用于制备约瑟夫森结的样品台和制备约瑟夫森结的方法技术

本申请提供一种用于制备约瑟夫森结的样品台和制备约瑟夫森结的方法，用于制备约瑟夫森结的样品台包括：样品固定座，垂直设置于制备所述约瑟夫森结的蒸发源的顶部，用于制备所述约瑟夫森结的基片固定于所述样品固定座；倾角调节组件，耦接于所述样品固定座的上方，所述倾角调节组件用于调节所述样品固定座的倾角；自转调节组件，耦接于所述样品固定座的上方，所述自转调节组件用于带动所述样品固定座自转。样品台垂直设置于蒸发源的顶部，在使用过程中不会对蒸发设备水平方向上的布局造成影响，有效地解决了安装的问题。本申请的样品台能够满足约瑟夫森结制备过程中两个蒸发方向上的性能需求。向上的性能需求。向上的性能需求。

【技术实现步骤摘要】
用于制备约瑟夫森结的样品台和制备约瑟夫森结的方法


[0001]本申请涉及超导量子芯片制备设备领域，尤其涉及到一种用于制备约瑟夫森结的样品台和制备约瑟夫森结的方法。

技术介绍

[0002]约瑟夫森结是超导量子器件的核心，约瑟夫森结的制备品质直接关系超导量子器件样品性能的好坏。由于约瑟夫森结是由两块超导体形成弱耦合结构，在其制备过程中，需要对基片进行两次不同角度的蒸发工艺。在两次蒸发工艺之间，还需要对基片进行氧化处理。通过两次不同角度的蒸发可以形成超导金属膜(如铝膜等)的交叠，而中间的氧化则会使交叠的界面处形成氧化绝缘层(如Al2O3等)。
[0003]而制备约瑟夫森结的蒸发设备为多个腔室集成设备，在实际布置过程中，容易出现多个腔室样品台安装空间不足、安装不便、易发生干涉等问题。因此，需要一种结构简单、易于操作、占用布局空间小的制备样品台。
[0004]在所述
技术介绍
部分，公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术信息。

