【技术实现步骤摘要】
一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺
[0001]本专利技术涉及光掩膜、金属掩膜和平板显示
,具体为一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺。
技术介绍
[0002]衬板是一种起到对折叠手机屏幕衬托作用的柔性可弯折板材。衬板结合铰链使置于其顶部的折叠屏幕在展开后,让折叠屏幕的折痕处显得更加平整。
[0003]目前折叠手机衬板已有技术的加工流程如下:基板清洗
‑
涂覆感光胶
‑
菲林曝光
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显影蚀刻
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清洗
‑
模切检验出货。
[0004]折叠手机衬板已有技术的加工缺点如下:1.菲林曝光目前只能达到直线50um、圆弧100um的制作精度,难以满足折叠手机衬板越来越精细的加工精度;2.酸性蚀刻的方式对折叠手机衬板截面有较多损伤,会一定程度影响可折叠次数从而缩短折叠手机使用寿命;3.酸性蚀刻产生废液较多,污染严重。
技术实现思路
[0005]有鉴于此,本专利技术的目的在于提出一种精度高、使用寿命长、无蚀刻废液以及较少污染的钛合金折叠手机衬板的制作工艺。
[0006]基于上述目的,本专利技术提供了一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺,包括以下步骤:步骤一:采用光学玻璃或石英玻璃精密加工后为阴极基板,并对阴极表面磁控溅射镀三层膜;步骤二:通过光掩膜光刻机光刻阴极在基板阴极表面形成保护图层;步骤三:配制钛镍记忆合金电铸溶液;步骤四:将阴极基板与精密电铸的电铸溶液反应后再剥离产品形成折叠手机所需的手机衬板;步骤五:最后 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺,包括以下步骤:步骤一:采用光学玻璃或石英玻璃精密加工后制成阴极基板,并对阴极表面磁控溅射镀三层膜;步骤二:通过光掩膜光刻机光刻阴极在阴极表面形成保护图层;步骤三:配制电铸溶液;步骤四:将阴极在电铸溶液中精密电铸反应后再剥离产品形成折叠手机所需的手机衬板;步骤五:最后通过模切机和整平机对折叠手机衬板模切、整平,自动光学检测(AOI)后出货。2.根据权利要求1所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺,其特征在于,所述钛合金折叠手机衬板的厚度为50um~100um,采用真空磁控溅射技术对阴极表面镀膜,并在真空环境下进行,且真空环境下的真空度为5x10
‑3‑
5x10
‑4Pa。3.根据权利要求1所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺,其特征在于,所述步骤二中具体流程如下:阴极基板经清洗、匀光刻胶、光掩膜光刻。4.根据权利要求3所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡新源,曾强,
申请(专利权)人:深圳市久维光电有限公司,
类型:发明
国别省市:
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