检查夹具3包括：棒状的接触件Pr；第一支撑部311，支撑接触件Pr的一端部侧；第二支撑部312，支撑接触件Pr的另一端部侧；以及分隔保持构件7，使第一支撑部311与第二支撑部312彼此分隔地予以保持，第一支撑部311包括形成有供接触件Pr插通的贯穿孔B2H的支撑板B2，在支撑板B2的与第二支撑部312相对的相向面，配设有弯曲强度比支撑板B2强的加强板5。弯曲强度比支撑板B2强的加强板5。弯曲强度比支撑板B2强的加强板5。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查夹具以及检查装置
[0001]本专利技术涉及一种包括接触件的检查夹具以及使用所述检查夹具的检查装置。
技术介绍
[0002]以往，已知有一种探针卡(probe card)(例如参照专利文献1)，其包括：支撑构件，具有分别定位支撑线式探针(wire probe)的上部以及下部的上部支撑孔以及下部支撑孔；以及具有柔性的导膜(guide film)，使线式探针的中间部朝一方向挠曲而支撑。所述支撑构件的下部支撑孔被形成于层叠的第一底板与第二底板。
[0003]专利文献1中记载了：若导膜过于柔软，则有时会因线式探针的弹力导致导膜伸展而上下挠曲。因此，专利文献1所记载的技术中，对于导膜的表面，施以有抑制伴随导膜的伸缩引起的挠曲的加强膜。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本专利特开2012
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103125号公报
技术实现思路
[0007]此外，专利文献1中，使导膜上下挠曲的力也会与导膜同样地施加至具有供线式探针插通的下部支撑孔的第一底板以及第二底板。因此，有可能对第一底板以及第二底板施加应力。
[0008]本专利技术的目的在于提供一种容易减轻对支撑接触件的支撑部施加的应力的检查夹具以及检查装置。
[0009]本专利技术的一例的检查夹具包括：棒状的接触件；第一支撑部，支撑所述接触件的一端部侧；第二支撑部，支撑所述接触件的另一端部侧；以及分隔保持构件，使所述第一支撑部与所述第二支撑部彼此分隔地予以保持，所述第一支撑部包括形成有供所述接触件插通的贯穿孔的支撑板，在所述支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有弯曲强度比所述支撑板强的加强板。
[0010]本专利技术的一例的检查装置包括：所述的检查夹具；以及检查处理部，基于通过使所述接触件接触至设于检查对象物的检查点而获得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。
附图说明
[0011][图1]是概略地表示使用本专利技术的一实施方式的检查夹具3的检查装置1的结构的一例的概念图。
[0012][图2]是从接触件Pr的前端侧观察图1所示的检查夹具3的平面图。
[0013][图3]是图2所示的检查夹具3的III
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III线端面图。
[0014][图4]是图2所示的检查夹具3的IV
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IV线端面图。
[0015][图5]是图3、图4所示的加强板5的、从Z方向观察的平面图。
[0016][图6]是表示图5所示的加强板5的变形例的平面图。
[0017][图7]是表示使检查夹具3抵接于基板100的状态的一例的说明图。
[0018][图8]是概念性地表示接触件Pr被按入时的板PL的行为的说明图。
[0019][图9]是形成于板PL的贯穿孔PLH与接触件Pr的放大说明图。
[0020][图10]是概念性地表示接触件Pr的按入载荷被解除时的板PL的行为的说明图。
[0021][图11]是形成于板PL的贯穿孔PLH与接触件Pr的放大说明图。
[0022][图12]是将第一支撑板B2的贯穿孔B2H附近放大表示的端面图。
[0023][图13]是表示图3所示的检查夹具3的变形例的端面图。
[0024][图14]是将加强板B2a的贯穿孔B2H附近放大表示的端面图。
[0025][图15]是表示形成于板PL的滑层33的一例的剖面图。
具体实施方式
[0026]以下，基于附图来说明本专利技术的实施方式。另外，各图中标注了相同符号的结构表示相同的结构，省略其说明。为了表示各图的方向，适当记载了XYZ正交坐标轴。图1所示的检查装置1是用于对作为检查对象物的一例的基板100进行检查的装置。
[0027]基板100例如也可为印刷配线基板、柔性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、半导体基板、以及半导体封装用的封装基板或载膜等各种基板。另外，检查对象物并不限于基板，例如也可为半导体元件(集成电路(Integrated Circuit，IC))等的电子零件，只要是其他进行电气检查的对象即可。
[0028]图1所示的检查装置1包括检查部4U、4D、基板固定装置6以及检查处理部8。基板固定装置6构成为，将作为检查对象的基板100固定于规定的位置。检查部4U、4D包括检查夹具3U、3D。检查部4U、4D可通过省略图示的驱动机构来使检查夹具3U、3D沿彼此正交的X、Y、Z这三轴方向移动，进而，可使检查夹具3U、3D以Z轴为中心转动。
