一种高密封性衬氟储罐制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体用湿化学品存储领域，尤其涉及一种高密封性衬氟储罐，包括壳体和衬氟层，所述衬氟层包括：氟板，其粘接于壳体的内壁，包括第一侧表面和第二侧表面，所述第一侧表面和第二侧表面间间隙形成容纳区；所述容纳区远离壳体内壁端宽度大于靠近壳体内壁端宽度；填充部，其填充所述容纳区，且与第一侧表面、第二侧表面密封设置；可增强半导体行业用腐蚀性湿化学品储罐防腐性、密封性，提供储存金属器的寿命，以及降低其对湿化学品的金属离子污染，保证所储存湿化学品的纯净度。保证所储存湿化学品的纯净度。保证所储存湿化学品的纯净度。

【技术实现步骤摘要】
一种高密封性衬氟储罐


[0001]本技术涉及半导体用湿化学品存储领域，尤其涉及一种高密封性衬氟储罐。

技术介绍

[0002]半导体制造业是与化学密切相关的工艺过程，其中需要使用到很多种超高纯度的化学品，而湿化学品试剂是半导体加工环节不可或缺的关键原料。在半导体制造的湿法工艺步骤里使用了许多种对常规的金属储罐具有腐蚀性的湿化学品；且半导体行业对这些湿化学品的纯度要求极高，需要达到电子级别，通常要求低于十亿分之一(ppb)或万亿分之一(ppt)。
[0003]普通的储罐无法满足半导体行业用腐蚀性化学品储存的要求，需要储罐上做防腐来解决其问题。
[0004]常用的一些储罐防腐工艺技术有环氧防腐工艺(EP防腐)、环氧玻璃钢内衬和牺牲阳极保护技术等。储罐内衬防腐工艺，主要分为衬里焊接成型技术、衬里缠绕成型技术、衬里等压成型技术、衬里三维旋转成型技术、带金属网格的成型技术、光板松衬和复合成型技术等。其中，衬里等压成型技术是采用弹性模具成型，工件腔内衬里部位的内外壁在等压差条件下，弹性模具充分利用其弹性使型腔内已装好的四氟粉料压缩并紧贴在衬里壁上，而且四氟衬里厚度h保持一致，完全解决了复杂形状工件内腔的制模技术难题及衬里厚度h不一致的问题，可防止局部应力集中引起裂纹，同时克服了烧结过程固化反应速度不一致导致局部应力集中而带来裂纹产生的后果，但是它不能完全解决负压问题。
[0005]目前，耐腐蚀的储罐的内衬一般采用聚四氟乙烯(PTFE)内衬，PTFE俗称“塑料王”，具有高化学稳定性。用它加工的衬里设备，能耐几乎所有的强酸、强氧化剂、还原剂和各种有机溶剂的腐蚀，聚四氟乙烯衬里设备，是半导体行业用腐蚀性化学品储存及运输的有力工具。但是，在使用中发现，依然会有部分湿化学品渗入聚四氟乙烯内衬板间间隙而腐蚀储罐，进而影响到了湿化学品的纯度，有鉴于此，特提出本申请。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种高密封性衬氟储罐。
[0007]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下：
[0008]一种高密封性衬氟储罐，包括壳体和衬氟层，所述衬氟层包括：
[0009]氟板，其粘接于壳体的内壁，包括第一侧表面和第二侧表面，所述第一侧表面和第二侧表面间间隙形成容纳区；所述容纳区远离壳体内壁端宽度大于靠近壳体内壁端宽度；
[0010]填充部，其填充所述容纳区，且与第一侧表面、第二侧表面密封设置。
[0011]如此设置，相较于所述容纳区远离壳体内壁端宽度与靠近壳体内壁端宽度相同，本技术的第一侧表面和第二侧表面的表面积更大，即第一侧表面和第二侧表面与填充部间预设的密封面积可更大；此外，当容纳区远离壳体内壁端宽度大于靠近壳体内壁端宽
度时，可利于更多的熔融PFA材料沿着第一侧表面、第二侧表面流入至容纳区内侧，以在实际操作中进一步增加熔融的PFA材料与第一表面、第二表面的密封面积，从而增强半导体行业用腐蚀性湿化学品储罐防腐性、密封性，提供储存金属器的寿命，以及降低其对湿化学品的金属离子污染，保证所储存湿化学品的纯净度。
[0012]进一步地，所述衬氟层还包括焊片，该焊片覆盖填充部与第一侧表面、第二侧表面的连接处，且与氟板、填充部的内壁密封连接。
[0013]如此设置，可在填充部密封的基础上进一步通过焊片对填充部与第一侧表面、第二侧表面的相连处进行密封，以进一步增强半导体行业用腐蚀性湿化学品储罐防腐性、密封性，提供储存金属器的寿命，以及降低其对湿化学品的金属离子污染，保证所储存湿化学品的纯净度。
