一种柔性探针组件制造技术

本实用新型专利技术属于半导体超低温检测技术领域，公开了一种柔性探针组件，包括具有导热性的安装基板，还包括探针、柔性连接件和电信接头；所述探针连接在柔性连接件上，并通过柔性连接件与所述安装基板连接；所述柔性连接件通过导线与所述电信接头连接，电信接头用于将电信参数引出所述柔性探针组件外；所述柔性连接件具有弹性结构，以通过弹性结构抵消柔性连接件由于热胀冷缩带来的应力。本实用新型专利技术通过以具有弹性结构的柔性连接件作为探头臂，在自动连续变温实验中，可抵消热胀冷缩带来的应力，实现自动补偿热铆钉探头的探头臂的温度膨胀，显著提高了测量的稳定性，并且柔性探针允许连续的变温实验，减少了反复落针带来的连接问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性探针组件


[0001]本技术属于半导体超低温检测
，具体涉及一种柔性探针组件。

技术介绍

[0002]超低温技术在许多领域的应用到今天已经有了较大进展，主要应用于能源(超导输电、超导储能、超导电机等)、交通(磁悬浮列车、船舶磁推进器)、医疗卫生(核磁共振成像、生物磁仪器等)、电子技术(超导微波技术应用、各类超导传感技术、半导体—超导体集成电路、超导计算元件等)等领域。
[0003]随着半导体行业的迅猛发展，对半导体器件的研究要求越来越高，特别是真空环境、高温环境、极低温环境等不同环境中的测试情况越来越多。在芯片等半导体的电学性能测试中，便会用到超低温技术，并通过相应的检测设备进行检测。
[0004]现有的真空探针台上安装有探针组件，探针组件通过探针可与半导体测试样品进行接触而获得相应的电信参数。探针组件的构成大致为安装基板、电信接头和探头臂以及探针，探针通过探头臂安装在安装基板上，并通过电信接头将电信参数引出。
[0005]通常的标准的探针在4.2k到室温的变温过程中会因为探头臂的热胀冷缩移动大约400微米，这样就限制了自动连续变温实验，因为探针在每个重要的温度转变点都要抬起在落下，并且每次抬针落针带来的接触电阻的变化，导致测量数据不够准确和可靠。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种柔性探针组件，以解决探针组件的探头臂会在高低温的连续变温实验中容易受热胀冷缩使探针不稳定而影响测量数据准确性的问题。
[0007]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0008]一种柔性探针组件，包括具有导热性的安装基板，还包括探针、柔性连接件和电信接头；
[0009]所述探针连接在柔性连接件上，并通过柔性连接件与所述安装基板连接；所述柔性连接件通过导线与所述电信接头连接，电信接头用于将电信参数引出所述柔性探针组件外；
[0010]所述柔性连接件具有弹性结构，以通过弹性结构抵消柔性连接件由于热胀冷缩带来的应力。
[0011]在可能的实现方式中，所述柔性连接件具有下安装部和上连接部，在下安装部安装所述探针，并通过上连接部使柔性连接件安装在所述安装基板上；所述柔性连接件的上连接部通过导线与所述电信接头连接；
[0012]所述弹性结构包括连接在所述下安装部与所述上连接部之间两个弹性部，两个弹性部相互平行且为金属弹片。
[0013]在可能的实现方式中，所述弹性部呈纵向延伸的倾斜结构或呈纵向延伸的弯曲结构。
[0014]在可能的实现方式中，所述柔性连接件设有两个且相互对称的连接在所述安装基板的两侧。
[0015]在可能的实现方式中，两个所述柔性连接件均由金属弹片弯曲而成。
[0016]在可能的实现方式中，所述安装基板为氧化铝陶瓷板。
[0017]在可能的实现方式中，所述柔性探针组件还包括固定部件，固定部件包括卡板，卡板具有至少一个卡爪并通过卡爪将安装基板固定在卡板上。
[0018]在可能的实现方式中，所述卡板具有两个卡爪，其中一个为安装卡爪，另一个为夹持卡爪，所述安装基板的顶部抵靠于安装卡爪，安装基板的右侧通过夹持卡爪被夹持固定。
[0019]在可能的实现方式中，所述卡板在两个卡爪之间设有导引针，导引针的一端通过导线与所述柔性连接件连接，导引针的另一端与所述电信接头连接。
[0020]在可能的实现方式中，所述导线为50Ω阻抗微带线。
[0021]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0022]本技术的柔性探针组件，通过以具有弹性结构的柔性连接件作为探头臂，在自动连续变温实验中，可抵消热胀冷缩带来的应力，实现自动补偿热铆钉探头的探头臂的温度膨胀，显著提高了测量的稳定性，可利于实现宽温度范围内的测量自动化，并且柔性探针允许连续的变温实验，减少了反复落针带来的连接问题，避免了由于每次抬针落针带来的接触电阻的变化。
