一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备制造技术

本发明专利技术涉及真空镀膜附属装置的技术领域，特别是涉及一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备，包括镀膜箱、环形板和圆板，镀膜箱内部设置有镀膜腔室，镀膜箱顶端开口，环形板转动安装在镀膜箱内，环形板上呈圆周状均匀滑动设置有四个夹持块，四个夹持块的侧壁上均倾斜设置有导向槽，圆板纵向滑动安装在镀膜腔室内，圆板上呈圆周状均匀设置有四个凹槽，四个凹槽内均设置有导向柱，导向柱滑动安装在导向槽内。本发明专利技术中在圆形光学镜片进入至镀膜腔室的过程中，自动对圆形光学镜片进行夹持，省时省力，工作效率高。工作效率高。工作效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备


[0001]本专利技术涉及真空镀膜附属装置的
，特别是涉及一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜是在真空条件下，对光学零件镀膜的工艺过程，常用于对圆形光学镜片的表面进行镀膜，真空镀膜主要分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的圆形光学镜片被称为基片，镀的材料被称为靶材，目前，最常使用的蒸发镀膜的方法，即将基片与靶材一起置于真空环境中，加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点一岛状结构
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迷走结构
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层状生长）形成薄膜，现有的对固定尺寸的圆形光学镜片表面进行真空镀膜的方式是，首先将基片固定在真空腔内，将靶材放置于真空腔内的坩埚内，对坩埚进行加热，将坩埚内的靶材蒸发出原子团，原子团附在基片的表面形成薄膜，目前，在对圆形光学镜片进行镀膜时，为了使镀膜更加均匀，常采用对圆形光学镜片进行旋转的方式，而为了使圆形光学镜片旋转时更加稳定，常采用螺栓拧紧的方式对圆形光学镜片进行夹持，在对圆形光学镜片进行夹持时，操作费力，操作时间较长，工作效率较低。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的在于提供一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备，从而有效解决
技术介绍
中所指出的问题。
[0004]为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备，包括镀膜箱、环形板和圆板，镀膜箱内部设置有镀膜腔室，镀膜箱顶端开口，环形板转动安装在镀膜箱内，环形板上呈圆周状均匀滑动设置有四个夹持块，四个夹持块的侧壁上均倾斜设置有导向槽，圆板纵向滑动安装在镀膜腔室内，圆板上呈圆周状均匀设置有四个凹槽，四个凹槽内均设置有导向柱，导向柱滑动安装在导向槽内。
[0005]优选地，四个夹持块的顶端均固定设置有工字形轨道，环形板的内圈壁上均匀设置有四个滑动槽，工字形轨道滑动安装在对应的滑动槽内。
[0006]优选地，四个夹持块的底端均固定设置有增程滑套，增程滑套的入口与导向槽的最低端开口对齐，镀膜箱的内底壁上转动设置有环形座，四个增程滑套底端均与环形座滑动连接，圆板的中心位置处设置有通孔，圆板底端固定设置有套筒，套筒与通孔对齐，套筒的圆周外壁上固定套设有齿圈，镀膜箱的内底壁上固定设置有电机，电机输出端设置有输出轴，输出轴背向电机的一端固定设置有齿轮，环形座上固定设置有若干气缸，气缸输出端设置有伸缩轴，伸缩轴顶端与圆板底端固定连接。
[0007]优选地，还包括靶材和用于盛放靶材的坩埚，坩埚底端固定设置有固定架，固定架背向坩埚的一端与镀膜箱内底壁固定连接，镀膜箱内底壁上固定设置有加热器，加热器位于坩埚下方，坩埚的外径小于套筒的内径。
[0008]优选地，镀膜箱的顶端开口处设置有盖板，盖板的中心位置处连通设置有均压阀，且盖板上设置观察孔，并在观察孔内设置有透明板。
[0009]优选地，四个夹持块的向心一端均为弧形结构，且四个夹持块的向心一端均固定设置有橡胶阻尼垫。
[0010]优选地，镀膜箱的外壁上设置有两个把手，两个把手位置对称，且镀膜箱底端设置有支腿。
[0011]优选地，环形板底端呈圆周状均匀设置有若干导流板，导流板为弧形结构。
