吊渣装置和具有其的晶体生长设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种吊渣装置和具有其的晶体生长设备，吊渣装置包括支撑件、连接杆、第一抓取件和第一牵拉件，连接杆适于沿竖向方向在第一位置和第二位置之间上下运动，第一抓取件包括第一连接部和第一盘体部，第一连接部的上端与连接杆的下端可枢转地连接，连接杆从第一位置移动至第二位置时，第一盘体部的底壁从水平状态切换至倾斜状态，且第一盘体部适于伸入到坩埚的熔汤中；连接杆从第二位置移动至第一位置时，第一盘体部的底壁从倾斜状态切换至水平状态，且第一盘体部适于移出熔汤以将熔汤中的渣料取出。根据本实用新型专利技术的吊渣装置，即使在面临熔汤内存在较多或者体积较大的渣料时，也可以较好地将熔汤中的石英颗粒等其他渣料捞出，效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
吊渣装置和具有其的晶体生长设备


[0001]本技术涉及晶体生长设备
，尤其是涉及一种吊渣装置和具有其的晶体生长设备。

技术介绍

[0002]目前为了增加晶体生长设备制备晶体的产量，会在坩埚内进行首次加硅料后以利用二次加料管向坩埚内再次加入硅料，然而二次加料时利用的加料管的材质一般由石英材料构成，在使用过程中，由石英材料构成的二次加料管在送料过程中容易发生破裂，以二次加料管为例，二次加料管发生破损后，二次加料管产生的石英颗粒掉落在熔汤内后会漂浮在熔汤的表面，这样，当在进行晶棒的提拉时，石英颗粒等渣料容易粘附在提拉的晶棒上，从而容易影响晶棒的质量，因此，需要将漂浮在熔汤表面的石英颗粒等渣料去除。相关技术中往往是利用籽晶将石英颗粒等渣料以粘附的方式吊出，但是，当石英颗粒等渣料过多或者渣料体积较大时，无法一次粘附吊出，并且，粘附在籽晶上的渣料在吊出的过程中也容易再次掉落至熔汤内，从而影响晶体的制备效率。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种吊渣装置，所述吊渣装置渣料的去除效果好、效率高。
[0004]根据本技术第一方面实施例的吊渣装置，所述吊渣装置用于晶体生长设备，所述晶体生长设备包括：炉体和坩埚，所述炉体限定出生长腔，所述生长腔的顶部具有承载部，所述坩埚设在所述生长腔内，所述吊渣装置包括：支撑件、连接杆、第一抓取件和第一牵拉件，所述支撑件适于支撑在所述承载部上；所述连接杆穿设在所述支撑件上，且所述连接杆适于沿竖向方向在第一位置和第二位置之间上下运动，所述第一位置位于所述第二位置的上侧；所述第一抓取件包括：第一连接部和第一盘体部，所述第一连接部的上端与所述连接杆的下端可枢转地连接，所述第一连接部的下端与所述第一盘体部的上端可拆卸地连接，所述第一盘体部限定出第一容纳腔，所述第一容纳腔朝向所述坩埚中心轴线的一侧敞开，所述第一盘体部的底壁上设有贯穿的第一漏液孔；所述第一牵拉件的上端与所述支撑件的底壁可枢转地连接，所述第一牵拉件的下端与所述第一抓取件的外侧壁可枢转地连接；其中，所述连接杆从所述第一位置移动至所述第二位置时，所述第一盘体部的底壁从水平状态切换至倾斜状态，且所述第一盘体部适于伸入到所述坩埚的熔汤中；所述连接杆从所述第二位置移动至所述第一位置时，所述第一盘体部的底壁从倾斜状态切换至水平状态，且所述第一盘体部适于移出所述熔汤以将所述熔汤中的渣料取出。
[0005]根据本技术实施例的吊渣装置，通过连接杆、第一抓取件和第一牵拉杆之间的联动，即使在面临熔汤内存在大量的石英颗粒等渣料，或者面临石英颗粒等渣料的体积、重量较大时，也可以较好地将熔汤中的石英颗粒等其他渣料捞出，操作简单，不会影响晶体生长设备后续的制晶作业。并且，本申请的吊渣装置渣料的去除效果好、效率高。
