一种新型高腐蚀性化学品换热器制造技术

本实用新型专利技术适用于化学品生产技术领域，尤其涉及一种新型高腐蚀性化学品换热器，包括本体，所述本体上设有进口和出口，所述本体内部设有若干分隔板，所述分隔板与分隔板之间、以及分隔板与本体之间形成一个导流通道，进口与出口分别位于导流通道的两端并且与导流通道相通，其中分隔板与本体为一体结构；本装置将分隔板与本体设置成一体结构，使得含聚四氟乙烯高分子化学材料换热器本体在使用过程中，消除了化学品流体的结晶，减少了颗粒状固体对晶圆产品表面的微刮痕，提高了半导体晶圆生产的良率。良率。良率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型高腐蚀性化学品换热器


[0001]本技术涉及化学品生产
，具体是一种新型高腐蚀性化学品换热器。

技术介绍

[0002]化学品流体换热器在使用中，考虑化学品的高腐蚀性，常用为含聚四氟乙烯高分子化学材料（PTFE）的整体立方体上加工出一定间距的进口和出口，在块状材料的中心部分加工出圆环，在进口和出口上焊接聚四氟乙烯（PFA）管道，在与管道平行的方向，圆的直径等分点，加工出嵌入点，圆环内部设有分隔板，分隔板加工有孔或槽，平行放置到对应的嵌入点上，将（含聚四氟乙烯高分子化学材料）PTFE本体空间分割形成流体流道。
[0003]但是这种换热器结构具有一定的缺陷，现有含聚四氟乙烯高分子化学材料（PTFE）本体需要由不同厚度的材料加工后，通过拼装组合到一起，两者的加工精度和公差会造成存在装配间隙；实际使用过程中，由于不同化学品的温度特性不同，某些化学品流体在进入嵌入点后，不再进行流动；对流体温度控制，发生了升温和降温的过程，导致不流动的化学品结晶，形成固体；化学品结晶的固体在换热器内部，不容易被发现，生产过程中，定期的更换化学品后，流体循环泵的启停，发生管道压力变化，不稳定的结晶会被新的化学品流体带到循环回路中，对于半导体晶圆生产是高风险的因素，因为颗粒状固体会对半导体晶圆表面造成微刮痕，降低晶圆的成品良率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种减少装配误差以及能够消除化学结晶的新型高腐蚀性化学品换热器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种新型高腐蚀性化学品换热器，包括本体，所述本体上设有进口和出口，所述本体内部设有若干分隔板，所述分隔板与分隔板之间、以及分隔板与本体之间形成一个导流通道，进口与出口分别位于导流通道的两端并且与导流通道相通，其中分隔板与本体为一体结构。
[0007]进一步的：所述分隔板平行于进口以及出口设置。
[0008]进一步的：所述分隔板的数量为多个，同时进口与出口位于本体的同侧。
[0009]进一步的：所述分隔板等距分布。
[0010]进一步的：所述分隔板的数量为三个。
[0011]进一步的：所述分隔板与本体连接的位置设有弧形倒角。
[0012]进一步的：所述分隔板上开设有槽体，其中相邻所述分隔板上的槽体相互远离。
[0013]进一步的：所述本体的两侧均设有圆周设置的多个安装孔。
[0014]进一步的：所述本体的两侧、靠近分隔板的位置均设有密封槽。
[0015]进一步的：所述密封槽内部安装有密封圈。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本装置将分隔板与本体设置成一体
结构，使得含聚四氟乙烯高分子化学材料换热器本体在使用过程中，消除了化学品流体的结晶，减少了颗粒状固体对晶圆产品表面的微刮痕，提高了半导体晶圆生产的良率。
附图说明
[0017]图1为传统换热器结构正视图。
[0018]图2为本技术实施例中提供的一种新型高腐蚀性化学品换热器整体结构正视图。
[0019]图3为本技术实施例中提供的一种新型高腐蚀性化学品换热器立体图。
[0020]图中：1
‑
本体、2
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分隔板、3
‑
导流通道、4
‑
嵌入点、5
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倒角、6
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密封槽、7
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安装孔、8
