一种大功率半导体测试装置以及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大功率半导体测试装置以及方法，涉及半导体测试技术领域。为了解决现有技术中，通常单个测试头依次对大功率半导体进行测试，人工依次进行上料下料，测试时间长，增大劳动力，大大降低了测试效率，大大缩短了单个测试头的使用寿命，提高测试成本的问题。一种大功率半导体测试装置，包括测试底座、固定翻转机构和测试机构，测试底座上表面一侧安装有固定翻转机构，固定翻转机构一侧设置有测试机构；通过检测板同步对固定板内固定的大功率半导体进行测试，大大提高了测试效率，由测试人员一次放入多个大功率半导体，缩短了测试时间，减少人工劳动力，有效提高了检测针头的使用寿命，减少磨损次数，为企业带来了良好的经济效益。的经济效益。的经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种大功率半导体测试装置以及方法


[0001]本专利技术涉及半导体测试
，特别涉及一种大功率半导体测试装置以及方法。

技术介绍

[0002]申请号CN202110415652.1公开了一种大功率半导体器件通电发热性能测试装置，包括：半导体器件单元，可与所述半导体器件单元接触为其中半导体器件散热的散热单元，与所述散热单元连接用于检测所述散热单元温度的测温单元，与所述散热单元和所述测温单元连接用于驱动所述散热单元与所述半导体器件单元接触的驱动单元，与所述散热单元连接用于智能控制所述散热单元对所述半导体器件单元中半导体器件进行散热的智能温控水冷单元。然而在测试过程中仍存在以下几点问题：
[0003]1、现有技术中，对板状的大功率半导体进行测试时，无法对大功率半导体两面进行测试，需要人工进行翻转后进行双面的测试，大大提高了人工劳动力，且在翻转过程中容易出现多翻或漏翻的情况，无法保证测试质量；
[0004]2、现有技术中，通常单个测试头依次对大功率半导体进行测试，人工依次进行上料下料，测试时间长，增大劳动力，大大降低了测试效率，大大缩短了单个测试头的使用寿命，提高测试成本。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种大功率半导体测试装置以及方法，固定翻转机构带动大功率半导体翻面，测试机构对其两面进行测试，提高测试效率，简化翻面步骤，延长测试设备使用寿命，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种大功率半导体测试装置，包括测试底座、固定翻转机构和测试机构，测试底座上表面一侧安装有固定翻转机构，固定翻转机构一侧设置有测试机构，固定翻转机构由翻转驱动装置、翻转固定装置和限位装置构成，翻转驱动装置和限位装置分别对称设置在翻转固定装置两侧，限位装置设置在靠近翻转固定装置一侧，翻转驱动装置与测试底座固定连接。
[0008]进一步的，测试机构包括滑动底座、平移滑块、驱动气缸和检测本体，滑动底座下表面分别通过螺栓与测试底座上表面固定连接，滑动底座上表面设置有平移滑槽，滑动底座通过平移滑槽与平移滑块滑动连接，平移滑块上表面通过螺栓与驱动气缸固定连接，驱动气缸上表面通过气缸杆与支撑杆固定连接，支撑杆一端与检测本体固定连接。
[0009]进一步的，检测本体下表面安装有检测板，检测板下表面分别设置有均匀分布的检测针头，检测针头分别与检测本体通过导线电连接。
[0010]进一步的，翻转驱动装置包括驱动底座、翻转气缸和驱动齿条，驱动底座下表面通过螺栓与测试底座上表面固定连接，翻转气缸通过螺栓与驱动底座一端固定连接，驱动底
