LCOS封装结构及封装方法技术

本发明专利技术提供一种LCOS封装结构及封装方法，所述LCOS封装结构包括：陶瓷基板；玻璃基板，所述玻璃基板与所述陶瓷基板相对设置；坝，所述坝连接所述陶瓷基板与所述玻璃基板，并与其二者围成空腔；LCOS面板，所述LCOS面板设置于所述陶瓷基板上，且位于所述空腔内；金属层，所述金属层覆盖所述玻璃基板与所述坝之间的连接处，以密封所述空腔。本发明专利技术采用金属层覆盖所述玻璃基板与所述坝之间的连接处，并密封所述空腔，防止水汽和灰尘进入所述空腔，达到密封和阻湿的效果，从而提高器件的可靠性。从而提高器件的可靠性。从而提高器件的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
LCOS封装结构及封装方法


[0001]本专利技术涉及半导体光电
，特别涉及一种LCOS封装结构及封装方法。

技术介绍

[0002]LCOS(Liquid Crystal on Silicon，硅液晶)结构是一种新型的反射式投影显示装置，其是采用半导体硅晶技术控制液晶进而“投射”彩色画面。与穿透式LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)和DLP(Digital Light Procession，数字光处理)结构相比，LCOS结构不仅具有光利用效率高、体积小、开口率高、制造技术成熟等特点，而且可以很容易实现高分辨率和充分的色彩表现。上述优点使得LCOS结构在今后的大屏幕显示应用领域具有很大的优势。
[0003]LCOS显示器一般包含LCOS面板与印刷电路板，印刷电路板电连接至LCOS面板，并传递影像信号以供LCOS面板显示画面。如果LCOS显示器直接暴露于空气中，环境中的水汽、落尘容易影响其质量的可靠性。因此，需要对LCOS显示器进行封装。现有技术中，LCOS封装结构包含相对设置的陶瓷基板与玻璃基板，以及连接陶瓷基板与玻璃基板的坝。陶瓷基板、玻璃基板与坝三者围成空腔，LCOS面板设置于三者围成的空腔内，并通过引线接合电连接至陶瓷基板，以阻挡环境中的水汽、落尘等对其造成影响。而且上述封装中的空腔并非是完全密封的，水汽依旧会通过坝与玻璃基板之间的缝隙进入空腔，从而对LCOS面板造成影响，导致其可靠性降低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种LCOS封装结构及封装方法，能够形成密封的空腔，以阻挡水汽和灰尘的进入，从而提高器件的可靠性。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种LCOS封装结构，包括：
[0006]陶瓷基板；
[0007]玻璃基板，所述玻璃基板与所述陶瓷基板相对设置；
[0008]坝，所述坝连接所述陶瓷基板与所述玻璃基板，并与其二者围成空腔；
[0009]LCOS面板，所述LCOS面板设置于所述陶瓷基板上，且位于所述空腔内；以及
[0010]金属层，所述金属层覆盖所述玻璃基板与所述坝之间的连接处，并密封所述空腔。
[0011]可选的，所述LCOS封装结构还包括焊垫；所述焊垫设置于所述陶瓷基板上，所述坝的一端通过所述焊垫与所述陶瓷基板连接，所述坝的另一端设置有朝向所述空腔的台阶，所述玻璃基板的两端分别与所述台阶相卡合连接；所述金属层设置于所述坝与部分所述玻璃基板的顶部，以覆盖所述坝与所述玻璃基板的连接处。
[0012]可选的，所述空腔内填充有与所述LCOS面板的光学折射率相匹配的光学材料。
[0013]可选的，所述光学材料的折射率介于1.4～1.6之间，所述LCOS面板中的玻璃盖板的折射率介于1.4～1.6之间，所述玻璃基板的折射率介于1.4～1.6之间。
[0014]可选的，所述光学材料包括光学油或光学胶。
[0015]可选的，所述光学油或所述光学胶填充于整个所述空腔内；或者，所述光学胶填充于所述玻璃基板与所述LCOS面板之间。
[0016]可选的，所述陶瓷基板或所述坝上设置有填充孔，用于填充所述光学材料。
[0017]可选的，所述填充孔设置有密封塞，所述密封塞的材料包含金属、氧化铝或氮化硅。
[0018]可选的，所述LCOS封装结构还包括黑色遮挡层，所述黑色遮挡层覆盖所述坝的外表面、所述坝与所述陶瓷基板连接处的焊垫外侧以及所述金属层。
[0019]可选的，所述LCOS面板包括相对设置的硅衬底与玻璃盖板，以及位于所述硅衬底与所述玻璃盖板之间的液晶层；所述LCOS面板还包括抗反射膜，所述抗反射膜位于所述玻璃盖板上；所述LCOS面板通过粘结层与所述陶瓷基板相粘结以固定于所述陶瓷基板上。
[0020]相应的，本专利技术还提供一种LCOS封装方法，包括以下步骤：
[0021]提供LCOS面板与陶瓷基板，将所述LCOS面板设置于所述陶瓷基板上；
[0022]在所述陶瓷基板的四周设置坝；
