一种等离子体去胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了等离子设备技术领域的一种等离子体去胶装置，包括储存装置和吸气装置，所述储存装置包括箱体、箱盖、真空泵、载物台和下电极板，所述箱盖镶嵌于所述箱体的顶部，所述真空泵通过导管与所述箱体内腔连通，所述载物台和所述下电极板分别通过安装柱固定于所述箱体内腔底部；所述吸气装置位于所述箱体的底部；该等离子体去胶装置的设置，通过在箱盖的底部安装吸气装置，吸气装置中的上电极板下移后与下电极板配合使用对工件的表面进行去胶，而在去胶过程中会产生挥发性气体，此时挥发性气体聚集在工件的上表面还未扩散，此时吸气环随着电动推杆上移进而对挥发性气体进行吸收排出，从而能够有效的降低对氧气的抽出量。抽出量。抽出量。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体去胶装置


[0001]本技术涉及等离子设备
，具体为一种等离子体去胶装置。

技术介绍

[0002]等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体，其运动主要受电磁力支配，并表现出显著的集体行为，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固，液，气外，物质存在的第四态。
[0003]中国专利CN213558599U公布了一种等离子体去胶装置，通过设置旋转平台和旋转块，可以对该装置起到有效的旋转功能，在使用过程中，可以根据使用需求进行有效的旋转处理，避免无法对其进行有效的旋转，导致该装置使用不便，从而有效的提升了该装置的使用功效。现有的等离子体在对工件进行去胶时，使用机械泵对腔室中产生的挥发性气体进行吸收，在吸收的过程中极易将氧气大量的一同吸出。为此，需要设计新的技术方案给予解决。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种等离子体去胶装置，以解决上述
技术介绍
中提出的等离子体在对工件进行去胶时，使用机械泵对腔室中产生的挥发性气体进行吸收，在吸收的过程中极易将氧气大量的一同吸出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种等离子体去胶装置，包括储存装置和吸气装置，所述储存装置包括箱体、箱盖、真空泵、载物台和下电极板，所述箱盖镶嵌于所述箱体的顶部，所述真空泵通过导管与所述箱体内腔连通，所述载物台和所述下电极板分别通过安装柱固定于所述箱体内腔底部；所述吸气装置位于所述箱体的底部，所述吸气装置包括吸气环、安装板、上电极板和电动推杆，所述电动推杆通过螺栓固定于所述箱体的底部，所述安装板通过螺栓固定于所述电动推杆的底部，所述吸气环通过连接柱固定于所述安装板的底部，所述吸气环内侧壁开有吸气孔，所述上电极板通过安装柱固定于所述安装板的底部。
[0006]为了方便箱体与箱盖之间进行连接，作为本技术的一种等离子体去胶装置优选的，所述箱体的顶部四个顶点处延伸有定位销，所述箱盖通过所述定位销镶嵌于所述箱体顶部。
[0007]为了方便的对箱盖进行提升和移动，作为本技术的一种等离子体去胶装置优选的，所述箱盖的顶部通过螺栓固定有拉环。
[0008]为了提高安装板在竖直方向上移动的稳定性，作为本技术的一种等离子体去胶装置优选的，所述箱盖的底部通过螺栓固定有多个限位杆，所述限位杆贯穿所述安装板。
[0009]为了将工件稳定的放置在载物台上，作为本技术的一种等离子体去胶装置优选的，所述载物台的顶部开有凹槽。
[0010]为了控制吸气环下移的距离，作为本技术的一种等离子体去胶装置优选的，所述箱体内腔底部通过螺栓固定有多个定位柱，所述定位柱的顶部与所述吸气环的底部接触。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该等离子体去胶装置的设置，结构设计合理，通过在箱盖的底部安装吸气装置，吸气装置中的上电极板下移后与下电极板配合使用对工件的表面进行去胶，而在去胶过程中会产生挥发性气体，此时挥发性气体聚集在工件的上表面还未扩散，此时吸气环随着电动推杆上移进而对挥发性气体进行吸收排出，从而能够有效的降低对氧气的抽出量。
附图说明
[0012]图1为本技术立体结构示意图；
[0013]图2为本技术剖视结构示意图；
[0014]图3为本技术箱体俯视结构示意图。