[0014]进一步地，所述第一侧表面、第二侧表面在远离壳体内壁端与填充部间隙设置以形成加强区，熔融的所述焊片流入该加强区内并与填充部、第一侧表面和第二侧表面密封连接。
[0015]如此设置，增加焊片与氟板、填充部的结合强度，当衬氟储罐在受到外界撞击、高低温影响时焊片依然可以粘附在衬氟板和填充部上，对湿化学品起到一个良好的密封作用。
[0016]进一步地，设容纳区远离壳体端宽度尺寸为d2，焊片的宽度尺寸为d3；则d3/d2≥2.2；所述焊片的厚度h小于4mm。
[0017]如此设置，可在焊接焊片时将焊片前端完全加热融化，其材料也不会滴落焊条，便于焊接人员操作，同时d3/d2≥2.2的设置可进一步增加焊片与衬氟板内壁的密封面积。
[0018]进一步地，所述第一侧表面和第二侧表面之间的最小间隙d1大于0.5mm。
[0019]根据本实施例中的技术方案实施，熔融的PFA材料可沿着第一侧表面和第二侧表面流动至壳体内壁并与壳体内壁密封连接，以进一步防止腐蚀性液体与壳体内壁相接触，增加了衬氟储罐的防腐蚀性能。
[0020]进一步地，所述第一侧表面和第二侧表面为倾斜面、弧形面或台阶面。
[0021]如此设置，利于熔融的PFA材料沿着第一侧表面和第二侧表面相壳体内壁方向流动，进而增加填充部与第一侧表面和第二侧表面的密封面积，增加密封性能。
[0022]进一步地，所述第一侧表面和第二侧表面的粗糙度大于Ra25。
[0023]如此设置，利于将熔融的PFA材料容滞在第一侧表面和第二侧表面上，进而利于填充部材料与第一侧表面和第二侧表面相结合形成密封。
[0024]进一步地，所述第一侧表面和第二侧表面为倾斜面，且倾斜面的斜率为40
°
至60
°
。
[0025]根据本实施例中的技术方案实施，结合了成本、操作难度和密封效果三方面因素，可在满足填充部与壳体良好密封的前提下，降低了衬氟成本和操作人员的操作难度。
[0026]进一步地，所述第一侧表面和第二侧表面为同一氟板的两侧端面，或所述第一侧表面和第二侧表面为不同氟板的两相对侧表面。
[0027]如此设置，操作人员可根据实际需要匹配氟板的尺寸，更加快捷方便地在壳体内壁覆盖氟板。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。
[0029]图1是实施例一中衬氟储罐的剖视图；
[0030]图2是图1A处的放大示意图；
[0031]图3是实施例一种第一侧表面和第二侧表面的连接工序示意图1；
[0032]图4是实施例一种第一侧表面和第二侧表面的连接工序示意图2；
[0033]图5是实施例一种第一侧表面和第二侧表面的连接工序示意图3；
[0034]图6是实施例一种第一侧表面和第二侧表面的连接工序示意图4；
[0035]图7为第一侧表面和第二侧表面间最小间隙d1小于0.5mm时的示意图。
[0036]附图标记：
[0037]1.壳体；2.氟板；21.第一侧表面；22.第二侧表面；23.容纳区；231.加强区；232.中空腔体；3.填充部；4.焊片。
具体实施方式<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高密封性衬氟储罐，包括壳体和衬氟层，其特征在于，所述衬氟层包括：氟板，其粘接于壳体的内表面，包括第一侧表面和第二侧表面，所述第一侧表面和第二侧表面间间隙形成容纳区；所述容纳区远离壳体内壁端宽度大于靠近壳体内壁端宽度；填充部，其填充所述容纳区，且与第一侧表面、第二侧表面密封设置。2.根据权利要求1所述的衬氟储罐，其特征在于，所述衬氟层还包括焊片，该焊片覆盖填充部与第一侧表面、第二侧表面的连接处，且与氟板、填充部的内表面密封连接。3.根据权利要求2所述的衬氟储罐，其特征在于，所述第一侧表面、第二侧表面在远离壳体内壁端与填充部间隙设置以形成加强区，熔融的所述焊片流入该加强区内并与填充部、第一侧表面和第二侧表面密封连接。4.根据权利要求2或3所述的衬氟储罐，其特征在于，设容纳区远离壳体端宽度尺寸为d2，焊片的宽度尺寸为d3...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢志东，王志飞，吴一帆，
申请(专利权)人：杭州氟研科技有限公司，
类型：新型
国别省市：