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部连通；所述硅粉排放装置的下端连接有硅粉外排口。
[0008]进一步地，所述旋风分离装置的顶部还设置有第一尾气出口。
[0009]进一步地，所述旋风分离装置上还设置有第一加热设备；和/或所述硅粉缓冲装置上还设置有第二加热设备；和/或所述硅粉排放装置上还设置有第三加热设备。
[0010]进一步地，所述硅粉缓冲装置中包括硅粉缓冲罐，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲罐的顶部连通；
[0011]所述硅粉缓冲罐的顶部还设置有第二尾气出口。
[0012]进一步地，所述硅粉缓冲装置中还设置有料位监控装置；和/或压力监控装置；和/或第一温度监控装置；所述料位监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中的氯硅烷液体，所述压力监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中的压力，所述第一温度监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中硅粉的温度。
[0013]进一步地，所述硅粉缓冲装置的底部还连接有第一置换气管道，所述第一置换气
管道与所述硅粉缓冲罐连通，用于向所述硅粉缓冲罐中输送置换气。
[0014]进一步地，所述第一管道上设置有第一开关阀，所述第一开关阀具有第一状态和第二状态，所述第一开关阀处于第一状态时，所述第一开关阀导通所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部；所述第一开关阀处于第二状态时，所述第一开关阀非导通所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部；和/ 或
[0015]所述第二管道上设置有第二开关阀，所述第二开关阀具有第三状态和第四状态，所述第二开关阀处于第三状态时，所述第二开关阀导通所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部；所述第二开关阀处于第四状态时，所述第二开关阀非导通所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部。
[0016]进一步地，所述装置中包括控制器，所述控制器与所述第一开关阀、所述第二开关阀连接，用于控制所述第一开关阀和所述第二开关阀。
[0017]进一步地，所述硅粉排放装置中包括硅粉排放罐，所述第二管道的下端与所述硅粉排放罐的顶部连通；所述硅粉排放罐的顶部还设置有第三尾气出口。
[0018]进一步地，所述硅粉排放装置中还设置有第二温度监控装置，所述第二温度监控装置用于监控所述硅粉排放罐中硅粉的温度；和/或
[0019]所述硅粉排放装置的底部还连接有第二置换气管道，所述第二置换气管道与所述硅粉排放罐连通，用于向所述硅粉排放罐中输送置换气。
[0020]本技术的上述技术方案的有益效果如下：
[0021]本技术提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，包括：旋风分离装置、硅粉缓冲装置和硅粉排放装置；其中，所述旋风分离装置的内部设置有旋风分离器，所述旋风分离装置的顶部设置有还原尾气入口，所述旋风分离装置的底部连接有第一管道，所述第一管道的上端与所述旋风分离装置的底部连通，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部连通；所述硅粉缓冲装置的底部连接有第二管道，所述第二管道的上端与所述硅粉缓冲装置的底部连通，所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部连通；所述硅粉排放装置的下端连接有硅粉外排口。
[0022]本技术中提供的装置中，还原尾气首先进入旋风分离装置，经旋风分离器的离心作用，尾气中夹带的硅粉落到旋风分离器底部，再通过第一管道落到硅粉缓冲装置中，分离后的还原尾气返回到尾气回收系统，旋风分离器达到尾气除尘作用。旋风分离回收的硅粉，暂存在硅粉缓冲设备中，并回收再利用。本技术中提供的装置将还原尾气夹带的硅粉排出系统，解决了尾气回收系统机泵频繁切换、设备堵塞，严重干扰尾气回收处理工艺的运行的问题，通过将硅粉排出系统，也解决了硅粉进入系统污染生产环境的问题；同时生产实现了绿色环保，无废弃物产生。
附图说明
[0023]图1为还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]旋风分离装置1、还原尾气入口11、第一管道12、旋风分离器13、第一加热设备热媒入口14、第一加热设备冷媒出口15、第一尾气出口16；
[0026]硅粉缓冲装置2、硅粉缓冲罐21、第二管道22、第二加热设备热媒入口23、第二加热
设备冷媒出口24、第二尾气出口25、第一置换气管道26；
[0027]硅粉排放装置3、硅粉外排口31、第三加热设备热媒入口32、第三加热设备冷媒出口33、第三尾气出口34、第二置换气管道35。
具体实施方式
[0028]为了进一步理解本技术，下面结合实施例对本技术优选实施方案进行描述，但是应当理解，这些描述只是为进一步说明本技术的特征和优点，而不是对本技术的限制。
[0029]以下结合附图1对本技术中提供的装置进一步解释说明。
[0030]第一方面，本技术提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，包括：
[0031]旋风分离装置1、硅粉缓冲装置2和硅粉排放装置3；
[0032]其中，所述旋风分离装置1的内部设置有旋风分离器13，所述旋风分离装置1的顶部设置有还原尾气入口11，所述旋风分离装置1的底部连接有第一管道12，所述第一管道12的上端与所述旋风分离装置1的底部连通，所述第一管道12的下端与所述硅粉缓冲装置2的顶部连通；所述硅粉缓冲装置2 的底部连接有第二管道22，所述第二管道22的上端与所述硅本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，其特征在于，包括：旋风分离装置、硅粉缓冲装置和硅粉排放装置；其中，所述旋风分离装置的内部设置有旋风分离器，所述旋风分离装置的顶部设置有还原尾气入口，所述旋风分离装置的底部连接有第一管道，所述第一管道的上端与所述旋风分离装置的底部连通，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部连通；所述硅粉缓冲装置的底部连接有第二管道，所述第二管道的上端与所述硅粉缓冲装置的底部连通，所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部连通；所述硅粉排放装置的下端连接有硅粉外排口。2.根据权利要求1所述的一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，其特征在于，所述旋风分离装置的顶部还设置有第一尾气出口。3.根据权利要求1所述的一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，其特征在于，所述旋风分离装置上还设置有第一加热设备；和/或所述硅粉缓冲装置上还设置有第二加热设备；和/或所述硅粉排放装置上还设置有第三加热设备。4.根据权利要求1所述的一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，其特征在于，所述硅粉缓冲装置中包括硅粉缓冲罐，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲罐的顶部连通；所述硅粉缓冲罐的顶部还设置有第二尾气出口。5.根据权利要求4所述的一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，其特征在于，所述硅粉缓冲装置中还设置有料位监控装置；和/或压力监控装置；和/或第一温度监控装置；所述料位监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中的氯硅烷液体，所述压力监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中的压力，所述第一温度监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中硅粉的温度。6.根据权利要求4所述的一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，其特征在于，所述硅...
【专利技术属性】
技术研发人员：李聚安，胡启红，马永露，詹丽，王廷海，毛永智，郭洪星，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。