一种X射线探测器及其封装方法技术

本发明专利技术实施例提供了一种X射线探测器及其封装方法，其中，X射线探测器封装方法包括：在X射线吸收转化层的第一电极上引出第一导线，接着，在导电玻璃基板上涂覆可固化的导电液，并将X射线吸收转化层的第二电极与导电液接触，最后，从导电液上引出第二导线，并将预先配置的封装胶液覆盖在X射线吸收转化层上。由于封装胶液能够隔绝空气中的水蒸汽，并且只需第一导线以及第二导线从封装胶液中暴露出，就能够使得X射线吸收转化层不会接触水汽而发生潮解，相较于蒸镀存在蒸镀时长以及镀膜厚度要求，封装胶液更节约封装时间，因而能够有效提高X射线探测器的封装效率。高X射线探测器的封装效率。高X射线探测器的封装效率。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线探测器及其封装方法


[0001]本专利技术涉及半导体封装
，尤其涉及一种X射线探测器及其封装方法。

技术介绍

[0002]X射线探测技术在医疗诊断、海关安检、无损探伤、国防军事等各个领域的作用日益突出，正快速发展。其中，铯铅溴(CsPbBr3)单晶作为一种具有较大应用潜力的室温X射线探测器用材料，具有成本低廉、材料特性好、光电响应特性好等优势。
[0003]然而，Cs
‑
Pb
‑
Br体系存在多个物相，不同物相可在H2O的作用下相互转换。例如，CsPbBr3遇水会分相形成CsBr和CsPb2Br5相，引入的杂相污染会导致单晶性能劣化，影响器件的探测效果和稳定性。
[0004]当前的隔水封装需要在单晶表面交替蒸镀Si3N4/SiO2薄膜，对蒸镀设备、蒸镀工艺都有较高要求。并且，CsPbBr3单晶X射线探测器中X射线吸收转化层的厚度在1～2mm，为保证对CsPbBr3单晶X射线探测器实现较好的封装效果，对Si3N4/SiO2薄膜厚度也有一定需求，使得蒸镀时间较长，封装效率低。

