酚醛清漆树脂、环氧树脂、感光性树脂组合物、固化性树脂组合物、固化物、电子器件、酚醛清漆树脂的制造方法及环氧树脂的制造方法技术

一种酚醛清漆树脂，其具有由

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】酚醛清漆树脂、环氧树脂、感光性树脂组合物、固化性树脂组合物、固化物、电子器件、酚醛清漆树脂的制造方法及环氧树脂的制造方法


[0001]本专利技术涉及酚醛清漆树脂、环氧树脂、感光性树脂组合物、固化性树脂组合物、固化物、电子器件、酚醛清漆树脂的制造方法及环氧树脂的制造方法。

技术介绍

[0002]为了制造电子器件，有时会使用氟系树脂。
[0003]作为一例，专利文献1记载了包含含氟树脂的光刻用抗蚀剂上层膜形成组合物。
[0004]作为另一例，专利文献2记载了包含具有氟原子的聚合物的电路基板用树脂基板。
[0005]作为另一例，专利文献3记载了含有含氟酚醛清漆树脂的抗蚀剂下层膜材料。
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本专利第6319582号公报
[0008]专利文献2：日本专利第6206445号公报
[0009]专利文献3：日本专利第6502885号公报

技术实现思路

[0010]专利技术要解决的问题
[0011]本专利技术人等以提供可优选用于电子器件的制造的含氟树脂为目的之一来进行研究。
[0012]用于解决问题的方案
[0013]本专利技术人等研究的结果，完成了以下第1专利技术及第2专利技术。
[0014]第1专利技术如下。
[0015]一种酚醛清漆树脂，其具有由
‑
C(CF3)H
‑
所示的部分结构。
[0016]另外，根据本专利技术，提供一种感光性树脂组合物，
[0017]其包含上述酚醛清漆树脂和感光剂。
[0018]第2专利技术如下。
[0019]一种环氧树脂，其具有由
‑
C(CF3)H
‑
所示的部分结构。
[0020]另外，根据本专利技术，提供一种固化性树脂组合物，
[0021]其包含第1专利技术的酚醛清漆树脂或第2专利技术的环氧树脂中的至少1者。
[0022]另外，根据本专利技术，提供一种固化物，
[0023]其为使上述固化性树脂组合物固化而成的。
[0024]另外，根据本专利技术，提供一种电子器件，
[0025]其包含上述固化物。
[0026]另外，根据本专利技术，提供一种酚醛清漆树脂的制造方法，
[0027]其通过使芳香族化合物和2,2,2
‑
三氟乙醛在酸催化剂的存在下反应，从而制造具
有由
‑
C(CF3)H
‑
所示的部分结构的酚醛清漆树脂。
[0028]另外，根据本专利技术，提供一种环氧树脂的制造方法，
[0029]其包括：使具有由
‑
C(CF3)H
‑
所示的部分结构的酚醛清漆树脂在碱的存在下与表卤代醇反应的环氧化工序。
[0030]根据本专利技术，提供可优选用于电子器件的制造的含氟树脂。
具体实施方式
[0031]以下详细地说明本专利技术的实施方式。
[0032]本说明书中，在数值范围的说明中的“X～Y”的表述，只要没有特别记载，则表示X以上且Y以下。例如，“1～5质量％”，是指“1质量％以上且5质量％以下”。
[0033]在本说明书中的基团(原子团)的表述中，未记载取代或无取代的表述，包含不具有取代基者和具有取代基者这两者。例如“烷基”，不仅包含不具有取代基的烷基(无取代烷基)，还包含具有取代基的烷基(取代烷基)。
[0034]在本说明书中的“(甲基)丙烯酸”的表述，表示包括丙烯酸与甲基丙烯酸这两者的概念。关于“(甲基)丙烯酸酯”等类似的表述也同样。
[0035]在本说明书中的“有机基团”的术语，只要没有特别记载，则表示由有机化合物去除1个以上的氢原子的原子团。例如“1价有机基团”，表示自任意有机化合物去除1个氢原子的原子团。
[0036]在本说明书的化学式中，“Me”的表述表示甲基(CH3)。
[0037]本说明书中，“2,2,2
‑
三氟乙醛”的术语，是指三氟基乙醛(trifluoroacetaldehyde)。
[0038]在本说明书中的“酚醛清漆树脂”，不仅包含将苯酚、甲酚等在单环的芳环上有羟基取代的酚系化合物作为原料者，还包含将例如羟基萘等在多环的芳环上有羟基取代的酚系化合物作为原料者。另外，在本说明书中的酚醛清漆树脂，不仅包含酚系化合物和甲醛反应而成者，还包含酚系化合物和各种醛(具体上为2,2,2
‑
三氟乙醛等)反应而成者。另外，在本说明书中，酚醛清漆树脂中的酚羟基的一部分或全部氢原子也可以被氢原子以外的基团取代。即，在本说明书中，酚醛清漆树脂可以包含不具有酚羟基者。
[0039]本说明书中的“电子器件”的术语，以包括半导体芯片、半导体元件、印刷布线基板、电气电路、显示装置、信息通讯终端、发光二极管、物理电池、化学电池等应用了电子工学技术的元件、器件、最终产品等的含义使用。
[0040]在本说明书中，有时将第1专利技术的实施方式记为第1实施方式，将第2专利技术的实施方式记为第2实施方式。
[0041]第1专利技术的酚醛清漆树脂和第2专利技术的环氧树脂在具有由芳香环
‑
C(CF3)H
‑
芳香环所示的部分结构这方面有共通性。通过具有这样的部分结构，在电子器件制造中经常使用的光(g射线、i射线、h射线等)的透过性及对碱性显影液的溶解性会变得良好。
