一种PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，包括多根辅助加热管，单根辅助加热管沿PECVD设备反应室的长度方向布置，多根辅助加热管布置于PECVD设备反应室的圆周方向上；各所述辅助加热管均包括管本体和多段加热段，各所述加热段依次间隔布置于所述管管本体上，各所述加热段上均设置有用于检测温度的温度检测件。本实用新型专利技术具有结构简单、温度控制精准且均衡等优点。温度控制精准且均衡等优点。温度控制精准且均衡等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置


[0001]本技术主要涉及PECVD
，具体涉及一种PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置。

技术介绍

[0002]PECVD(等离子增强化学气相沉积)设备是太阳能电池片生产工序中一种重要的镀膜工艺设备，主要利用等离子体聚合法在太阳能电池片上沉积形成氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转换效率。该设备利用电热炉体将石英管反应室中的温度保持在500度左右，然后利用高频辉光放电产生等离子体促进气体分子的分解、化合、电离，反应完成后沉积在太阳能电池片上。PECVD(等离子增强化学气相沉积)设备对升温速度、温度稳定性有着苛刻的要求。目前市面上的辅助加热装置，主要用于补充炉体加热的能力，提高升温的速度，整个辅热装置无温度监测及反馈控制，难以满足局部区域温场的特殊化要求。
[0003]目前，传统的方式是在反应室的底部和顶部设置2
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3根辅热，用于实现整体的快速升温，弥补炉体加热能力的不足。但是该方式为整体加热，在长度方向上没有区分，不能精确监测控制某段的温度，特别是针对双舟结构，无法针对性的进行双舟中间实心舟块局部加热补偿，保持整体温度平衡；同时，在圆周方向上，主要是设置于顶部和底部，无法满足舟日益加宽后对靠近边片附近的加热补偿。
[0004]随着行业日趋追逐大产能，承载硅片的石墨舟在长度和宽度方向上日益增大，特别是双石墨舟的出现(双舟中间实心舟块吸热明显，破坏了温场的连续性)，对整个反应室的升温快速性和温场稳定性提出了更高的要求。r/>
技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的问题，本技术提供一种温度控制均衡且精准的PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提出的技术方案为：
[0007]一种PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，包括多根辅助加热管，单根辅助加热管沿PECVD设备反应室的长度方向布置，多根辅助加热管布置于PECVD设备反应室的圆周方向上；各所述辅助加热管均包括管本体和多段加热段，各所述加热段依次间隔布置于所述管本体上，各所述加热段上均设置有用于检测温度的温度检测件。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进：
[0009]各所述辅助加热管均对应有独立的控制单元，以实现对各所述辅助加热管的独立加热控制。
[0010]所述控制单元包括多个控制模块，各控制模块与各加热段和温度检测件一一对应设置，用于根据温度检测件的温度检测信号控制各加热段的独立加热作业。
[0011]所述温度检测件为热电偶。
[0012]所述热电偶集成于所述加热段内。
[0013]多根辅助加热管共分成三组，分别为上辅热组、上中辅热组、侧辅热组和下辅热组；其中上辅热组位于所述反应室的上部，所述上中辅热组位于所述反应室的上中部，所述侧辅热组位于所述反应室的侧部，所述下辅助组位于所述反应室的下部。
[0014]所述上辅热组包括三根辅助加热管，其中一根辅助加热管位于反应室的顶部，另两根辅助加热管位于顶部辅助加热管的两侧；所述侧辅热组包括四根辅助加热管，其中反应室的两侧均设置有两根辅助加热管；所述上中辅热组包括两根辅助加热管，分别位于上辅热组与侧辅热组之间的反应室上；所述下辅助组包括三根辅助加热管，其中一根辅助加热管位于反应室的底部，另两根辅助加热管位于底部辅助加热管的两侧。
[0015]各所述辅助加热管的其中一段加热段对应于相邻石墨舟的连接处。
[0016]各所述辅助加热管上的加热段依次均匀间隔布置。
[0017]单根所述辅助加热管上的加热段数量为三段。