座上表面与短滑条滑动连接，驱动底座上表面设置有与短滑条相适配的滑槽，短滑条上表面与长滑条滑动连接，长滑条上表面一侧通过螺栓与连接块固定连接，连接块上表面与驱动齿条下表面固定连接。
[0011]进一步的，翻转固定装置包括固定板、活动板和传动丝杆，固定板两端分别安装有下固定耳座，活动板两端分别安装有上固定耳座，下固定耳座通过轴承与传动丝杆下端固定连接，上固定耳座通过轴承与传动套转动连接，传动套与传动丝杆嵌套连接，传动丝杆上端设置有外螺纹，传动套内壁设置有与传动丝杆相适配的内螺纹，固定板和活动板表面分别设置有均匀分布的固定检测槽，固定检测槽分别对称设置在固定板和活动板上。
[0012]进一步的，固定板下表面通过螺栓与活动板驱动机构固定连接，固定板两端分别与翻转轴固定连接，翻转轴两端分别通过销轴与传动齿轮转动连接，传动齿轮与驱动齿条啮合，固定板两端分别设置有承接座，承接座上端设置有承重槽，翻转轴分别与承重槽表面接触。
[0013]进一步的，限位装置包括限位块、第一连杆、第二连杆和固定连接板，第一连杆两端分别与限位块固定连接，限位块分别对称设置在固定板两侧，限位块呈“7”型且上端下表面与翻转轴两侧上端接触，限位块下表面与定位柱固定连接，第二连杆中心套有固定套，固定套一侧与固定连接板固定连接，固定连接板一端与短滑条一侧固定，第二连杆两端分别与定位柱固定连接。
[0014]进一步的，驱动齿条上表面分布设置有均匀分布的齿槽段，齿槽段间隔距离与翻转轴间隔距离一致，齿槽段分别通过齿槽与传动齿轮啮合。
[0015]进一步的，活动板驱动机构包括驱动电机、驱动转轴和驱动齿轮，驱动电机通过电机固定板与固定板下表面一侧固定连接，驱动电机通过电机轴与驱动转轴固定连接，驱动转轴一端与驱动齿轮固定连接，驱动齿轮上表面通过齿槽与传动横轴接触，传动横轴中心设置有与驱动齿轮相啮合的螺旋叶片，传动横轴两端分别固定有侧锥齿轮，侧锥齿轮分别与正锥齿轮啮合，正锥齿轮与传动丝杆下表面固定连接。
[0016]本专利技术提供另一种技术方案，一种大功率半导体测试装置的测试方法，包括以下步骤：
[0017]步骤一：分别将大功率半导体放置在固定板内，活动板驱动机构带动活动板下移，将大功率半导体固定，驱动气缸带动检测板下移，分别对大功率半导体进行测试；
[0018]步骤二：翻转气缸带动短滑条滑动，限位块将固定板一侧的翻转轴固定，翻转气缸带动长滑条滑动，带动固定板以翻转轴轴心为圆心做圆周运动，进行翻转；
[0019]步骤三：驱动气缸在滑动底座上滑动至另一侧，对大功率半导体另一侧进行测试。
[0020]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0021]1.通过检测板同步对固定板内固定的大功率半导体进行测试，大大提高了测试效率，由测试人员一次放入多个大功率半导体，缩短了测试时间，减少人工劳动力，有效提高了检测针头的使用寿命，减少磨损次数，降低测试成本，为企业带来了良好的经济效益。
[0022]2.通过翻转气缸推动短滑条平移，从而限位块同将固定板一侧的翻转轴固定在承重槽内，将固定板另一侧的翻转轴释放，翻转气缸推动长滑条平移，从而长滑条带动驱动齿条进行水平移动，从而与驱动齿条啮合且固定在承重槽内的翻转轴带动固定板进行圆周运动，将固定在其内部的大功率半导体进行翻转，设计合理，驱动结构稳定，使用灵活，方便对
大功率半导体两面进行测试，简化翻面步骤，避免人工翻面造成漏翻或少翻的情况，减少测试时间，提高了测试效率。
[0023]3.测试人员将待测试的大功率半导体放置在固定检测槽内，通过驱动电机带动传动横轴转动，从而带动两端的侧锥齿轮同步转动，正锥齿轮带动传动丝杆转动，将活动板向下移动与固定板紧密接触，将固定板内的大功率半导体固定，传动稳定，将横向转动转换为两侧竖向同步转动，提高了传动稳定性，减少驱动成本，提高固定效果。
