一种晶圆棒开方回收装置及回收方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种晶圆棒开方回收装置，包括回收箱，还包括独立于所述回收箱之外的顶固组件和传送件；所述顶固组件用于顶固所述晶圆棒被切边料，以使所述被切边料完全与所述晶圆棒本体剥离后自落至所述传送件上，再被传至所述回收箱中收集。本发明专利技术还提出采用该回收装置的一种晶圆棒开方回收方法。本发明专利技术提出的回收装置及回收方法，用于边皮收集，适用于晶圆棒开方为多边形方棒的边皮回收，可使边皮料被安全且稳妥地脱离方棒，下落至移动的传送件上，并直接随传送件传输方向被移走，防止其下落弹起造成钢线被挂断；且下落的边皮料受传送件移动的牵引力减少其受重力而引起的破裂，降低硅料损耗，亦降低生产成本。亦降低生产成本。亦降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆棒开方回收装置及回收方法


[0001]本专利技术属于太阳能单晶开方设备
，尤其是涉及一种晶圆棒开方回收装置及回收方法。

技术介绍

[0002]中国公开专利CN211682933U提出一种大尺寸单晶硅棒切割装置，采用在切割硅棒的侧面设置两个收集边料的收集部，切割时边开边皮边收集，但在切割过程中，边料是悬空的，即无任何保护，当硅棒的边皮切割到一定位置后边皮即随其本身的重力自由脱离硅棒本体脱落，脱落后的边皮掉落至俩侧的收集部的斜板上，再从斜板滑入边皮箱。这一结构由于斜板采用不锈钢制成硬度大，虽然在斜板上设有橡胶垫，但边皮掉落至斜板上亦容易被弹起，而导致其改变运动轨迹，从而造成挂断钢线；同时边皮掉落至不锈钢斜板上亦容易造成边皮碎裂，从而影响硅料的损耗，造成原料成本大幅增加。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种晶圆棒开方回收装置及回收方法，尤其是适用于晶圆棒去边皮的收集，解决了现有技术中开方收集边皮料时容易挂断网线、碎裂的技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆棒开方回收装置，包括回收箱，还包括独立于所述回收箱之外的顶固组件和传送件；
[0006]所述顶固组件用于顶固所述晶圆棒被切边料，以使所述被切边料完全与所述晶圆棒本体剥离后自落至所述传送件上，再被传至所述回收箱中收集。
[0007]进一步的，所述顶固组件与任一组对位设置的所述被切边料配合设置；且至少与一组对位设置的所述被切边料配合。
[0008]进一步的，所述顶固组件包括对称于所述被切边料两端的顶杆，所述顶杆可沿所述晶圆棒长度方向同步伸缩移动，以顶固所述被切边料或松开所述被切边料。
[0009]进一步的，所述顶杆与所述被切边料端面被配置为点接触或面接触；
[0010]所述顶杆与所述被切边料的端部接触的位置位于所述被切边料端面的中心线上；
[0011]所述顶杆靠近所述被切边料一端的最大横截面中靠近所述被切边料直边的最近边缘与所述被切边料的直边为间隙设置。
[0012]进一步的，所述传送件被配置于所述晶圆棒的下方，且沿垂直于所述晶圆棒长度方向横向平移；所述传送件可使落入其上的所述被切边料移动至其两侧的任一所述回收箱中。
[0013]一种晶圆棒开方回收方法，采用如上任一项所述的回收装置，步骤包括：
[0014]执行顶固所述晶圆棒中所述被切边料部位的端部；
[0015]执行金刚线对顶固后的所述晶圆棒进行切割以使所述被切边料与所述晶圆棒本体分开；
[0016]松开切割后的所述被切边料以使所述被切边料自落至所述晶圆棒下方并被移动传送至回收箱中收集。
[0017]进一步的，所述执行顶固所述晶圆棒中所述被切边料部位的端部的步骤包括：
[0018]调整所述晶圆棒轴向位置，以使所述被切边料与所述金刚线位置一一对应；
[0019]控制与所述金刚线所切位置对应的对位设置的所述被切边料的端部被顶固。
[0020]进一步的，所述执行金刚线对顶固后的所述晶圆棒进行切割以使所述被切边料与所述晶圆棒本体分开的步骤包括：
[0021]控制所述金刚线从所述晶圆棒的一端对位切割所述被切边料至所述晶圆棒的另一端；
[0022]控制所述金刚线返回至初始位置处；
[0023]调整任一对位组被顶固的所述被切边料的位置，使其被切面垂直于所述传动件上端面设置。
[0024]进一步的，所述松开切割后的所述被切边料以使所述被切边料自落至所述晶圆棒下方并被移动传送至回收箱中收集的步骤包括：
[0025]执行同步松开对位设置的所述被切边料；
[0026]被松开的所述被切边料自重掉落至缓慢移动的所述传动件上；
[0027]所述传动件带动掉落的所述被切边料可一直持续向同一方向移动至一侧的所述回收箱内收集；或者
[0028]所述传动带带动掉落的所述被切边料分批次双向移动至其两侧的所述回收箱内收集。
[0029]进一步的，重复上述步骤，直至对所述晶圆棒的其它所有边料全部被切除，并回收至所述回收箱。