[0018]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0019]本技术的分段监测控温的辅助加热装置，每根辅助加热管包括多段加热段，且各加热段自带温度检测件，每根辅助加热管在长度方向上可以实现各加热段的温度监测及加热程度的独立控制；同时，在反应室圆周方向上分布多根辅助加热管，在保证石墨舟取放空间的情况下，根据不同的石墨舟大小/形状搭配组合，保证整体反应室的温场均衡；本技术通过上述方案可实现反应室内局部区域的温度控制，提高整体的温度超调稳定性及升温速率，从而提高成膜均匀性及整体产能。
[0020]本技术辅助加热管在长度方向上实现各加热段的可控，可实现长度方向上的特定区域加热，温度控制更加有针对性；其中各加热段均配置有热电偶，能准备监测控制加热段的加热开关，保证加热输出的准确性；在反应室圆周上分布多根辅助加热管，不仅仅布局于顶部和底部，可满足更宽的扁平石墨舟在边片附近的控温要求。
附图说明
[0021]图1为本技术的双石墨舟反应室在实施例的剖视图。
[0022]图2为本技术的双石墨舟反应室在实施例的侧视图。
[0023]图例说明：1、炉体；2、石墨舟；201、实心舟块；3、辅助加热管；301、管本体；302、加热段；303、温度检测件。
具体实施方式
[0024]以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步描述。
[0025]如图1和图2所示，本技术实施例的PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，包括多根辅助加热管3，单根辅助加热管3沿PECVD设备反应室的长度方向布置，多根辅助加热管3布置于反应室的圆周方向；各辅助加热管3均包括管本体301和多段加热段302，各加热段302依次间隔布置于管本体301上，各加热段302上均设置有用于检测温度的温度检测件303。
[0026]本技术的分段监测控温的辅助加热装置，每根辅助加热管3包括多段加热段302，且各加热段302自带温度检测件303，每根辅助加热管3在长度方向上可以实现各加热段302的温度监测及加热程度的独立控制；同时，在反应室圆周方向上分布多根辅助加热管
3，在保证石墨舟2取放空间的情况下，根据不同的石墨舟2大小/形状搭配组合，保证整体反应室的温场均衡；本技术通过上述方案可实现反应室内局部区域的温度控制，提高整体的温度超调稳定性及升温速率，从而提高成膜均匀性及整体产能。
[0027]在一具体实施例中，各辅助加热管3均对应有独立的控制单元，以实现对各辅助加热管3的独立加热控制。控制单元包括多个控制模块，各控制模块与各加热段302和温度检测件303一一对应设置，用于根据温度检测件303的温度检测信号控制各加热段302的独立加热作业，从而针对性的控制石墨舟2特殊位置的温度，解决双舟舟中实心舟块201吸热过多导致的温度不达标引起的膜厚偏薄问题。
[0028]在一具体实施例中，温度检测件303为热电偶，热电偶集成于加热段302内。
[0029]在一具体实施例中，如图2所示，多根辅助加热管3共分成三组，分别为上辅热组(如图2中A所示)、上中辅热组(如图2中B所示)、侧辅热组(如图2中C所示)和下辅热组(如图2中D所示)；其中上辅热组位于反应室的上部，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，其特征在于，包括多根辅助加热管(3)，单根辅助加热管(3)沿PECVD设备反应室的长度方向布置，多根辅助加热管(3)布置于PECVD设备反应室的圆周方向上；各所述辅助加热管(3)均包括管本体(301)和多段加热段(302)，各所述加热段(302)依次间隔布置于所述管本体(301)上，各所述加热段(302)上均设置有用于检测温度的温度检测件(303)。2.根据权利要求1所述的PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，其特征在于，各所述辅助加热管(3)均对应有独立的控制单元，以实现对各所述辅助加热管(3)的独立加热控制。3.根据权利要求2所述的PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，其特征在于，所述控制单元包括多个控制模块，各控制模块与各加热段(302)和温度检测件(303)一一对应设置，用于根据温度检测件(303)的温度检测信号控制各加热段(302)的独立加热作业。4.根据权利要求1或2或3所述的PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，其特征在于，所述温度检测件(303)为热电偶。5.根据权利要求4所述的PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，其特征在于，所述热电偶集成于所述加热段(302)内。6.根据权利要求1或2或3所述的PECVD设备的分段监测控温的辅助加热装置，其特征在于，多根辅助加热管(3)共分...

【专利技术属性】
技术研发人员：周佑丞，唐武，肖洁，张春成，赵志然，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：