新型方形靶材真空精密校平设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新型方形靶材真空精密校平设备，包括承重支架、上工作台、下工作台、加热装置、密封装置、上工作台升降移动装置、出装料提升装置，下工作台均匀设有若干加热装置，下工作台顶面两端对称开设有贯穿其上下两面的第一真空通气孔，两第一真空通气孔之间的距离大于方形靶材的宽度，上工作台为矩形，上工作台均匀设有若干加热装置，承重支架的顶面上开设有与下工作台相对应的矩形槽，下工作台设置在矩形槽内，通过设置工作台升降移动装置，能够实现上工作台在下工作台上方的提升及滑动，通过设置加热装置能够将上工作台、下工作台的温度加热到与工件校平的温度，能够更好释放工件内部的应力，有利于工件校平的精度的提升。度的提升。度的提升。

【技术实现步骤摘要】
新型方形靶材真空精密校平设备

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[0001]本技术涉及金属板校平设备
，尤其涉及一种新型方形靶材真空精密校平设备。

技术介绍
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[0002]有应力变形的金属板材，例如经过轧制的金属板材，由于金属内部有残余应力，都存在变形和平面不平的问题；对于“校平”工艺而言，有“热校”和“冷校”两种。对薄板金属材料，“冷校”方法可以使用；但对非薄板金属和部分弹性模量较大的金属(如钼、钼合金)都要采用“热校”方法，即，将要校正的金属板材加热到一定的温度(使该金属既不能发生大的组织性能变化，材料的屈服限强度又已大大降低的温度)，在专用的校平机上进行校平，一般的校平机都是多道轧辊组成，如图5所示的多辊矫直机，当金属板材通过矫直机时，由轧辊形成正负双方面的塑性变形，经过弹性反弹以后从而达到平整的目的。
[0003]在校平过程中，轧辊强迫有应力变形的金属板材在通过轧辊时以较小的曲率半径作循环往复的上下弯曲，发生塑性反变形，原来凸的地方通过轧辊后被压成稍微凹的形状，然后在弹性恢复的作用下，板材表面恢复平整的状态，其缺点是，金属板材在通过多矫直辊进行校平时，所受的变形是局部的，即变形发生在金属板材表面凸起或凹陷的处。板材表面局部凸凹处与轧辊接触，被轧辊强迫发生反方向的塑性变形。局部的塑性变形必然带来整体上受力及形变的不均匀，所以校平效果受到局限，校平精度也不高。且根据多矫直辊特性，两辊辊径和两辊之间间隙，金属板材两头小于、等于两辊中心距尺寸是矫不到的，两头材料浪费很大。此外，现有的各种校平机，特别是大型校平机价格高昂。
技术内容：
[0004]本技术的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种设计结构合理、校平精度高的新型方形靶材真空精密校平设备。
[0005]本技术是通过如下技术方案实现的：一种新型方形靶材真空精密校平设备，包括承重支架、上工作台、下工作台、加热装置、密封装置、上工作台升降移动装置、出装料提升装置，所述下工作台为矩形，下工作台均匀设有若干贯穿其左右侧面的加热装置，下工作台顶面两端对称开设有贯穿其上下两面的第一真空通气孔，两第一真空通气孔之间的距离大于方形靶材的宽度，所述上工作台为矩形，上工作台均匀设有若干贯穿其左右侧面的加热装置，所述承重支架的顶面上开设有与下工作台相对应的矩形槽，所述下工作台设置在矩形槽内，矩形槽的高度大于下工作台的高度，所述矩形槽底端开设有贯穿其上下端面与下工作台相对应的第二真空通气孔，所述第二真空通气孔与第一真空通气孔相连通，所述第二真空通气孔的底端连接有真空管道，所述真空管道的外壁上设有与其连通的氩气阀，所述密封装置为密封条，所述矩形槽顶端设有对应的矩形结构的密封条，所述出装料提升装置设置在承重支架的底部中心，出装料提升装置能够抬升下工作台上的方形靶材，所述上工作台通过对称设置在承重支架两侧的若干上工作台升降移动装置能够在下工作台
上方提升及沿承重支架长度方形移动。
[0006]为了能够实现上工作台的提升及滑动，所述工作台升降移动装置包括第一液压油缸、滑轨、滑块，所述滑轨固定连接在第一液压油缸的顶杆上，所述滑轨上滑动设置有滑块，进一步地，所述上工作台通过固定在其两侧的滑块滑动设置在滑轨上。
[0007]为了能够实现靶材的抬升，所述出装料提升装置包括第二液压油缸、顶盘，所述顶盘活动设置在设置在下工作台的中心，顶盘的顶面与下工作台的顶面齐平，所述第二液压油缸的设置在承重支架的底部，所述顶盘与第二液压油缸的活塞杆相固定，第二液压油缸的活塞杆能够推动顶盘在下工作台中心上下移动。
[0008]为了提高抽真空的真空度，减少因真空度不同产生的应力导致校平误差，所述下工作台的顶面均匀开设有用于排气的若干下气道，所述上工作台的底面开设有若干上气道，所述上气道、下气道与第一真空通气孔相连通。