[0006]本技术的吊渣装置还可以具有如下附加的技术特征：
[0007]在本技术的一些实施例中，所述第一盘体部包括：底板，多个所述第一漏液孔形成在所述底板上，且多个所述第一漏液孔在所述底板上呈多行多列排布；第一挡板，所述第一挡板与所述底板的背离所述坩埚中心轴线的一侧连接，在由下至上的方向上，所述第一挡板朝向靠近所述第一容纳腔中心轴线的方向倾斜延伸，所述第一牵拉件的下端与所述第一挡板的背离所述第一容纳腔的一侧可枢转地连接。
[0008]可选地，所述第一盘体部还包括：第二挡板和第三挡板，所述第二挡板和所述第三挡板在所述底板的宽度方向上相对设置，所述第二挡板和所述第三挡板均与所述底板连接，且所述第二挡板和所述第三挡板分布于所述第一挡板的相对的两侧，所述第二挡板和所述第三挡板均与所述第一挡板连接，其中，所述底板、所述第一挡板、所述第二挡板和所述第三挡板共同限定出所述第一容纳腔。
[0009]可选地，在由下至上的方向上，所述第二挡板和第三挡板均朝向靠近所述第一容纳腔中心轴线的方向倾斜延伸，在所述底板的背离所述坩埚中心轴线的一侧至所述底板的靠近所述坩埚中心轴线的一侧的方向上，所述底板的宽度逐渐增大；和/或，所述第一挡板和所述底板之间的夹角а，且满足45
°
≤а≤70
°
。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述第一挡板与所述第一连接部连接的一端具有第一插接部，所述第一连接部与所述第一挡板连接的一端具有第二插接部，所述第一插接部和所述第二插接部中的一个形成为插槽，所述第一插接部和所述第二插接部中的另一个形成为与所述插槽配合的插舌，其中，在所述插舌的自由端至所述插舌的固定端的方向上，所述插舌的横截面面积逐渐减小；和/或，所述第一插接部上设有适于紧固件穿过的第一固定孔，所述第二插接部上设有适于紧固件穿过的第二固定孔，所述第一插接部和所述第二插接部通过所述紧固件连接。
[0011]在本技术的一些实施例中，吊渣装置还包括：第二抓取件，所述第二抓取件包括：第二连接部和第二盘体部，所述第二连接部与所述第一连接部相对设置，所述第二连接部的上端与所述连接杆的下端可枢转地连接，所述第二盘体部与所述第一盘体部沿所述坩埚的径向方向相对设置，且所述第二盘体部的上端与所述第二连接部的下端可拆卸地连接，所述第二盘体部限定出第二容纳腔，所述第二容纳腔朝向所述坩埚中心轴线的一侧敞开，所述第二盘体部的底壁上设有贯穿的第二漏液孔；第二牵拉件，所述第二牵拉件与所述第一牵拉件分布于所述支撑件相对的两侧，且所述第二牵拉件的上端与所述支撑件的底壁可枢转地连接，所述第二牵拉件的下端与所述第二抓取件的外侧壁可枢转地连接；其中，所述连接杆从所述第一位置移动至所述第二位置时，所述第二盘体部的底壁从水平状态切换至倾斜状态，所述第二盘体部适于伸入到所述坩埚的熔汤中，且所述第二盘体部底壁的径向内侧与所述第一盘体部的底壁的径向内侧间隔开；所述连接杆从所述第二位置移动至所述第一位置时，所述第二盘体部的底壁从倾斜状态切换至水平状态，且所述第二盘体部底壁的径向内侧与所述第一盘体部的底壁的径向内侧抵接，所述第一盘体部和第二盘体部适于移出所述熔汤以将所述熔汤中的渣料取出。