[0030]采用本专利技术设计的一种晶圆棒开方回收装置及回收方法，用于边皮收集，适用于晶圆棒开方为多边形方棒的边皮回收，可使边皮料被安全且稳妥地脱离方棒，下落至移动的传送件上，并直接随传送件传输方向被移走，防止其下落弹起造成钢线被挂断；且下落的边皮料受传送件移动的牵引力减少其受重力而引起的破裂，降低硅料损耗，亦降低生产成本。
附图说明
[0031]图1是本专利技术一实施例的一种晶圆棒开方回收装置的结构示意图；
[0032]图2是本专利技术一实施例的一种晶圆棒开方回收装置的侧视图；
[0033]图3是本专利技术实施例一的顶杆与晶圆棒端面配合示意图；
[0034]图4是本专利技术实施例二的顶杆与晶圆棒端面配合示意图；
[0035]图5是本专利技术实施例三的顶杆与晶圆棒端面配合示意图；
[0036]图6是本专利技术一实施例的一种晶圆棒开方回收方法的流程图。
[0037]图中：
[0038]10、晶圆棒
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20、顶杆
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30、夹头
[0039]40、被切边料
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50、传送件
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60、回收箱
[0040]70、金刚线
具体实施方式
[0041]下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细说明。
[0042]本实施例提出一种晶圆棒开方回收装置，如图1和图2所示，包括在晶圆棒10下方两侧设有两个回收箱60，还包括独立于回收箱60之外的顶固组件和传送件50；晶圆棒10被夹头30固定，顶固组件与夹头30沿晶圆棒10的轴线并排设置，且顶固组件与夹头30同夹盘固定设置。其中，顶固组件用于顶固晶圆棒20中的被切边料，以使被切边料40完全与晶圆棒10的本体剥离后自落至传送件50上再被传至回收箱60中收集。
[0043]具体地，顶固组件与任一组对位设置的被切边料40配合设置，且至少与一组对位设置的被切边料40配合。顶固组件包括对称于被切边料40两端的顶杆20，也即是每一个顶固组件与一组对位设置的被切边料40相适配，则每一个顶固组件即包括四个顶杆20，且顶杆20均位于金刚线70的外侧。
[0044]进一步的，每一个顶固组件中的顶杆20同步移动，可沿晶圆棒10长度方向同步伸缩，以顶固每一组对位设置的被切边料40或松开该组对位设置的被切边料40。
[0045]也即是，每一个晶圆棒10可以被开方为多边形的方棒，包括四边形方棒、六边形方棒或八边形方棒，每一个方棒包括若干组顶固组件，每一个顶固组件独立设置，即可独立地伸缩控制其所对应的那组被切边料40，具体顶杆20的控制可以为气动控制、或液压控制、或电磁控制、或其它方式，都是本领域常用的控制方式，在此不做具体要求。当然本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆棒开方回收装置，包括回收箱，其特征在于，还包括独立于所述回收箱之外的顶固组件和传送件；所述顶固组件用于顶固所述晶圆棒被切边料，以使所述被切边料完全与所述晶圆棒本体剥离后自落至所述传送件上，再被传至所述回收箱中收集。2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶固组件与任一组对位设置的所述被切边料配合设置；且至少与一组对位设置的所述被切边料配合。3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶固组件包括对称于所述被切边料两端的顶杆，所述顶杆可沿所述晶圆棒长度方向同步伸缩移动，以顶固所述被切边料或松开所述被切边料。4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶杆与所述被切边料端面被配置为点接触或面接触；所述顶杆与所述被切边料的端部接触的位置位于所述被切边料端面的中心线上；所述顶杆靠近所述被切边料一端的最大横截面中靠近所述被切边料直边的最近边缘与所述被切边料的直边为间隙设置。5.根据权利要求1
‑
2、4任一项所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述传送件被配置于所述晶圆棒的下方，且沿垂直于所述晶圆棒长度方向横向平移；所述传送件可使落入其上的所述被切边料移动至其两侧的任一所述回收箱中。6.一种晶圆棒开方回收方法，其特征在于，采用如权利要求1
‑
5任一项所述的回收装置，步骤包括：执行顶固所述晶圆棒中所述被切边料部位的端部；执行金刚线对顶固后的所述晶圆棒进行切割以使所述被切边料与...

【专利技术属性】
技术研发人员：贡艺强，梁志慧，王猛，林雪龙，王晓鹏，李喜珍，邢玉军，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：