[0023]在所述坝上覆盖玻璃基板，使所述玻璃基板、所述坝与所述陶瓷基板三者之间围成空腔，所述LCOS面板位于所述空腔内；以及
[0024]在所述玻璃基板与所述坝之间的连接处覆盖金属层，以密封所述空腔。
[0025]可选的，所述LCOS封装方法还包括：在覆盖所述玻璃基板之前，在所述空腔内填充光学材料。
[0026]可选的，所述LCOS封装方法还包括：在所述陶瓷基板或所述坝上设置填充孔，在形成所述空腔之后，通过所述填充孔向所述空腔内填充所述光学材料，并利用密封塞封闭所述空腔。
[0027]可选的，所述LCOS封装方法还包括：在所述坝的外表面、所述坝与所述陶瓷基板连接处的焊垫外侧、以及所述金属层上覆盖黑色遮挡层。
[0028]综上所述，本专利技术提供的LCOS封装结构及封装方法中，陶瓷基板、玻璃基板与坝围成空腔，LCOS面板设置于所述空腔内，金属层覆盖所述玻璃基板与所述坝之间的连接处，并密封所述空腔，防止水汽和灰尘进入所述空腔，达到密封和阻湿的效果，以提高器件的可靠性。
[0029]进一步的，在所述空腔内填充有与所述LCOS面板的光学折射率相匹配的光学材料，从而增加对所述LCOS面板的密封保护。当所述光学材料为光学油时，油脂会应力自平衡，从而降低所述LCOS面板所承受的应力。
[0030]进一步的，在所述坝的外表面、所述坝与所述陶瓷基板连接处的焊垫外侧以及所述金属层上还覆盖有黑色遮挡层，以避免金属引起的杂光反射或散射，提高成像质量。
附图说明
[0031]本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本专利技术，而不对本专利技术的范围构成任何限定。其中：
[0032]图1是本专利技术实施例一提供的LCOS封装结构的示意图。
[0033]图2是本专利技术实施例二提供的LCOS封装结构的示意图。
[0034]图3是本专利技术实施例二提供的LCOS封装结构的示意图。
[0035]图4是本专利技术实施例三提供的LCOS封装结构的示意图。
[0036]图5是本专利技术实施例三提供的LCOS封装结构的示意图。
[0037]图6是本专利技术实施例四提供的LCOS封装结构的示意图。
[0038]图7是本专利技术实施例四提供的LCOS封装结构的示意图。
[0039]图8是本专利技术实施例四提供的LCOS封装结构的示意图。
[0040]图9是本专利技术一实施例提供的LCOS封装方法的流程图。
[0041]附图中：
[0042]11
‑
陶瓷基板；12
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玻璃基板；13
‑
坝；14
‑
金属层；15
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焊垫；16
‑
接触垫；17
‑
抗反射膜；18
‑
高分子固定胶；20
‑
LCOS面板；21
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LCOS封装结构，其特征在于，所述LCOS封装结构包括：陶瓷基板；玻璃基板，所述玻璃基板与所述陶瓷基板相对设置；坝，所述坝连接所述陶瓷基板与所述玻璃基板，并与其二者围成空腔；LCOS面板，所述LCOS面板设置于所述陶瓷基板上，且位于所述空腔内；以及金属层，所述金属层覆盖所述玻璃基板与所述坝之间的连接处，并密封所述空腔。2.根据权利要求1所述的LCOS封装结构，其特征在于，所述LCOS封装结构还包括焊垫；所述焊垫设置于所述陶瓷基板上，所述坝的一端通过所述焊垫与所述陶瓷基板连接，所述坝的另一端设置有朝向所述空腔的台阶，所述玻璃基板的两端分别与所述台阶相卡合连接；所述金属层设置于所述坝与部分所述玻璃基板的顶部，以覆盖所述坝与所述玻璃基板的连接处。3.根据权利要求1所述的LCOS封装结构，其特征在于，所述空腔内填充有与所述LCOS面板的光学折射率相匹配的光学材料。4.根据权利要求3所述的LCOS封装结构，其特征在于，所述光学材料的折射率介于1.4～1.6之间，所述LCOS面板中的玻璃盖板的折射率介于1.4～1.6之间，所述玻璃基板的折射率介于1.4～1.6之间。5.根据权利要求3所述的LCOS封装结构，其特征在于，所述光学材料包括光学油或光学胶。6.根据权利要求5所述的LCOS封装结构，其特征在于，所述光学油或所述光学胶填充于整个所述空腔；或者，所述光学胶填充于所述玻璃基板与所述LCOS面板之间。7.根据权利要求3所述的LCOS封装结构，其特征在于，所述陶瓷基板或所述坝上设置有填充孔，用于填充所述光学材料。8.根据权利要求7所述的LCOS封装结构，其特征在于，所述填充孔设置有密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：范纯圣，许冠军，
申请(专利权)人：豪威半导体上海有限责任公司，
类型：发明
国别省市：