技术实现思路

[0005]本申请的至少一实施例提供一种用于制备约瑟夫森结的样品台和制备约瑟夫森结的方法。
[0006]第一方面，本申请的至少一实施例提供了一种用于制备约瑟夫森结的样品台，其包括样品固定座、倾角调节组件和自转调节组件。所述样品固定座垂直设置于制备所述约瑟夫森结蒸发源的顶部，用于所述约瑟夫森结的基片固定于所述样品固定座；所述倾角调节组件耦接于所述样品固定座的上方，所述倾角调节组件用于调节所述样品固定座的倾角；所述自转调节组件耦接于所述样品固定座的上方，所述自转调节组件用于带动所述样品固定座自转。
[0007]第二方面，本申请的至少一实施例提供了一种制备约瑟夫森结的方法，其包括如下步骤：调节所述样品固定座的倾角和自转，使得用于制备所述约瑟夫森结的基片与所述蒸发源垂直方向有合适的角度；控制所述蒸发源对所述基片进行第一次蒸发。
[0008]例如，在本申请第一方面或者第二方面的一些实施例中，所述用于制备约瑟夫森结的样品台还包括：驱动源，所述倾角调节组件和所述自转调节组件分别与所述驱动源耦接。
[0009]例如，在本申请第一方面或者第二方面的一些实施例中，所述倾角调节组件包括：倾角调节转轴，沿水平方向平行设置于所述样品固定座的顶部，所述倾角调节转轴的转动带动所述样品固定座摆动以调节倾角；倾角调节连杆，与所述倾角调节转轴耦接，所述倾角调节连杆的摆动带动所述倾角调节转轴转动；第一齿轮传动系，耦接于所述驱动源和所述倾角调节连杆之间，用于将所述驱动源的驱动力传递至所述倾角调节连杆。
[0010]例如，在本申请第一方面或者第二方面的一些实施例中，所述第一齿轮传动系包括：第一驱动转轴，与所述驱动源耦接；第一驱动齿轮，套设于所述第一驱动转轴，所述第一驱动齿轮在所述第一驱动转轴的带动下旋转；第一传动齿轮组，与所述第一驱动齿轮啮合，所述倾角调节连杆与所述第一传动齿轮组耦接。
[0011]例如，在本申请第一方面或者第二方面的一些实施例中，所述自转调节组件包括：自转调节转轴，垂直设置于所述样品固定座的顶部，所述自转调节转轴的转动带动所述样品固定座自转；第二齿轮传动系，耦接于所述驱动源和所述自转调节转轴之间，用于将所述驱动源的驱动力传递至所述自转调节转轴。
[0012]例如，在本申请第一方面或者第二方面的一些实施例中，所述第二齿轮传动系包括：第二驱动转轴，与所述驱动源耦接；第二驱动齿轮，套设于所述第二驱动转轴，所述第二驱动齿轮在所述第二驱动转轴的带动下旋转；第二传动齿轮组，与所述第二驱动齿轮啮合，所述自转调节转轴与所述第二传动齿轮组耦接。
[0013]例如，在本申请第一方面或者第二方面的一些实施例中，所述用于制备约瑟夫森结的样品台还包括：安装法兰，所述倾角调节组件和所述自转调节组件分别安装于所述安装法兰。
[0014]例如，在本申请第二方面的一些实施例中，所述约瑟夫森结制备方法还包括如下步骤：对进行第一次蒸发后的所述基片进行氧化处理；再次调节所述样品固定座的倾角和自转，使得氧化处理后的所述基片与所述蒸发源垂直方向有合适的角度；控制所述蒸发源对所述基片进行第二次蒸发。
[0015]例如，在本申请第二方面的一些实施例中，所述第二次蒸发方向和所述第一次蒸发方向不同。
[0016]本申请的用于制备约瑟夫森结的样品台垂直设置于蒸发源的顶部，在使用过程中不会对蒸发设备水平方向上的布局造成影响，有效地解决了蒸发设备中多个腔室样品台之间安装空间不足、安装不便、易发生干涉等问题。此外，本申请的用于制备约瑟夫森结的样品台通过巧妙的设置状态，能够满足约瑟夫森结制备过程中两个蒸发方向上的性能需求。
[0017]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1示出根据本申请示例实施例的用于制备约瑟夫森结的样品台的结构示意图。
[0020]图2示出根据本申请一些实施例的用于制备约瑟夫森结的样品台的结构示意图。
[0021]图3示出根据本申请示例实施例的利用制备约瑟夫森结的样品台制备约瑟夫森结的方法流程图。
[0022]图4示出根据本申请示例实施例的约瑟夫森结的制备过程示意图。
[0023]图5示出根据本申请示例实施例的第一次蒸发和第二次蒸发的过程示意图。
具体实施方式
[0024]现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本申请将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0025]所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本申请的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本申请的技术方案而没有这些特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方式、组元、材料、装置或等。在这些情况下，将不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作。
[0026]附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解，而有的操作/步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。
[0027]本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制备约瑟夫森结的样品台，其特征在于，包括：样品固定座，垂直设置于制备所述约瑟夫森结的蒸发源的顶部，用于制备所述约瑟夫森结的基片固定于所述样品固定座；倾角调节组件，耦接于所述样品固定座的上方，所述倾角调节组件用于调节所述样品固定座的倾角；自转调节组件，耦接于所述样品固定座的上方，所述自转调节组件用于带动所述样品固定座自转。2.根据权利要求1所述的用于制备约瑟夫森结的样品台，其特征在于，还包括：驱动源，所述倾角调节组件和所述自转调节组件分别与所述驱动源耦接。3.根据权利要求2所述的用于制备约瑟夫森结的样品台，其特征在于，所述倾角调节组件包括：倾角调节转轴，沿水平方向平行设置于所述样品固定座的顶部，所述倾角调节转轴的转动带动所述样品固定座摆动以调节倾角；倾角调节连杆，与所述倾角调节转轴耦接，所述倾角调节连杆的摆动带动所述倾角调节转轴转动；第一齿轮传动系，耦接于所述驱动源和所述倾角调节连杆之间，用于将所述驱动源的驱动力传递至所述倾角调节连杆。4.根据权利要求3所述的用于制备约瑟夫森结的样品台，其特征在于，所述第一齿轮传动系包括：第一驱动转轴，与所述驱动源耦接；第一驱动齿轮，套设于所述第一驱动转轴，所述第一驱动齿轮在所述第一驱动转轴的带动下旋转；第一传动齿轮组，与所述第一驱动齿轮啮合，所述倾角调节连杆与所述第一传动齿轮组耦接。5.根据权利要求2所述的用于制备约瑟夫森结的样品台，其特征在于，所述自转调节组件包括：自转调节转轴，垂直设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭晓龙，
申请(专利权)人：北京量子信息科学研究院，
类型：发明
国别省市：