一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，涉及掩模板制造技术领域，用于使G10代掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，包括基板和安装在基板表面的限位件，基板靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组和第二限位孔组，基板靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组；解决了G10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的问题，可以模拟成自动测量设备适配达尺寸掩模板，并将小尺寸掩模板固定在该限位装置上，以兼容小尺寸的掩模板。以兼容小尺寸的掩模板。以兼容小尺寸的掩模板。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置


[0001]本技术涉及掩模板制造
，尤其涉及一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置。

技术介绍

[0002]目前掩模板制造行业对不同尺寸掩模板范围越来越广，行业内制程机制造厂商生产了一种G10代掩膜版生产线专用的大尺寸自动测量设备，该设备只能够测量尺寸为800*920mm 至1620*1780mm掩膜版产品，市场逐渐加大了对小尺寸的G10代掩膜版的需求，例如尺寸为800*700mm甚至小的掩模板，G10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的测量工序，额外制造小型号的测量设备成本较高，且生产过程复杂，因此急需可以使大尺寸自动测量设备兼容小尺寸掩模板的技术。

技术实现思路

[0003]本技术解决了G10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的问题，提出了一种专用于小尺寸掩模板的限位装置，可以模拟成自动测量设备适配达尺寸掩模板，并将小尺寸掩模板固定在该限位装置上，以兼容小尺寸掩模板。
[0004]本技术通过下述技术方案实现：
[0005]一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，用于使G10代掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，包括基板和安装在基板表面的限位件，所述基板靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组和第二限位孔组，所述基板靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组；所述第一限位孔组、第二限位孔组和第三限位孔组都包括间隔布置的两个限位孔，所述限位件包括两个尺寸与各限位孔组适配的安装头，多个所述限位件与第一尺寸掩模板边缘抵接，目前常用的G10代掩膜版生产线专用的大尺寸自动测量设备，通过光学传感器对模板的外形进行测量，一般第一尺寸掩模板尺寸为800*700mm，第二尺寸掩模板尺寸为800*520mm，第三尺寸掩模板尺寸为610*520mm。
[0006]该方案中，所述基板的尺寸设置为适配测量设备的最小尺寸，该基板可以模拟成适配的掩模板，保证基板安装的稳定性，根据产品要求，该基板所使用材料的热膨胀率及整体平台度要求较高，所以材料选取Viosil
‑
SQ合成石英玻璃；
[0007]所述第一限位孔组为两个半径5mm的孔洞，设置在距离基板一条长边45mm的位置，所述第一限位孔组设有两组，所述第二限位孔组的孔洞尺寸与第一限位孔组一致，设置在距离基板另一条长边45mm的位置；
[0008]所述第三限位孔组共有两组，分别设置在距离基板两条短边55mm的位置，此时，所述第一限位孔组、第二限位孔组和第三限位孔组之间形成了尺寸与第一尺寸掩模板适配的限位区间，所述限位件安装在限位件上之后，可以将小尺寸掩模板固定在基板上，使得测量设备可以适应小尺寸掩模板测量工序，安装头是半径为5mm的圆柱形凸起，可以插入到不同的限位孔组内；
[0009]将需要测量的小尺寸掩模板放置在所述基板上后，将限位件插入到各个限位孔组内后，即可将掩模板限制并固定住，以便于完成测量，基板可以模拟为尺寸兼容的掩模板，以适应测量设备，最大程度地减小误差，使得G10代掩膜版的大尺寸自动测量设备可以对小尺寸掩模板进行测量。
[0010]进一步的，所述基板上还设有第四限位孔组，所述第四限位孔组和所述第一限位孔组的排布方向一致，所述第四限位孔组上也安装有限位件，此时所述第四限位孔组和第三限位孔组之间组成了更小的限位区域，使得该限位装置还可以适用于第二尺寸掩模板测量工序。
