一种电弧离子镀设备的双靶结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电弧离子镀设备的双靶结构，涉及电弧离子镀技术领域。本实用新型专利技术包括外壳，外壳的外部设置有连接壳，连接壳的内侧设置有位置调节组件，位置调节组件包括滑轨，滑轨固定连接在连接壳的内侧，滑轨的内侧滑动连接有连接板，连接板的外部固定连接有螺纹块，螺纹块的外部螺纹连接有螺杆，螺杆的外部固定连接有固定齿轮。本实用新型专利技术通过位置调节组件的作用下，通过螺杆与螺纹块的作用下可以使得连接板运动，进而使得在产品需要进行多种复合膜镀层时，可以使用不同的靶材，进而可以使得复合膜从两种材料扩展到四种材料，进而操作者不需要进行多次更换靶材的时间，这样不仅减轻了操作者的劳动强度，同时提高了工作效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种电弧离子镀设备的双靶结构


[0001]本技术属于电弧离子镀
，特别是涉及一种电弧离子镀设备的双靶结构。

技术介绍

[0002]离子镀是在蒸发镀膜的同时，用来源于等离子体的离子轰击膜层，离子镀在工业上主要用于在高速钢刀具上镀制Ti膜，作为耐磨硬质膜，以及在不锈钢制品上镀制五N膜，作为仿金装饰膜，并多采用阴极电弧蒸发离子镀技术，但它在实际使用中仍存在以下弊端：
[0003]现有的电弧离子镀设备在使用时只可以使用一种复合膜进行离子镀，进而当需要进行多种复合膜镀层，就需要操作者多次更换不同的靶材，这样不仅会增大操作者的劳动强度，同时会使得涂层效率变低；同时现有的电弧离子镀设备在使用时只是将靶材放置到对应位置，这样在装置运行过程中，当受到外部冲击时可能会使得靶材发生移动，进而可能会影响涂层的效果，进而可能会影响产品的质量。
[0004]因此，现有的电弧离子镀设备，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种电弧离子镀设备的双靶结构，通过位置调节组件的作用下，在进行一次离子镀时可以使用不同的靶材，进而不需要操作者多次对靶材种类进行更换，提高了操作者的工作效率，通过限位固定组件的作用下，可以对靶材进行固定，进而防止了在受到外部冲击时，靶材发生移动，保证了产品的涂层效果，解决了现有的电弧离子镀设备只可以使用一种靶材，不仅会增大操作者的劳动强度，同时会使得涂层效率变低，当受到外部冲击时会使得靶材发生移动，这样不仅会影响涂层效果，同时会影响产品质量的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0007]本技术为一种电弧离子镀设备的双靶结构，包括外壳，所述外壳的外部设置有连接壳，连接壳的内侧设置有位置调节组件；
[0008]所述位置调节组件包括滑轨，滑轨固定连接在连接壳的内侧，滑轨的内侧滑动连接有连接板，连接板的外部固定连接有螺纹块，螺纹块的外部螺纹连接有螺杆，螺杆的外部固定连接有固定齿轮，连接壳的内侧固定连接有圆壳；
[0009]所述位置调节组件的内侧设置有限位固定组件。
[0010]进一步地，所述圆壳的内侧固定连接有限位壳，限位壳的内侧固定连接有电磁铁一，电磁铁一的顶部固定连接有支撑弹簧，支撑弹簧的顶部固定连接有顶杆，通过位置调节组件的作用下，操作者可以对产品进行多种靶材的离子镀，减少了操作者更换靶材的时间，提高了涂层的效率。
[0011]进一步地，所述连接板有两个，每个连接板的外部均设置有滑块，滑块滑动连接在
滑轨表面开设的滑槽内侧，每个连接板的外部固定连接有不少于四个的螺纹块，所有螺纹块呈对称分布，螺杆转动连接在连接壳的内侧，螺杆有两个且成对称分布，螺杆的外部固定连接有电机，螺杆转动时，在螺纹块的作用下，可以带动连接板运动。
[0012]进一步地，所述限位壳的表面开设有圆孔，顶杆滑动连接在圆孔的内侧，顶杆的规格与固定齿轮外部齿牙的规格相匹配且位置相对应，当顶杆顶出时，会与固定齿轮外部齿牙卡合。
[0013]进一步地，所述限位固定组件包括固定壳，固定壳固定连接在连接板的内侧，固定壳的内侧固定连接有推动气缸，推动气缸的外部滑动连接有推杆，推杆的外部固定连接有固定板，连接板的外部固定连接有检测壳，通过限位固定组件的作用下，可以对靶材进行固定，进而防止在发生冲击时靶材发生位置移动，固定板的外部设置有触块。
[0014]进一步地，所述检测壳的内侧固定连接有电磁铁二，电磁铁二的外部固定连接有连接弹簧，连接弹簧远离电磁铁二的一端固定连接有滑板，连接板的内侧固定连接有光敏电阻，外壳的内侧固定连接有灯珠，通过限位固定组件的作用下，可以对连接板的运动位置进行限制，进而可以更好地对产品进行涂层。
[0015]进一步地，所述固定壳的数量不少于四个，所有的固定壳均匀地分布在连接板表面开设圆孔的外部，通过多个固定板的作用下，可以更好地对靶材进行固定。