‑
槽体、9
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进口、10
‑
出口。
具体实施方式
[0021]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0022]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0023]现有技术状况说明：
[0024]在化学品流体换热器使用中，考虑化学品的高腐蚀性，常用为含聚四氟乙烯高分子化学材料（PTFE）材料的整体立方体上加工出一定间距的进口9和出口10，在块状材料的中心部分加工出和板厚同样深度的圆形，在进口9和出口10上焊接聚四氟乙烯（PFA）管道，在与管道平行的方向，圆的直径等分点，加工出嵌入点4。
[0025]如图1所示，多个分隔板2由同样材质的板材加工，板上也加工有孔或槽，平行放置到对应的嵌入点4上，将（含聚四氟乙烯高分子化学材料）PTFE本体1空间分割形成流体流道，流向见箭头，但是这种拼装式的结构具有一定的缺陷：
[0026]1.现有含聚四氟乙烯高分子化学材料（PTFE）本体1需要由不同厚度的材料加工后，通过拼装组合到一起，两者的加工精度和公差会造成存在装配间隙；
[0027]2.实际使用过程中，由于不同化学品的温度特性不同，某些化学品流体在进入图1上红圈所示的嵌入点4后（嵌入点4为锐角），不再进行流动；对流体温度控制，发生了升温和降温的过程，导致不流动的化学品结晶，形成固体；
[0028]3.化学品结晶的固体在换热器内部，不容易被发现，生产过程中，定期的更换化学品后，流体循环泵的启停，发生管道压力变化，不稳定的结晶会被新的化学品流体带到循环回路中，对于半导体晶圆生产是高风险的因素，因为颗粒状固体会对半导体晶圆表面造成微刮痕，降低晶圆的成品良率。
[0029]针对现有技术，本技术的改进点如下：
[0030]在一个实施例中，请参阅图2
‑
图3，一种新型高腐蚀性化学品换热器，包括本体1，所述本体1上设有进口9和出口10，所述本体1内部设有若干分隔板2，所述分隔板2平行于进口9以及出口10设置，分隔板2的数量为多个且等距分布，分隔板2的数量优选为3个，同时进口9与出口10位于本体1的同侧，所述分隔板2上开设有槽体8，其中相邻所述分隔板2上的槽体8相互远离，所述分隔板2与分隔板2之间、以及分隔板2与本体1之间形成一个导流通道3，
进口9与出口10分别位于导流通道3的两端并且与导流通道3相通，其中分隔板2与本体1为一体结构。
[0031]本技术将分隔板2与本体1设计换成一体结构，能够减少含聚四氟乙烯高分子化学材料（PTFE）换热本体1的装配误差，使组合用的含聚四氟乙烯高分子化学材料（PTFE）腔体一体化加工出来；同时增加了化学品在换热器内部的流动性，消除化学品结晶的现象；并且还能够减少因颗粒状固体对半导体晶圆表面造成微刮痕，提高晶圆的成品良率。
[0032]在另一个实施例中，请参阅图2
‑
图3，所述分隔板2与本体1连接的位置设有弧形倒角5。
[0033]在本实施例中，在分隔板2与本体1连接的位置直接加工出弧形倒角5，能够避免装配间隙的产生，增加了化学品流体的流动性，在温度控制过程中，减少了化学品结晶的产生。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型高腐蚀性化学品换热器，包括本体；其特征在于，所述本体上设有进口和出口，所述本体内部设有若干分隔板，所述分隔板与分隔板之间、以及分隔板与本体之间形成一个导流通道，进口与出口分别位于导流通道的两端并且与导流通道相通，其中分隔板与本体为一体结构。2.根据权利要求1所述的一种新型高腐蚀性化学品换热器，其特征在于，所述分隔板平行于进口以及出口设置。3.根据权利要求1所述的一种新型高腐蚀性化学品换热器，其特征在于，所述分隔板的数量为多个，同时进口与出口位于本体的同侧。4.根据权利要求3所述的一种新型高腐蚀性化学品换热器，其特征在于，所述分隔板等距分布。5.根据权利要求3所述的一种新型高腐蚀性化学品换热器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：董锐，张海峰，
申请(专利权)人：上海矽皓精密设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：