附图说明
[0024]图1为本专利技术的测试底座与固定翻转机构和测试机构连接轴测图；
[0025]图2为本专利技术的测试机构轴测图；
[0026]图3为本专利技术的固定翻转机构轴测图；
[0027]图4为本专利技术的固定翻转机构另一形态轴测图；
[0028]图5为本专利技术的限位装置轴测图；
[0029]图6为本专利技术的固定板与活动板轴测图；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大功率半导体测试装置，包括测试底座(1)、固定翻转机构(2)和测试机构(3)，其特征在于：测试底座(1)上表面一侧安装有固定翻转机构(2)，固定翻转机构(2)一侧设置有测试机构(3)，固定翻转机构(2)由翻转驱动装置(21)、翻转固定装置(22)和限位装置(23)构成，翻转驱动装置(21)和限位装置(23)分别对称设置在翻转固定装置(22)两侧，限位装置(23)设置在靠近翻转固定装置(22)一侧，翻转驱动装置(21)与测试底座(1)固定连接。2.如权利要求1所述的一种大功率半导体测试装置，其特征在于：测试机构(3)包括滑动底座(31)、平移滑块(32)、驱动气缸(33)和检测本体(34)，滑动底座(31)下表面分别通过螺栓与测试底座(1)上表面固定连接，滑动底座(31)上表面设置有平移滑槽，滑动底座(31)通过平移滑槽与平移滑块(32)滑动连接，平移滑块(32)上表面通过螺栓与驱动气缸(33)固定连接，驱动气缸(33)上表面通过气缸杆与支撑杆(35)固定连接，支撑杆(35)一端与检测本体(34)固定连接。3.如权利要求2所述的一种大功率半导体测试装置，其特征在于：检测本体(34)下表面安装有检测板(36)，检测板(36)下表面分别设置有均匀分布的检测针头，检测针头分别与检测本体(34)通过导线电连接。4.如权利要求1所述的一种大功率半导体测试装置，其特征在于：翻转驱动装置(21)包括驱动底座(211)、翻转气缸(212)和驱动齿条(213)，驱动底座(211)下表面通过螺栓与测试底座(1)上表面固定连接，翻转气缸(212)通过螺栓与驱动底座(211)一端固定连接，驱动底座(211)上表面与短滑条(214)滑动连接，驱动底座(211)上表面设置有与短滑条(214)相适配的滑槽，短滑条(214)上表面与长滑条(215)滑动连接，长滑条(215)上表面一侧通过螺栓与连接块(216)固定连接，连接块(216)上表面与驱动齿条(213)下表面固定连接。5.如权利要求4所述的一种大功率半导体测试装置，其特征在于：翻转固定装置(22)包括固定板(221)、活动板(222)和传动丝杆(223)，固定板(221)两端分别安装有下固定耳座(224)，活动板(222)两端分别安装有上固定耳座(225)，下固定耳座(224)通过轴承与传动丝杆(223)下端固定连接，上固定耳座(225)通过轴承与传动套转动连接，传动套与传动丝杆(223)嵌套连接，传动丝杆(223)上端设置有外螺纹，传动套内壁设置有与传动丝杆(223)相适配的内螺纹，固定板(221)和活动板(222)表面分别设置有均匀分布的固定检测槽(226)，固定检测槽(226)分别对称设置在固定板(221)和活动板(222)上。6.如权利要求5所述的一种大功率半导体测试装置，其特征在于：固定板(221)下表面通过螺栓与活动板驱动机构(24)固定连接，固定板(221)...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾文思，高宏玲，翟腾，郭青帅，马子扬，申武鑫，张国杰，
申请(专利权)人：中国软件评测中心工业和信息化部软件与集成电路促进中心，
类型：发明
国别省市：