[0016]进一步地，所述滑板滑动连接在检测壳的内侧，检测壳的内侧设置有触点，连接板的表面开设有凹孔，光敏电阻固定连接在凹孔的内侧，外壳的表面开设有凹槽，灯珠固定连接在凹槽的内侧，光敏电阻的规格与灯珠的规格相匹配且位置相对应，灯珠有三个，所有的灯珠均匀地分布在凹槽的内侧，通过灯珠与光敏电阻的作用下可以准确地对靶材进行更换，进而方便了操作者的使用，滑板运动时会与触点接触。
[0017]进一步地，所述电磁铁一、电机、推动气缸、电磁铁二、灯珠均与电源电连接，电磁铁二与光敏电阻电连接，初始状态下灯珠不亮，这时光敏电阻无法接收到灯珠的光照，这时光敏电阻阻值最大。
[0018]进一步地，所述外壳的表面开设有深孔，深孔的规格与连接板表面开设的圆孔规格相匹配且位置相对应。
[0019]本技术具有以下有益效果：
[0020]1、本技术通过位置调节组件的作用下，通过螺杆与螺纹块的作用下可以使得连接板运动，进而使得在产品需要进行多种复合膜镀层时，可以使用不同的靶材，进而可以使得复合膜从两种材料扩展到四种材料，进而操作者不需要进行多次更换靶材的时间，这样不仅减轻了操作者的劳动强度，同时提高了工作效率。
[0021]2、本技术通过限位固定组件的作用下，通过推动气缸、推杆、固定板的作用下，操作者可以对靶材进行固定，进而当装置受到外部冲击力时，靶材不会发生移动，进而保证了产品涂层的质量，通过灯珠与光敏电阻的作用下，可以对不同的靶材移动时进行定位，进而方便了操作者对靶材的更换。
[0022]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使
用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术的局部剖视结构示意图；
[0025]图2为本技术中圆壳内部结构示意图；
[0026]图3为本技术图2中A处结构示意图；
[0027]图4为本技术中连接板内部结构示意图；
[0028]图5为本技术中检测壳内部结构示意图；
[0029]图6为本技术中部分结构之间的连接关系结构示意图。
[0030]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0031]1、外壳；2、连接壳；3、位置调节组件；31、滑轨；32、连接板；33、螺纹块；34、螺杆；35、固定齿轮；36、圆壳；37、限位壳；38、电磁铁一；39、支撑弹簧；310、顶杆；4、限位固定组件；41、固定壳；42、推动气缸；43、推杆；44、固定板；45、检测壳；46、电磁铁二；47、连接弹簧；48、滑板；49、光敏电阻；410、灯珠。
具体实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电弧离子镀设备的双靶结构，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)的外部设置有连接壳(2)，连接壳(2)的内侧设置有位置调节组件(3)；所述位置调节组件(3)包括滑轨(31)，滑轨(31)固定连接在连接壳(2)的内侧，滑轨(31)的内侧滑动连接有连接板(32)，连接板(32)的外部固定连接有螺纹块(33)，螺纹块(33)的外部螺纹连接有螺杆(34)，螺杆(34)的外部固定连接有固定齿轮(35)，连接壳(2)的内侧固定连接有圆壳(36)；所述位置调节组件(3)的内侧设置有限位固定组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种电弧离子镀设备的双靶结构，其特征在于，所述圆壳(36)的内侧固定连接有限位壳(37)，限位壳(37)的内侧固定连接有电磁铁一(38)，电磁铁一(38)的顶部固定连接有支撑弹簧(39)，支撑弹簧(39)的顶部固定连接有顶杆(310)。3.根据权利要求1所述的一种电弧离子镀设备的双靶结构，其特征在于，所述连接板(32)有两个，每个连接板(32)的外部均设置有滑块，滑块滑动连接在滑轨(31)表面开设的滑槽内侧，每个连接板(32)的外部固定连接有不少于四个的螺纹块(33)，所有螺纹块(33)呈对称分布，螺杆(34)转动连接在连接壳(2)的内侧，螺杆(34)有两个且成对称分布。4.根据权利要求2所述的一种电弧离子镀设备的双靶结构，其特征在于，所述限位壳(37)的表面开设有圆孔，顶杆(310)滑动连接在圆孔的内侧，顶杆(310)的规格与固定齿轮(35)外...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋孝文，刘朋，
申请(专利权)人：无锡乾泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：