[0029]检查部4U位于被固定在基板固定装置6的基板100的上方。检查部4D位于被固定在基板固定装置6的基板100的下方。检查部4U、4D构成为，可拆装用于对形成于基板100的电路图案进行检查的检查夹具3U、3D。以下，将检查部4U、4D总称为检查部4。
[0030]检查夹具3U、3D分别包括多个接触件Pr、朝向基板100保持多个接触件Pr的前端部的支撑构件31以及底板321。在底板321，设有与各接触件Pr的后端部接触而导通的电极。检查部4U、4D包括省略图示的连接电路，所述连接电路经由底板321的各电极而将各接触件Pr的后端部电连接于检查处理部8，或者切换所述连接。
[0031]接触件Pr整体上具有大致棒状的形状。在支撑构件31，形成有支撑接触件Pr的多个贯穿孔。各贯穿孔是以与在作为检查对象的基板100的配线图案上设定的检查点的位置对应的方式而配置。由此，使得接触件Pr的前端部接触至基板100的检查点。检查点例如被设为配线图案、焊盘、焊料凸块、连接端子、穿通孔(through hole)、通孔(via)等。
[0032]检查夹具3U、3D除了向检查部4U、4D的安装方向上下相反以外，是彼此同样地构成。以下，将检查夹具3U、3D总称为检查夹具3。检查夹具3可根据作为检查对象的基板100来更换。
[0033]检查处理部8例如包括电源电路、电压计、电流计以及微计算机等。检查处理部8控
制省略图示的驱动机构来使检查部4U、4D移动、定位，从而使各接触件Pr的前端接触至基板100的各检查点。由此，使各检查点与检查处理部8电连接。在此状态下，检查处理部8经由检查夹具3的各接触件Pr来对基板100的各检查点供给检查用的电流或电压，并基于从各接触件Pr获得的电压信号或电流信号来执行例如电路图案的断线或短路等的基板100的检查。或者，检查处理部8也可基于通过将交流的电流或电压供给至各检查点而从各接触件Pr获得的电压信号或电流信号，来测定检查对象的阻抗。
[0034]参照图2、图3、图4，支撑构件31包括：第一支撑部311，支撑接触件Pr的后端部侧；第二支撑部312，支撑接触件Pr的前端部侧；分隔保持构件7，使第一支撑部311与第二支撑部312彼此分隔地予以保持；间隔件S；以及加强板5。
[0035]第一支撑部311是由第一支撑板B2与第二支撑板C1、D、E1、E2沿Z本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查夹具，包括：棒状的接触件；第一支撑部，支撑所述接触件的一端部侧；第二支撑部，支撑所述接触件的另一端部侧；以及分隔保持构件，使所述第一支撑部与所述第二支撑部彼此分隔地予以保持，所述第一支撑部包括形成有供所述接触件插通的贯穿孔的支撑板，在所述支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有弯曲强度比所述支撑板强的加强板。2.根据权利要求1所述的检查夹具，其中所述第一支撑部包含经层叠的多个所述支撑板，所述多个支撑板包含第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板是最靠近所述第二支撑部的支撑板，所述第二支撑板是所述第一支撑板以外的支撑板，在所述第一支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有所述加强板。3.根据权利要求2所述的检查夹具，其中所述第一支撑板的硬度比所述第二支撑板软。4.根据权利要求3所述的检查夹具，其中所述第二支撑板的弯曲强度比所述第一支撑板强。5.根据权利要求2至4中任一项所述的检查夹具，其中关于以供同一接触件插通的方式相对应的所述第一支撑板的所述贯穿孔与所述第二支撑板的所述贯穿孔，所述第一支撑板的所述贯穿孔的位置与所述第二支撑板的所述贯穿孔的位置相对于垂线的方向而偏离，以使所述接触件相对于所述第一支撑板以及所述第二支撑板的所述垂线而倾斜。6.根据权利要求5所述的检查夹具，其中在所述第一支撑板以及所述第二支撑板形成有多个所述贯穿孔，所述多个贯穿孔对应于规定的第一方向而配置有多列，且对应于与所述第一方向交叉的第二方向而配置有多列，在所述贯穿孔等间隔地排列的区域内，与所述第一方向对应的列数少于与所述第二方向对应的列数，所述偏离的方向沿着所述第一方向。7.根据权利要求2至6中任一项所述的检查夹具，其中所述第一支撑板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部经倒角。8.根据权利要求2至7中任一项所述的检查夹具，其中在所述第一支撑板以及所述第二支撑板，形成有多个所述贯穿孔，在所述加强板形成有以下述方式开设的开口部，即，在开口内，包含含有所述第一支撑板的所述多个贯穿孔的区域。9.根据权利要求2至8中任一项所述的检查夹具，其中在所述第一支撑板的所述贯穿孔的内表面，形成用于减轻摩擦的滑层，所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述第一支撑板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。10.根据权利要求7所述的检查夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：津村耕平，山崎秀和，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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