[0042]《第1实施方式》
[0043]〈酚醛清漆树脂〉
[0044]第1实施方式的酚醛清漆树脂具有由
‑
C(CF3)H
‑
所示的部分结构。
[0045]第1实施方式的酚醛清漆树脂作为一例在电子器件制造中经常使用的光(g射线、i
射线、h射线等)的透过性良好。认为这是由于第1实施方式的酚醛清漆树脂含有作为吸电子性的氟原子(认为这是由于C
‑
F键与C
‑
H键相比，不易吸收g射线、i射线、h射线等光)。
[0046]另外，第1实施方式的酚醛清漆树脂作为另一例，虽然包含通常表现出疏水性的氟原子，但对在电子器件制造中经常使用的碱性显影液的溶解性良好(以下也将对碱性显影液的溶解性简记为“碱溶性”)。机制虽未确定，但认为由于第1实施方式的酚醛清漆树脂具有
‑
C(CF3)H
‑
这样的非对称结构，因此由氟原子所具有的高的吸电子性的性质与弯曲的聚合物结构所带来的贡献大。可推测该情况与良好的碱溶性有关。
[0047]另外，在结构单元内具有氟原子也会在压印用途上带来优点。作为对通常的压印用树脂所要求的性质，期待与金属模具的密合性低。通过在第1实施方式中在结构单元内具有氟原子，从而能够降低与模具的密合性。
[0048]以下继续进行关于第1实施方式的酚醛清漆树脂的说明。
[0049]第1实施方式的酚醛清漆树脂优选具有由以下通式(1)所示的结构单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种酚醛清漆树脂，其具有由
‑
C(CF3)H
‑
所示的部分结构。2.根据权利要求1所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下通式(1)所示的结构单元，通式(1)中，R1表示氢原子或1价有机基团，存在多个R1的情况下，它们任选相同或不同，R2表示1价取代基，存在多个R2的情况下，它们任选相同或不同，n为0～2，p为1以上，q为0以上，其中，n为0时p+q≤4，n为1时p+q≤6，n为2时p+q≤8。3.根据权利要求2所述的酚醛清漆树脂，其中，n＝0。4.根据权利要求1所述的酚醛清漆树脂，其具有选自由以下通式(8)～(11)组成的组中的至少1种结构单元，
通式(8)～(11)中，R1表示氢原子或1价有机基团，存在多个R1的情况下，它们任选相同或不同，R2表示1价取代基，存在多个R2的情况下，它们任选相同或不同，l及m分别独立地为0～3，R3表示氢原子、烷基、烯基或芳基，这些基团任选进一步被氟原子取代，R3任选连接而形成饱和或不饱和的、单环或多环的、碳数3～10的环式基，存在多个R3的情况下，它们任选相同或不同。5.根据权利要求2～4中任一项所述的酚醛清漆树脂，其中，所述R1包含聚合性碳
‑
碳双键。6.根据权利要求1～5中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下通式(12)所示的部分结构，
通式(12)中，R4表示氢原子或一价有机基团，R5表示氢原子、甲基或氟原子。7.根据权利要求6所述的酚醛清漆树脂，其中，R4表示在末端具有羧基的基团。8.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(2)所示的结构单元，9.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(3)所示的结构单元，10.根据权利要求1或2所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(4)所示的结构单元，11.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(5)所示的结构单元，12.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(6)所示的结构单元，13.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(22)所示的结构单元，14.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(23)所示的结
构单元，15.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(24)所示的结构单元，16.根据权利要求1～3中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有由以下式(25)所示的结构单元，通式(25)中，R2表示1价取代基，存在多个R2的情况下，它们任选相同或不同，q为0～3。17.根据权利要求1～4中任一项所述的酚醛清漆树脂，其具有选自由以下通式(13)～(15)组成的组中的至少1种结构单元，
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【专利技术属性】
技术研发人员：广泷谦亮，原由香里，青木贵志，名仓裕力，细井健史，
申请(专利权)人：中央硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：