[0012]采用上述技术方案后，本专利技术的有益效果是：圆板带动圆形光学镜片垂直向下移动的过程中，导向柱同样是垂直向下移动，导向柱通过导向槽对夹持块施加作用力，使得夹持块做向心运动，在圆板向下移动的过程中，夹持块始终在对应的凹槽内滑动，在圆形光学镜片向下移动到夹持块的下方之前，同步做向心运动的四个夹持块已经完成对圆形光学镜片的夹持固定，在圆形光学镜片进入至镀膜腔室的过程中，自动对圆形光学镜片进行夹持，省时省力，工作效率高。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本专利技术实施例中的整体右前顶角向下斜视结构示意立体图；图2是本专利技术实施例中的镀膜箱内部结构的右前顶角向下斜视示意立体图；图3是本专利技术实施例中的环形板和圆板处的部分结构右前顶角向下斜视结构示意立体图；图4是本专利技术实施例中的圆板和套筒向下移动到最低点之后的部分结构从前侧剖视情况下的右前顶角向下斜视结构示意立体图；图5是本专利技术实施例中的四个增程滑套在环形座上的同步移动方向指示俯视图；图6是本专利技术实施例中的导向柱、夹持块和增程滑套的结构示意平面图；图7是本专利技术实施例中的环形板和导流板的结构示意仰视平面图；图8是本专利技术实施例中的夹持块、工字形轨道和橡胶阻尼垫的结构示意立体图；附图标记：1、镀膜箱；2、环形板；3、圆板；4、夹持块；5、导向槽；6、凹槽；7、导向柱；8、工字形轨道；9、滑动槽；10、增程滑套；11、环形座；12、通孔；13、套筒；14、齿圈；15、电机；16、输出轴；17、齿轮；18、气缸；19、伸缩轴；20、靶材；21、坩埚；22、固定架；23、加热器；24、盖板；25、均压阀；26、透明板；27、橡胶阻尼垫；28、把手；29、支腿；30、导流板。
具体实施方式
[0015]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0016]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接
到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0017]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0018]本专利技术实施例中为了解决现有技术中对圆形光学镜片进行夹持时，操作费力，耗时较长，工作效率低的问题，实现了在圆形光学镜片进入至镀膜腔室的过程中，自动对圆形光学镜片进行夹持，省时省力，工作效率高，下面对本专利技术实施例进行详细介绍：如图1
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图8所示的一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备,包括镀膜箱1、环形板2和圆板3，镀膜箱1内部设置有镀膜腔室，镀膜箱1顶端开口，环形板2转动安装在镀膜箱1内，环形板2上呈圆周状均匀滑动设置有四个夹持块4，四个夹持块4的侧壁上均倾斜设置有导向槽5，圆板3纵向滑动安装在镀膜腔室内，圆板3上呈圆周状均匀设置有四个凹槽6，四个凹槽6内均设置有导向柱7，导向柱7滑动安装在导向槽5内；更为具体的，四个夹持本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备，其特征在于，包括镀膜箱（1）、环形板（2）和圆板（3），镀膜箱（1）内部设置有镀膜腔室，镀膜箱（1）顶端开口，环形板（2）转动安装在镀膜箱（1）内，环形板（2）上呈圆周状均匀滑动设置有四个夹持块（4），四个夹持块（4）的侧壁上均倾斜设置有导向槽（5），圆板（3）纵向滑动安装在镀膜腔室内，圆板（3）上呈圆周状均匀设置有四个凹槽（6），四个凹槽（6）内均设置有导向柱（7），导向柱（7）滑动安装在导向槽（5）内。2.根据权利要求1所述的一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备，其特征在于，四个夹持块（4）的顶端均固定设置有工字形轨道（8），环形板（2）的内圈壁上均匀设置有四个滑动槽（9），工字形轨道（8）滑动安装在对应的滑动槽（9）内。3.根据权利要求1所述的一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备，其特征在于，四个夹持块（4）的底端均固定设置有增程滑套（10），增程滑套（10）的入口与导向槽（5）的最低端开口对齐，镀膜箱（1）的内底壁上转动设置有环形座（11），四个增程滑套（10）底端均与环形座（11）滑动连接，圆板（3）的中心位置处设置有通孔（12），圆板（3）底端固定设置有套筒（13），套筒（13）与通孔（12）对齐，套筒（13）的圆周外壁上固定套设有齿圈（14），镀膜箱（1）的内底壁上固定设置有电机（15），电机（15）输出端设置有输出轴（16），输出轴（16）背向电机（15）的一端固定设置有齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：增田清志，龚裕，增田博志，
申请(专利权)人：苏州京浜光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：