参数调整装置(500)对与由测定用传感器(210)向对象物投射的激光的控制相关的参数进行调整。参数计算部(520)针对通过使用了包含测定用传感器(210)的受光量的波形数据和表示取得波形数据时的参数的数据在内的学习数据的机器学习而生成的训练好的模型，应用在新的状态下新取得的波形数据，计算在新的状态下使用测定用传感器(210)能够对对象物进行测定的参数。参数输出部(530)将表示由参数计算部(520)计算出的参数的数据进行输出。(520)计算出的参数的数据进行输出。(520)计算出的参数的数据进行输出。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】参数调整装置、学习装置、测定系统、参数调整方法及程序
[0001]本专利技术涉及参数调整装置、学习装置、测定系统、参数调整方法及程序。
技术介绍
[0002]使用激光对对象物进行测定的激光位移传感器，例如如果使用多个传感器头进行测定，或对透明的对象物进行测定，则激光发生干涉而受光量的峰值波形在原本成为一个的地方存在大于或等于2个，有可能得不到稳定的测定结果。因此，使用者利用包含计算机装置的信息处理系统，对受光量的波形进行分析，然后对与激光的干涉相关的参数进行调整。
[0003]作为如上所述的信息处理系统的一个例子，在专利文献1中公开了能够设定拍摄条件的光学式位移测量系统。专利文献1所记载的光学式位移测量系统，对根据预先设定的拍摄参数和其拍摄结果能够进行适当测量的拍摄参数的可靠度进行计算，将多个拍摄参数按照可靠度从高到低的顺序排列显示，使用户对任意的拍摄参数进行选择。
[0004]另外，作为如上所述的计算机装置的一个例子，在专利文献2中公开了能够对位移计的控制参数进行调整的检查装置，该位移计取得表示对象物的剖面形状的2维轮廓。专利文献2所记载的检查装置对作为调整参数的一个例子的图像掩模的形状及区域进行调整，由此能够减小杂散光或受光量不足的影响。
[0005]专利文献1：日本特开2016－161473号公报
[0006]专利文献2：日本特开2015－163841号公报
技术实现思路
[0007]专利文献1所记载的光学式位移测量系统及专利文献2所记载的检查装置由使用者手动地设定出参数，有可能根据使用者的熟练度无法适当地设定参数，无法适当地对对象物进行测定。特别地，专利文献1所记载的光学式位移测量系统存在下述问题，即，使用者只能够从预先设定的多个种类的拍摄参数对拍摄参数进行选择，即使使用者选择出最好的拍摄参数，也无法进行适当的测量。另外，专利文献2所记载的检查装置存在下述问题，即，即使对作为调整参数的图像掩模的形状及区域进行调整，也无法增加受光量本身，2维轮廓的取得所需的受光量有可能不足。
[0008]本专利技术就是鉴于上述这样的情况而提出的，其目的在于适当地对对象物进行测定。
[0009]为了达到上述目的，本专利技术所涉及的参数调整装置对与由测定用传感器向对象物投射的激光的控制相关的参数进行调整。参数调整装置具有参数计算部和参数输出部。参数计算部针对通过使用了包含由测定用传感器从对象物受光的激光的受光量的波形数据和表示取得波形数据时的参数的数据在内的学习数据的机器学习而生成的训练好的模型，应用在由测定用传感器向对象物投射出激光的新的状态下新取得的波形数据，计算在新的状态下使用测定用传感器能够对对象物进行测定的参数。参数输出部将表示由参数计算部
计算出的参数的数据进行输出。
[0010]专利技术的效果
[0011]根据本专利技术，针对通过使用了包含波形数据和表示参数的数据在内的学习数据的机器学习而生成的训练好的模型，应用在新的状态下新取得的波形数据，计算在新的状态下使用测定用传感器能够对对象物进行测定的参数并输出。因此，通过根据输出的数据而确定的参数，使用测定用传感器对对象物进行测定，由此适当地对对象物进行测定。
附图说明
[0012]图1是表示本专利技术的实施方式所涉及的测定系统的功能结构的图。
[0013]图2是表示本实施方式所涉及的测定装置、学习装置及参数调整装置的硬件结构的框图。
[0014]图3是表示本实施方式所涉及的参数的例子的图。
[0015]图4A是表示本实施方式所涉及的波形数据的显示例1的图。
[0016]图4B是表示本实施方式所涉及的波形数据的显示例2的图。
[0017]图5A是未指定投射量调整区域而对投射量和测定中心进行调整时的说明图1。
[0018]图5B是未指定投射量调整区域而对投射量和测定中心进行调整时的说明图2。
[0019]图5C是指定投射量调整区域而对投射量进行调整时的说明图。
[0020]图5D是将干涉避免功能设为有效而对投射量进行调整时的说明图。
[0021]图6A是表示本实施方式所涉及的测定的成功例1的图。
[0022]图6B是表示本实施方式所涉及的测定的失败例1的图。
[0023]图7A是表示本实施方式所涉及的测定的成功例2的图。
[0024]图7B是表示本实施方式所涉及的测定的失败例2的图。