[0012]可选地，所述第一盘体部和所述第二盘体部为石英件或氮化硅件，或者，所述第一盘体部和所述第二盘体部均包括：层叠设置的内层结构和外层结构，所述内层结构为氮化硅件，所述外层结构为石英件。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述第一盘体部设置有多个，多个所述第一盘体部可替换地与所述第一连接部连接，且每个所述第一盘体部的所述第一漏液孔的孔径不同。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述支撑件的中心设有贯穿孔，所述连接杆可上下滑动地穿设在所述贯穿孔内，所述连接杆上设有挡块，所述挡块固定在所述连接杆的外周壁上，且所述挡块沿所述连接杆的周向方向延伸呈环形，所述挡块位于所述支撑件的下侧，所述贯穿孔在所述挡块上的正投影位于所述挡块的外周沿的范围内，或者，所述连接杆为丝杠，所述吊渣装置还包括：驱动机构，所述驱动机构固设在所述支撑件上，所述驱动机构的输出端适于与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吊渣装置，所述吊渣装置用于晶体生长设备，其特征在于，所述晶体生长设备包括：炉体和坩埚，所述炉体限定出生长腔，所述生长腔的顶部具有承载部，所述坩埚设在所述生长腔内，所述吊渣装置包括：支撑件，所述支撑件适于支撑在所述承载部上；连接杆，所述连接杆穿设在所述支撑件上，且所述连接杆适于沿竖向方向在第一位置和第二位置之间上下运动，所述第一位置位于所述第二位置的上侧；第一抓取件，所述第一抓取件包括：第一连接部和第一盘体部，所述第一连接部的上端与所述连接杆的下端可枢转地连接，所述第一连接部的下端与所述第一盘体部的上端可拆卸地连接，所述第一盘体部限定出第一容纳腔，所述第一容纳腔朝向所述坩埚中心轴线的一侧敞开，所述第一盘体部的底壁上设有贯穿的第一漏液孔；第一牵拉件，所述第一牵拉件的上端与所述支撑件的底壁可枢转地连接，所述第一牵拉件的下端与所述第一抓取件的外侧壁可枢转地连接；其中，所述连接杆从所述第一位置移动至所述第二位置时，所述第一盘体部的底壁从水平状态切换至倾斜状态，且所述第一盘体部适于伸入到所述坩埚的熔汤中；所述连接杆从所述第二位置移动至所述第一位置时，所述第一盘体部的底壁从倾斜状态切换至水平状态，且所述第一盘体部适于移出所述熔汤以将所述熔汤中的渣料取出。2.根据权利要求1所述的吊渣装置，其特征在于，所述第一盘体部包括：底板，多个所述第一漏液孔形成在所述底板上，且多个所述第一漏液孔在所述底板上呈多行多列排布；第一挡板，所述第一挡板与所述底板的背离所述坩埚中心轴线的一侧连接，在由下至上的方向上，所述第一挡板朝向靠近所述第一容纳腔中心轴线的方向倾斜延伸，所述第一牵拉件的下端与所述第一挡板的背离所述第一容纳腔的一侧可枢转地连接。3.根据权利要求2所述的吊渣装置，其特征在于，所述第一盘体部还包括：第二挡板和第三挡板，所述第二挡板和所述第三挡板在所述底板的宽度方向上相对设置，所述第二挡板和所述第三挡板均与所述底板连接，且所述第二挡板和所述第三挡板分布于所述第一挡板的相对的两侧，所述第二挡板和所述第三挡板均与所述第一挡板连接，其中，所述底板、所述第一挡板、所述第二挡板和所述第三挡板共同限定出所述第一容纳腔。4.根据权利要求3所述的吊渣装置，其特征在于，在由下至上的方向上，所述第二挡板和第三挡板均朝向靠近所述第一容纳腔中心轴线的方向倾斜延伸，在所述底板的背离所述坩埚中心轴线的一侧至所述底板的靠近所述坩埚中心轴线的一侧的方向上，所述底板的宽度逐渐增大；和/或，所述第一挡板和所述底板之间的夹角а，且满足45
°
≤а≤70
°
。5.根据权利要求2所述的吊渣装置，其特征在于，所述第一挡板与所述第一连接部连接的一端具有第一插接部，所述第一连接部与所述第一挡板连接的一端具有第二插接部，所述第一插接部和所述第二插接部...

【专利技术属性】
技术研发人员：李向阳，陈俊宏，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：