[0009]为了提高上工作台、下工作台的保温性能，所述上工作台的顶部套设有上保温罩，所述矩形槽的外壁设置下保温罩，所述矩形槽与下工作台装配面之间涂装有高温隔热保温涂料层。
[0010]本技术的有益效果是：通过设置工作台升降移动装置，能够实现上工作台在下工作台上方的提升及滑动，通过设置加热装置能够将上工作台、下工作台的温度加热到与工件校平的温度，能够更好释放工件内部的应力，有利于工件校平的精度的提升。
附图说明：
[0011]图1为本技术的新型方形靶材真空精密校平设备的平面结构示意图；
[0012]图2为本技术的新型方形靶材真空精密校平设备的截面结构示意图；
[0013]图3为本技术的新型方形靶材真空精密校平设备的俯视结构示意图；
[0014]图4为本技术的图2中A处的局部放大图。
[0015]图5为现有的多辊矫直机曲线矫直示意图。
[0016]图中：1、承重支架；11、矩形槽；12、第二真空通气孔；121、真空管道； 122、氩气阀；2、上工作台；21、上气道；3、下工作台；31、第一真空通气孔； 32、下气道；4、加热装置；5、密封装置；61、第一液压油缸；62、滑轨；63、滑块；71、第二液压油缸；72、顶盘；81、上保温罩；82、下保温罩；83、高温隔热保温涂料层；91、矩形保温框；92、保温材料。
具体实施方式：
[0017]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0018]如图1
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4所示的一种新型方形靶材真空精密校平设备，包括承重支架1、上工作台2、下工作台3、加热装置4、密封装置5、上工作台升降移动装置、出装料提升装置；
[0019]所述下工作台3为矩形，下工作台3均匀设有若干贯穿其左右侧面的加热装置4，下工作台3顶面两端对称开设有贯穿其上下两面的第一真空通气孔31，两第一真空通气孔31之间的距离大于方形靶材的宽度；
[0020]所述上工作台2为矩形，上工作台2均匀设有若干贯穿其左右侧面的加热装置4；
[0021]所述承重支架1的顶面上开设有与下工作台3相对应的矩形槽11，所述下工作台3设置在矩形槽11内，矩形槽11的高度大于下工作台3的高度，所述矩形槽11底端开设有贯穿其上下端面与下工作台3相对应的第二真空通气孔 12，所述第二真空通气孔12与第一真空通气孔31相连通，所述第二真空通气孔12的底端连接有真空管道121，所述真空管道121的外壁上设有与其连通的氩气阀122；
[0022]所述密封装置5为密封条，所述矩形槽顶端设有对应的矩形结构的密封条；
[0023]所述出装料提升装置设置在承重支架1的底部中心，出装料提升装置能够抬升下工作台上的方形靶材；
[0024]所述上工作台2通过对称设置在承重支架1两侧的若干上工作台升降移动装置能够在下工作台3上方提升及沿承重支架1长度方形移动。
[0025]所述工作台升降移动装置包括第一液压油缸61、滑轨62、滑块63，所述滑轨62固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型方形靶材真空精密校平设备，其特征在于：包括承重支架(1)、上工作台(2)、下工作台(3)、加热装置(4)、密封装置(5)、上工作台升降移动装置、出装料提升装置；所述下工作台(3)为矩形，下工作台(3)均匀设有若干贯穿其左右侧面的加热装置(4)，下工作台(3)顶面两端对称开设有贯穿其上下两面的第一真空通气孔(31)，两第一真空通气孔(31)之间的距离大于方形靶材的宽度；所述上工作台(2)为矩形，上工作台(2)均匀设有若干贯穿其左右侧面的加热装置(4)；所述承重支架(1)的顶面上开设有与下工作台(3)相对应的矩形槽(11)，所述下工作台(3)设置在矩形槽(11)内，矩形槽(11)的高度大于下工作台(3)的高度，所述矩形槽(11)底端开设有贯穿其上下端面与下工作台(3)相对应的第二真空通气孔(12)，所述第二真空通气孔(12)与第一真空通气孔(31)相连通，所述第二真空通气孔(12)的底端连接有真空管道(121)，所述真空管道(121)的外壁上设有与其连通的氩气阀(122)；所述密封装置(5)为密封条，所述矩形槽(11)顶端设有对应的矩形结构的密封条；所述出装料提升装置设置在承重支架(1)的底部中心，出装料提升装置能够抬升下工作台上的方形靶材；所述上工作台(2)通过对称设置在承重支架(1)两侧的若干上工作台升降移动装置能够在下工作台(3)上方提升及沿承重支架(1)长度方形移动。2.根据权利要求1所述的新型方形靶材真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：史大成，黄岩，李云，
申请(专利权)人：常州苏晶电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：