[0025]图8A是表示本实施方式所涉及的测定的成功例3的图。
[0026]图8B是表示本实施方式所涉及的测定的失败例3的图。
[0027]图9是表示本实施方式所涉及的测定结果显示画面的显示例的图。
[0028]图10是表示本实施方式所涉及的训练好的模型生成处理的流程图。
[0029]图11是表示本实施方式所涉及的参数调整处理的流程图。
[0030]图12是表示本实施方式所涉及的测定处理的流程图。
具体实施方式
[0031]下面，参照附图，对用于实施本专利技术的方式所涉及的参数调整装置、学习装置、测定系统、参数调整方法及程序详细地进行说明。此外，在图中对相同或者相当的部分标注相同的标号。
[0032]本专利技术的实施方式所涉及的测定系统使用测定用传感器对对象物进行测定。另外，本专利技术的实施方式所涉及的参数调整装置、参数调整方法及程序对在测定时与由测定用传感器向对象物投射的激光的控制相关的参数进行调整。另外，本专利技术的实施方式所涉及的学习装置通过机器学习而生成由参数调整装置、参数调整方法及程序为了对参数进行调整所使用的训练好的模型。
[0033]图1是表示本专利技术的实施方式所涉及的测定系统的功能结构的图。
[0034]本实施方式所涉及的测定系统100如图1所示，具有测定装置200，该测定装置200包含对对象物进行测定的激光位移传感器。在这里，激光位移传感器是从传感器头的激光二极管发出激光，由作为受光元件的CMOS传感器对对象物的反射光量进行受光而进行测定的传感器，是以测定中心距离为基准而在测定范围内进行移动量的测定的传感器。另外，测定系统100具有：学习装置300，其通过使用了学习数据的机器学习而生成训练好的模型；训练好的模型存储DB(DataBase)400，其对训练好的模型进行存储；以及参数调整装置500，其在测定时使用训练好的模型对参数进行调整。测定装置200、学习装置300、训练好的模型存储DB 400、参数调整装置500经由未图示的LAN(Local Area Network)能够进行数据的收发。
[0035]测定装置200具有：测定用传感器210，其对对象物进行测定；参数设定部220，其对测定用传感器210的参数进行设定；以及波形数据生成部230，其生成由测定用传感器210从对象物受光的激光的受光量的波形数据。另外，测定装置200具有：测定部240，其基于波形数据对对象物进行测定；以及测定结果显示部250，其对测定结果进行显示。
[0036]学习装置30本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种参数调整装置，其对与由测定用传感器向对象物投射的激光的控制相关的参数进行调整，该参数调整装置具有：参数计算部，其针对通过使用了包含由所述测定用传感器从所述对象物受光的激光的受光量的波形数据和表示取得所述波形数据时的所述参数的数据在内的学习数据的机器学习而生成的训练好的模型，应用在由所述测定用传感器向所述对象物投射出激光的新的状态下新取得的波形数据，计算在所述新的状态下使用所述测定用传感器能够对所述对象物进行测定的所述参数；以及参数输出部，其将表示由所述参数计算部计算出的所述参数的数据进行输出。2.根据权利要求1所述的参数调整装置，其中，所述参数包含有投射量调整区域指定参数，该投射量调整区域指定参数指定对由所述测定用传感器投射的激光的投射量进行调整的区域。3.根据权利要求1或2所述的参数调整装置，其中，所述参数包含有干涉避免参数，该干涉避免参数在作为所述测定用传感器而使用第1测定用传感器和第2测定用传感器时，避免由一个测定用传感器投射出的激光对另一个测定用传感器的受光造成干涉。4.根据权利要求1至3中任一项所述的参数调整装置，其中，还具有训练好的模型生成部，该训练好的模型生成部通过使用了所述学习数据的机器学习而生成所述训练好的模型。5.根据权利要求4所述的参数调整装置，其中，所述训练好的模型生成部能够根据所述学习数据所包含的所述波形数据对峰值波形进行确定，提高确定出1个所述峰值波形的所述学习数据的评价，另一方面，降低没有确定所述峰值波形的所述学习数据及确定出多个所述峰值波形的所述学习数据的评价而进行机器学习。6.根据权利要求5所述的参数调整装置，其中，所述参数计算部对推测为根据在所述新的状态下取得的所述波形数据而确定的峰值波形成为1个的所述参数进行计算。7.一种学习装置，其具有训练好的模型生成部，该训练好的模型生成部在基于由测定用传感器从对象物受光的激光的受光量的波形数据对所述对象物进行测定的状态下对与由所述测定用传感器向所述对象物投射的激光的控制相关的参数进行设定而对所述对...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿多大树，名女松谕，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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