[0011]进一步的，所述基板上还设有两组第五限位孔组，所述第五限位孔组平行与第三限位孔组，此时所述第五限位孔组、第一限位孔组和第四限位孔组之间组成了更小的区域，使得该限位装置还可以适用于第三尺寸掩模板测量工序。
[0012]优选的，所述基板的上表面为光滑反射面，所述基板的下表面的侧面为粗糙雾面，以适配G10自动测量设备上的光学传感器。
[0013]优选的，所述基板的光滑反射面上还铺设有透明透气层，所述透明透气层表面的孔洞设置与所述基板的孔洞设置一致，所述透明透气层的材料为高分子透气膜，厚度为0.6mm，所述透气层可以保护基板表面。
[0014]优选的，所述基板的边缘还设有多个腰型孔，腰型孔使得操作员可以人工抓取和移动基板，宽度尺寸大于20mm，便于抓握。
[0015]优选的，所述限位件还包括连接在两个安装头之间的定位条，所述两个安装头圆心连线的方向平行于所述定位条的方向，所述定位条可以贴靠在相应的小尺寸掩模板边缘。
[0016]优选的，所述定位条朝向基板中心的一侧设有夹持凸起，所述夹持凸起可以夹持并固定住小尺寸掩模板的边缘，防止掩模板移动或掉落。
[0017]优选的，所述限位件为具有防静电效果的铁氟龙材质，防止电流在限位件上传播导致限位件的温度过高或者产生变形。
[0018]优选的，所述基板的四角都设置为圆角，以防止操作员移动所述基板的过程中产生磨损。
[0019]本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：专用于小尺寸掩模板的限位装置，带有尺寸适配掩模板的限位件和限位孔组，可以模拟成自动测量设备适配达尺寸掩模板，并将小尺寸掩模板固定在该限位装置上，以兼容小尺寸掩模板。
附图说明
[0020]此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：
[0021]图1为本技术的整体结构示意图；
[0022]图2为本技术中基板的俯视图；
[0023]图3为本技术中基板以及透明透气层示意图；
[0024]图4为本技术中限位件的详细结构图；
[0025]图5为本技术中第一尺寸掩模板的安装示意图；
[0026]图6为本技术中第二尺寸掩模板的安装示意图；
[0027]图7为本技术中第三尺寸掩模板的安装示意图；
[0028]附图中标记及对应的零部件名称：
[0029]1‑
基板；11
‑
第一限位孔组；12
‑
第二限位孔组；13
‑
第三限位孔组；14
‑
第四限位孔组；15
‑ꢀ
第五限位孔组；16
‑
光滑反射面；17
‑
粗糙雾面；2
‑
限位件；21
‑
安装头；22
‑
定位条；23
‑
夹持凸起；3
‑
腰型孔；4
‑
圆角。
具体实施方式
[0030]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。
[0031]在以下描述中，为了提供对本技术的透彻理解阐述了大量特定细节。然而，对于本领域普通技术人员显而易见的是：不必采用这些特定细节来实行本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，用于使掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，其特征在于，包括基板(1)和安装在基板(1)表面的限位件(2)，所述基板(1)靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组(11)和第二限位孔组(12)；所述第一限位孔组(11)与第二限位孔组(12)之间的距离用于与第一尺寸掩模板适配，所述基板(1)靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组(13)，所述两个第三限位孔组(13)之间的距离用于与第一尺寸掩模板适配；所述第一限位孔组(11)、第二限位孔组(12)和第三限位孔组(13)都包括间隔布置的两个限位孔，所述限位件(2)包括两个尺寸与各限位孔组适配的安装头(21)，多个所述限位件(2)与第一尺寸掩模板边缘抵接。2.根据权利要求1所述的一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，其特征在于，所述基板(1)上还设有第四限位孔组(14)，所述第四限位孔组(14)和所述第一限位孔组(11)的排布方向一致，所述第四限位孔组(14)与第一限位孔组(11)之间的距离与第二尺寸掩模板适配，所述第二尺寸掩模板的尺寸小于第一尺寸掩模板，所述第四限位孔组(14)上也安装有限位件(2)。3.根据权利要求2所述的一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，其特征在于，所述基板(1)上还设有两组第五限位孔组(15)，所述第五限位孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙多卫，李刚，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：