[0023]而且，借助了氧化铝陶瓷材料的温度和电稳定性，可阻止不必要的热量到样品，并通过该材料的安装基板具有的高导热率可使得实验环境温度与其温度平衡，提高了测量的准确性，也便于信号的传输。
附图说明
[0024]图1为本申请实施例的一种柔性探针组件的正视图。
[0025]图中：1
‑
安装基板；2
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柔性连接件；3
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探针；4
‑
导线；5
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卡板；6
‑
电信接头；7
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安装卡爪；8
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导引针；9
‑
夹持卡爪。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0027]现有的真空探针台上安装有探针组件，探针组件通过探针可与半导体测试样品进行接触而获得相应的电信参数。探针组件的构成大致为安装基板、电信接头和探头臂以及探针，探针通过探头臂安装在安装基板上，并通过电信接头将电信参数引出。
[0028]通常的标准的探针在4.2k到室温的变温过程中会因为探头臂的热胀冷缩移动大约400微米，这样就限制了自动连续变温实验，因为探针在每个重要的温度转变点都要抬起在落下，并且每次抬针落针带来的接触电阻的变化，导致测量数据不够准确和可靠。
[0029]为了解决上述的技术问题，本申请的技术方案通过将原有的探头臂用具有弹性结构的柔性连接件替代，并在其上安装探针，这样便可通过柔性连接件对连续变温实现中由
于热胀冷缩带来的应力进行抵消，从而可稳定探针的位置，进而实现自动补偿热铆钉探头的探头臂的温度膨胀，显著提高了测量的稳定性，可利于实现宽温度范围内的测量自动化，并且柔性探针允许连续的变温实验，减少了反复落针带来的连接问题，避免了由于每次抬针落针带来的接触电阻的变化。
[0030]下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步阐述。
[0031]请参照图1所示，本申请的实施例提供了一种柔性探针组件，包括具有导热性的安装基板1和连接在安装基板1的探头臂，探头臂用于安装探针3，探针3通过探头臂连接在安装基板1上，在本实施例中，是以柔性连接件2作为探头臂安装探针3，通过柔性连接件2以抵消热胀冷缩带来的应力，从而使探针3位置得以保持。
[0032]本申请实施例的一种柔性探针组件，还包括探针3、柔性连接件2和电信接头6；所述探针3连接在柔性连接件2上，并通过柔性连接件2与所述安装基板1连接；所述柔性连接件2通过导线4与所述电信接头6连接，电信接头6用于将电信参数引出所述柔性探针组件外；其中，柔性连接件2作为探头臂，在其上安装探针3并使探针3通过柔性连接件2与安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性探针组件，包括具有导热性的安装基板(1)，其特征在于：还包括探针(3)、柔性连接件(2)和电信接头(6)；所述探针(3)连接在柔性连接件(2)上，并通过柔性连接件(2)与所述安装基板(1)连接；所述柔性连接件(2)通过导线(4)与所述电信接头(6)连接，电信接头(6)用于将电信参数引出所述柔性探针组件外；所述柔性连接件(2)具有弹性结构，以通过弹性结构抵消柔性连接件(2)由于热胀冷缩带来的应力。2.根据权利要求1所述的一种柔性探针组件，其特征在于：所述柔性连接件(2)具有下安装部和上连接部，在下安装部安装所述探针(3)，并通过上连接部使柔性连接件(2)安装在所述安装基板(1)上；所述柔性连接件(2)的上连接部通过导线(4)与所述电信接头(6)连接；所述弹性结构包括连接在所述下安装部与所述上连接部之间两个弹性部，两个弹性部相互平行且为金属弹片。3.根据权利要求2所述的一种柔性探针组件，其特征在于：所述弹性部呈纵向延伸的倾斜结构或呈纵向延伸的弯曲结构。4.根据权利要求3所述的一种柔性探针组件，其特征在于：所述柔性连接件(2)设有两个且相互对称的连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王乾龙，俞方能，雷旺，罗鑫依，陆冰彬，
申请(专利权)人：英铂科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：