显示装置制造方法及图纸

技术编号:35849379 阅读:9 留言:0更新日期:2022-12-07 10:31
提供了显示装置,该显示装置包括衬底、布置在衬底上的第一绝缘层、布置在第一绝缘层上的半导体层、布置在半导体层上的第二绝缘层以及布置在第二绝缘层上的第一导电层,其中,半导体层包括有源图案。显示装置还包括由相同的导电层构成的栅电极和源/漏电极,并且包括半导体层,该半导体层对施加到晶体管的电信号具有减小的电阻。因此,显示装置的可靠性因半导体层的电阻的降低而提高。体层的电阻的降低而提高。体层的电阻的降低而提高。

【技术实现步骤摘要】
显示装置


[0001]本公开总体上涉及显示装置。更具体地,本公开涉及提高显示装置的可靠性的显示装置。

技术介绍

[0002]在多媒体的发展下,显示装置的重要性正在增加。因此,正在使用各种类型的显示装置,诸如有机发光显示装置(OLED)、液晶显示装置(LCD)等。显示装置的应用正在多样化。例如,显示装置应用于各种电子产品,例如,电视机、智能电话、智能表和平板PC。
[0003]显示装置可包括多个晶体管。每个晶体管可包括栅电极、源/漏电极和半导体层。为了简化显示装置的制造工艺,包括在显示装置中的栅电极和源/漏电极可由相同的导电层构成。

技术实现思路

[0004]本公开的目的在于提供包括具有由相同的导电层构成的栅电极和源/漏电极并且具有对施加到晶体管的电信号具有减小的电阻的半导体层的晶体管的显示装置。因此,显示装置的可靠性因半导体层的电阻的降低而提高。
[0005]根据本公开的目的不限于上述目的。根据本公开的未提及的其它目的和优点可基于下面的描写来理解,并且可基于根据本公开的实施方式而更清楚地理解。此外,将容易理解,根据本公开的目的和优点可使用在权利要求书中所示的手段及其组合来达成。
[0006]根据本公开的实施方式,显示装置包括衬底、布置在衬底上的第一绝缘层、布置在第一绝缘层上的半导体层、布置在半导体层上的第二绝缘层以及布置在第二绝缘层上的第一导电层,其中,半导体层包括有源图案。第一导电层包括与有源图案接触的第一电极以及面对第一电极并与有源图案接触的第二电极。有源图案包括与第一电极接触的第一区域、与第二电极接触的第二区域、第三区域(第三区域的一部分与第一区域和第二区域间隔开并布置在第一区域与第二区域之间)、布置在第一区域与第三区域的该一部分之间的多个第一孔以及布置在第二区域与第三区域的该一部分之间的多个第二孔。第一绝缘层包括与第一孔重叠并具有朝向衬底凹陷的顶面的第一凹槽以及与第二孔重叠并具有朝向衬底凹陷的顶面的第二凹槽。
[0007]多个第一孔排列的方向可与多个第二孔排列的方向相同。
[0008]第三区域可包括布置在多个第一孔之中的彼此相邻的第一孔之间的第一子区域以及布置在多个第二孔之中的彼此相邻的第二孔之间的第二子区域。第一子区域可不与第一凹槽重叠。第二子区域可不与第二凹槽重叠。
[0009]第一子区域的边缘的一部分可与第一凹槽的边缘对齐。第二子区域的边缘的一部分可与第二凹槽的边缘对齐。
[0010]第三区域可包括多个第一子区域,并且第三区域可包括多个第二子区域。
[0011]第一电极可通过贯穿第二绝缘层的第一接触孔与有源图案的第一区域接触。第二
电极可通过贯穿第二绝缘层的第二接触孔与有源图案的第二区域接触。
[0012]显示装置还可包括布置在衬底与第一绝缘层之间的第二导电层。第二导电层可包括与第一电极接触的第一图案和与第二电极接触的第二图案。
[0013]第一电极和第一图案可通过贯穿第一绝缘层和第二绝缘层的第三接触孔彼此接触。第二电极和第二图案可通过贯穿第一绝缘层和第二绝缘层的第四接触孔彼此接触。
[0014]第一接触孔可布置在第一凹槽与第三接触孔之间。第二接触孔可布置在第二凹槽与第四接触孔之间。
[0015]第一接触孔可在空间上连接到第三接触孔。第二接触孔可在空间上连接到第四接触孔。
[0016]第二导电层还可包括与第二图案间隔开的第一存储图案。半导体层还可包括与第一存储图案至少部分地重叠的第二存储图案。
[0017]第一接触孔可在空间上连接到第一凹槽。第二接触孔可在空间上连接到第二凹槽。
[0018]根据本公开的实施方式,显示装置包括衬底、布置在衬底上的有源图案、布置在衬底上并与有源图案部分地重叠的第一电极以及布置在衬底上并面对第一电极的第二电极,其中,第二电极与有源图案部分地重叠。有源图案包括:多个第一孔,其中,多个第一孔中的每个的边缘的一部分与第一电极的边缘对齐;以及多个第二孔,其中,多个第二孔中的每个的边缘的一部分与第二电极的边缘对齐。
[0019]多个第一孔排列的方向可与多个第二孔排列的方向相同。
[0020]显示装置还可包括半导体层、第一导电层和第二绝缘层,半导体层包括有源图案,第一导电层包括第一电极和第二电极,第二绝缘层布置在半导体层与第一导电层之间。第一电极可通过贯穿第二绝缘层的第一接触孔与有源图案接触。
[0021]显示装置还可包括布置在衬底与有源图案之间的第一绝缘层。第一绝缘层可包括与第一孔重叠并具有朝向衬底凹陷的顶面的第一凹槽以及与第二孔重叠并具有朝向衬底凹陷的顶面的第二凹槽。
[0022]有源图案还可包括与第一电极重叠的第一区域、与第二电极重叠的第二区域以及第三区域,第三区域的一部分布置在第一区域与第二区域之间。多个第一孔可布置在第一区域与第三区域的该一部分之间。多个第二孔可布置在第二区域与第三区域的该一部分之间。
[0023]第三区域可包括布置在多个第一孔之中彼此相邻的第一孔之间的第一子区域以及布置在多个第二孔之中彼此相邻的第二孔之间的第二子区域。
[0024]第三区域可包括多个第一子区域,并且第三区域包括多个第二子区域。
[0025]第一电极和第二电极可由相同的导电层构成。
[0026]在根据一个实施方式的显示装置中,包括具有多个孔的半导体层的晶体管结构可使得对施加到晶体管的电信号的半导体层的电阻减小。因此,显示装置的可靠性可因半导体层的电阻的降低而提高。
[0027]本公开的效果不限于上述效果,并且本领域技术人员将从下面的描写清楚地理解如未提及的其它效果。
附图说明
[0028]通过参照附图详细描述本公开的示例实施方式,本公开的以上和其它的方面和特征将变得更加显而易见,在附图中:
[0029]图1是根据一个实施方式的显示装置的示意平面视图;
[0030]图2是图1的Q区域的放大视图;
[0031]图3是根据一个实施方式的一个子像素的等效电路图;
[0032]图4是包括在根据一个实施方式的显示装置中的晶体管的平面视图;
[0033]图5是包括在图4的晶体管中的半导体图案的平面视图;
[0034]图6是沿图4的线VI