技术实现思路

[0005]本专利技术实施例通过提供一种X射线探测器及其封装方法，解决了现有X射线探测器隔水封装效率低以及成本高的技术问题。
[0006]第一方面，本专利技术通过本专利技术的一实施例，提供了一种X射线探测器封装方法，所述X射线探测器包括X射线吸收转化层，所述方法包括：在所述X射线吸收转化层的第一电极上引出第一导线；在导电玻璃基板上涂覆可固化的导电液，并将所述X射线吸收转化层的第二电极与所述导电液接触；从所述导电液上引出第二导线，并将预先配置的封装胶液覆盖在所述X射线吸收转化层上，使所述第一导线以及所述第二导线均从所述封装胶液中暴露出。
[0007]可选的，所述在所述X射线吸收转化层的第一电极上引出第一导线，包括：在所述第一电极上涂覆所述导电液，并在所述导电液固化前将导线与所述第一电极接触；待所述导电液固化后，所述第一电极上引出有所述第一导线。
[0008]可选的，所述从所述导电液上引出第二导线，包括：将导线与固化前的导电液接触；待所述导电液固化后，固化后的导电液上引出有所述第二导线。
[0009]可选的，在所述将预先配置的封装胶液覆盖在所述X射线吸收转化层上之前，所述方法还包括：基于预设质量分数比例将疏水材料与固化胶混合，以配置得到所述封装胶液。
[0010]可选的，在所述配置得到封装胶液之后，所述方法还包括：对所述封装胶液抽真空，以除去所述封装胶液中的气体。
[0011]可选的，在所述将预先配置的封装胶液覆盖在所述X射线吸收转化层上之后，所述方法还包括：根据预设加热温度范围对所述封装胶液进行加热处理。
[0012]第二方面，本专利技术通过本专利技术的一实施例，提供了一种X射线探测器，包括：
[0013]X射线吸收转化层，设置有第一电极以及第二电极，所述X射线吸收转化层用于将吸收的X射线转换为电信号；
[0014]第一导线，所述第一导线的一端与所述第一电极电性连接，用于导通所述第一电极；
[0015]导电玻璃基板，与所述第二电极电性连接，所述导电玻璃基板用于导通所述第二电极；
[0016]第二导线，所述第二导线的一端与所述导电玻璃基板电性连接，用于导通所述导电玻璃基板；
[0017]封装胶液，覆盖在所述X射线吸收转化层上，且暴露有所述第一导线的另一端以及所述第二导线的另一端。
[0018]作为一种可选的实施方式，在所述第一导线与所述第一电极连接区域固化有导电液；在所述X射线吸收转化层与所述导电玻璃基板连接区域固化有所述导电液。
[0019]作为一种可选的实施方式，所述X射线吸收转化层的材质为铯铅溴单晶；所述X射线吸收转化层的厚度为1～2mm。
[0020]作为一种可选的实施方式，所述封装胶液由聚二甲基硅氧烷以及固化胶配置得到；所述聚二甲基硅氧烷与所述固化胶的质量分数比例为10。
[0021]本专利技术实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
[0022]首先在X射线吸收转化层的第一电极上引出第一导线，接着，在导电玻璃基板上涂覆可固化的导电液，并将X射线吸收转化层的第二电极与导电液接触，最后，从导电液上引出第二导线，并将预先配置的封装胶液覆盖在X射线吸收转化层上。由于封装胶液能够隔绝空气中的水蒸汽，并且只需第一导线以及第二导线从封装胶液中暴露出，就能够使得X射线吸收转化层不会接触水汽而发生潮解，相较于蒸镀存在蒸镀时长以及镀膜厚度要求，封装胶液更节约封装时间，因而能够有效提高X射线探测器的封装效率。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本专利技术实施例中X射线探测器封装方法的流程图；
[0025]图2为本专利技术实施例中X射线探测器的结构示意图。
具体实施方式
[0026]本专利技术实施例通过提供一种X射线探测器及其封装方法，解决了现有X射线探测器隔水封装效率低以及成本高的技术问题。
[0027]本专利技术实施例提供的技术方案为解决上述技术问题，总体思路如下：
[0028]首先在X射线吸收转化层的第一电极上引出第一导线，接着，在导电玻璃基板上涂覆可固化的导电液，并将X射线吸收转化层的第二电极与导电液接触，最后，从导电液上引出第二导线，并将预先配置的封装胶液覆盖在X射线吸收转化层上，只需将第一导线以及第
二导线从封装胶液中暴露出即可。
[0029]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
[0030]首先说明，本文中出现的术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0031]需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例，能够按照除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
[0032]第一方面，本专利技术通过本专利技术的一实施例，提供了一种X射线探测器封装方法，X射线探测器包括X射线吸收转化层。具体的，由于卤化物钙钛矿材料具有材料特性好、光电响应特性好以及原料丰富等优势，因而X射线吸收转化层可以由卤化物钙钛矿材料制备得到。在一些实施方式中，可以使用铯铅溴(CsPbBr3)单晶来制备X射线吸收转化层。
[0033]请参见如图1所示，上述X射线探测器封装方法可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线探测器封装方法，其特征在于，所述X射线探测器包括X射线吸收转化层，所述方法包括：在所述X射线吸收转化层的第一电极上引出第一导线；在导电玻璃基板上涂覆可固化的导电液，并将所述X射线吸收转化层的第二电极与所述导电液接触；从所述导电液上引出第二导线，并将预先配置的封装胶液覆盖在所述X射线吸收转化层上，使所述第一导线以及所述第二导线均从所述封装胶液中暴露出。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述X射线吸收转化层的第一电极上引出第一导线，包括：在所述第一电极上涂覆所述导电液，并在所述导电液固化前将导线与所述第一电极接触；待所述导电液固化后，所述第一电极上引出有所述第一导线。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述从所述导电液上引出第二导线，包括：将导线与固化前的导电液接触；待所述导电液固化后，固化后的导电液上引出有所述第二导线。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述将预先配置的封装胶液覆盖在所述X射线吸收转化层上之前，还包括：基于预设质量分数比例将疏水材料与固化胶混合，以配置得到所述封装胶液。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述配置得到封装胶液之后，还包括：对所述封装胶液抽真空，以除去所述封装胶液中的气体。6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐江，牛广达，阮映枫，逄锦聪，梁允萌，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：