[0015]图中：100、储存装置；110、箱体；111、定位销；112、定位柱；120、箱盖；121、拉环；122、限位杆；130、真空泵；140、载物台；150、下电极板；200、吸气装置；210、吸气环；211、连接柱；220、安装板；230、上电极板；240、电动推杆。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：包括储存装置100和吸气装置200。
[0018]本技术方案中，一种等离子体去胶装置，储存装置100包括箱体110、箱盖120、真空泵130、载物台140和下电极板150，箱盖120镶嵌于箱体110的顶部，真空泵130通过导管与箱体110内腔连通，载物台140和下电极板150分别通过安装柱固定于箱体110内腔底部；
[0019]在这种技术方案中，箱体110和箱盖120组成一个腔室用于方便对工件进行去胶，真空泵130用于对箱体110的内腔进行抽气使其腔室处于真空，载物台140用于使工件水平的放置于其表面，下电极板150与上电极板230相互配合使用用于将氧气电离产生等离子体，进而去除工件表面的胶体。
[0020]本技术方案中，吸气装置200位于箱体110的底部，吸气装置200包括吸气环210、安装板220、上电极板230和电动推杆240，电动推杆240通过螺栓固定于箱体110的底部，安装板220通过螺栓固定于电动推杆240的底部，吸气环210通过连接柱211固定于安装板220的底部，吸气环210内侧壁开有吸气孔，上电极板230通过安装柱固定于安装板220的底部；
[0021]在这种技术方案中，电动推杆240用于控制上电极板230和吸气环210与载物台140之间的距离，安装板220用于安装上电极板230和吸气环210，吸气环210在外接的机械泵的作用下对腔室内产生的挥发性气体进行吸收。
[0022]在有的技术方案中，参考图1
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2，箱体110的顶部四个顶点处延伸有定位销111，箱盖120通过定位销111镶嵌于箱体110顶部。
[0023]在这种技术方案中，在箱盖120的底部四个顶点处开有与四个定位销111位置相对应的凹槽，进而能够方便箱体110与箱盖120的安装。
[0024]在有的技术方案中，参考图1
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2，箱盖120的顶部通过螺栓固定有拉环121。
[0025]在这种技术方案中，拉环121的使用能够方便的对箱盖120进行提拿，将箱盖120与箱体110进行分离和安装。
[0026]在有的技术方案中，参考图2，箱盖120的底部通过螺栓固定有多个限位杆122，限位杆122贯穿安装板220。
[0027]在这种技术方案中，限位杆122的使用能够有效的对安装板220在上下移动的过程中进行控制，使其保持平稳不发生倾斜。
[0028]在有的技术方案中，参考图1
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3，载物台140的顶部开有凹槽。
[0029]在这种技术方案中，将工件放置进凹槽中，利用凹槽的侧边以防止工件滑出载物台140的表面。
[0030]在有的技术方案中，参考图2，箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体去胶装置，其特征在于：包括储存装置(100)和吸气装置(200)，所述储存装置(100)包括箱体(110)、箱盖(120)、真空泵(130)、载物台(140)和下电极板(150)，所述箱盖(120)镶嵌于所述箱体(110)的顶部，所述真空泵(130)通过导管与所述箱体(110)内腔连通，所述载物台(140)和所述下电极板(150)分别通过安装柱固定于所述箱体(110)内腔底部；所述吸气装置(200)位于所述箱体(110)的底部，所述吸气装置(200)包括吸气环(210)、安装板(220)、上电极板(230)和电动推杆(240)，所述电动推杆(240)通过螺栓固定于所述箱体(110)的底部，所述安装板(220)通过螺栓固定于所述电动推杆(240)的底部，所述吸气环(210)通过连接柱(211)固定于所述安装板(220)的底部，所述吸气环(210)内侧壁开有吸气孔，所述上电极板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘锋，张洪彬，刘军，
申请(专利权)人：深圳市睿宝科技有限公司，
类型：新型
国别省市：