VI'截取的剖面视图;
[0035]图7是沿图4的线VII

VII'截取的剖面视图;
[0036]图8是沿图4中的线VIII

VIII'截取的剖面视图;
[0037]图9是沿图4的线IX

IX'截取的剖面视图;
[0038]图10是沿图4中的线X

X'截取的剖面视图;
[0039]图11是示出根据一个实施方式的用于制造显示装置的方法的流程图;
[0040]图12、图13、图14、图15和图16是示出根据一个实施方式的用于制造显示装置的方法的示意图;
[0041]图17是包括在根据本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示装置,包括:衬底;第一绝缘层,所述第一绝缘层布置在所述衬底上;半导体层,所述半导体层布置在所述第一绝缘层上,其中,所述半导体层包括有源图案;第二绝缘层,所述第二绝缘层布置在所述半导体层上;以及第一导电层,所述第一导电层布置在所述第二绝缘层上,其中,所述第一导电层包括与所述有源图案接触的第一电极以及面对所述第一电极并与所述有源图案接触的第二电极,其中,所述有源图案包括:与所述第一电极接触的第一区域;与所述第二电极接触的第二区域;第三区域,所述第三区域的一部分与所述第一区域和所述第二区域间隔开并布置在所述第一区域与所述第二区域之间;布置在所述第一区域与所述第三区域的所述一部分之间的多个第一孔;以及布置在所述第二区域与所述第三区域的所述一部分之间的多个第二孔,并且其中,所述第一绝缘层包括与所述第一孔重叠并具有朝向所述衬底凹陷的顶面的第一凹槽以及与所述第二孔重叠并具有朝向所述衬底凹陷的顶面的第二凹槽。2.如权利要求1所述的显示装置,其中,所述多个第一孔排列的方向与所述多个第二孔排列的方向相同。3.如权利要求2所述的显示装置,其中,所述第三区域包括布置在所述多个第一孔之中的彼此相邻的第一孔之间的第一子区域以及布置在所述多个第二孔之中的彼此相邻的第二孔之间的第二子区域,其中,所述第一子区域不与所述第一凹槽重叠,并且其中,所述第二子区域不与所述第二凹槽重叠。4.如权利要求3所述的显示装置,其中,所述第一子区域的边缘的一部分与所述第一凹槽的边缘对齐,并且其中,所述第二子区域的边缘的一部分与所述第二凹槽的边缘对齐。5.如权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一电极通过贯穿所述第二绝缘层的第一接触孔与所述有源图案的所述第一区域接触,并且其中,所述第二电极通...

【专利技术属性】
技术研发人员:李光洙金璱基金承来李在贤崔昇夏
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:

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