一种特气源液蒸汽补给系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种特气源液蒸汽补给系统，该特气源液蒸汽补给系统包括保护气源、加热箱体和检测装置，加热箱体用于容纳且加热特气源液瓶，特气源液瓶的进口与保护气源相连，出口与特气使用设备相连，检测装置包括压力检测器和气体浓度检测器，压力检测器和气体浓度检测器设在特气源液瓶的出口与特气使用设备之间。该特气源液蒸汽补给系统的压力检测器能够检测特气源液蒸汽的供给压力，气体浓度检测器能够检测特气源液蒸汽的浓度，由此可以根据压力检测器和气体浓度检测器的测试结果，调整加热箱体的温度以及保护气源的输出压力，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态，从而有利于提升设备的制造良率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种特气源液蒸汽补给系统


[0001]本技术涉及特种气体供给设备
，尤其涉及一种特气源液蒸汽补给系统。

技术介绍

[0002]特种气体广泛应用于半导体、微电子、液晶面板、太阳能电池等高科技行业。行业使用的薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗等工艺设备均广泛利用特气作为工艺原料来生产产品，使得特种气体的需求高增。对特种气体的需求极大导致特种气体占据整个产品生产成本的45％以上。如何合理高效的使用特种气体，成为各类工艺设备首要解决的问题。如何保障工艺设备特气补给的均匀性，提高特气利用率，使单位体积的特种气体产出更多的合格产品成为关键。解决这些问题的根本在于特种气体补给系统的合理设计。特种气体包括两种，一种是温度高于临界温度的气态物质，另一种是温度低于临界温度的汽态物质，现有特气补给系统功能简单，存在特气供给压力不均匀，特气源液挥发量难以把控的缺陷。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种特气源液蒸汽补给系统，该特气源液蒸汽补给系统能够及时调整特气源液蒸汽的供给压力和特气源液挥发量，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态，实现工艺气体的稳定精准补给控制，从而有利于提升设备的制造良率。
[0004]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0005]本技术公开了一种特气源液蒸汽补给系统，包括保护气源；加热箱体，所述加热箱体用于容纳且加热特气源液瓶，所述特气源液瓶用于承载特气源液，所述特气源液瓶的进口与所述保护气源相连，出口与特气使用设备相连；检测装置，所述检测装置包括压力检测器和气体浓度检测器，所述压力检测器和所述气体浓度检测器设在所述特气源液瓶的出口与所述特气使用设备之间。
[0006]在一些实施例中，所述保护气源与所述特气源液瓶之间还设有调压阀，所述调压阀用于调整输向所述特气源液瓶的保护气的压力。
[0007]在一些具体的实施例中，所述调压阀与所述特气源液瓶之间还设有纯化器，所述纯化器用于对输向所述特气源液瓶的保护气过滤提纯。
[0008]在一些更具体的实施例中，所述纯化器和所述特气源液瓶之间设有用于检测气体流量的第一流量计。
[0009]在一些实施例中，所述检测装置和所述特气使用设备之间设有第二流量计和第一控制阀。
[0010]在一些具体的实施例中，所述特气源液蒸汽补给系统还包括与所述第二流量计并列设置的超量特气补给管路，所述超量特气补给管路的两端分别与所述特气使用设备及所述检测装置相连，且所述超量特气补给管路上设有第二控制阀。
[0011]在一些实施例中，所述特气源液蒸汽补给系统还包括废气处理装置和吹扫管路，所述吹扫管路的一端与所述废气处理装置相连，另一端与所述保护气源相连。
[0012]在一些实施例中，所述特气源液蒸汽补给系统还包括保护气供气管路，所述保护气供气管路的一端与所述保护气源相连，另一端与所述特气使用设备相连。
[0013]在一些具体的实施例中，所述保护气供气管路上设有第三流量计和第三控制阀。
[0014]在一些具体的实施例中，所述加热箱体内设有用于检测所述特气源液瓶重量的称重装置。
[0015]本实施例的特气源液蒸汽补给系统的有益效果，在实际工作过程中，压力检测器能够检测特气源液蒸汽的供给压力，气体浓度检测器能够检测特气源液蒸汽的浓度，由此可以根据压力检测器和气体浓度检测器的测试结果，调整加热箱体的温度以及保护气源的输出压力，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态，实现工艺气体的稳定精准补给控制，从而有利于提升设备的制造良率。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例的特气源液蒸汽补给系统的结构简图。
[0018]附图标记：
[0019]1、气源；2、加热箱体；3、特气源液瓶；4、压力检测器；5、气体浓度检测器；6、调压阀；7、纯化器；8、第一流量计；9、第二流量计；10、第一控制阀；11、超量特气补给管路；12、第二控制阀；13、保护气供气管路；14、第三流量计；15、第三控制阀；16、废气处理装置；17、第一吹扫管；18、第一吹扫阀；19、第二吹扫管；20、第二吹扫阀；21、第三吹扫管；22、第三吹扫阀；23、第四吹扫管；24、第四吹扫阀；25、特气使用设备。
具体实施方式
[0020]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0021]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，
可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]下面参考图1描述本技术实施例的特气源液蒸汽补给系统的具体结构。
[0025]本技术公开了一种特气源液蒸汽补给系统，如图1所示，该特气源液蒸汽补给系统包括保护气源1、加热箱体2和检测装置，加热箱体2用于容纳且加热特气源液瓶3，特气源液瓶3用于承载特气源液，特气源液瓶3的进口与保护气源1相连，出口与特气使用设备25相连，检测装置包括压力检测器4和气体浓度检测器5，压力检测器4和气体浓度检测器5设在特气源液瓶3的出口与特气使用设备25之间。
[0026]可以理解的是，在实际工作过程中，由于加热箱体2能够加热特气源液瓶3，被加热的特气源液能够稳定地挥发，与此同时，保护气(可以为惰性气体或者其他不与特气反应并且不与特气使用设备25的产品反应的气体)在保护气源1输出下进入特气源液瓶3，使得特气源液瓶3内出现鼓泡，鼓泡有利于特气源液挥发，并且保护气的压力越大，越有利于鼓泡的现象。挥发产生的特气源液蒸汽在保护气带动下依次经过压力检测器4和气体浓度检测器5，压力检测器4能够检测特气源液蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，包括保护气源(1)；加热箱体(2)，所述加热箱体(2)用于容纳且加热特气源液瓶(3)，所述特气源液瓶(3)用于承载特气源液，所述特气源液瓶(3)的进口与所述保护气源(1)相连，出口与特气使用设备(25)相连；检测装置，所述检测装置包括压力检测器(4)和气体浓度检测器(5)，所述压力检测器(4)和所述气体浓度检测器(5)设在所述特气源液瓶(3)的出口与所述特气使用设备(25)之间。2.根据权利要求1所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述保护气源(1)与所述特气源液瓶(3)之间还设有调压阀(6)，所述调压阀(6)用于调整输向所述特气源液瓶(3)的保护气的压力。3.根据权利要求2所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述调压阀(6)与所述特气源液瓶(3)之间还设有纯化器(7)，所述纯化器(7)用于对输向所述特气源液瓶(3)的保护气过滤提纯。4.根据权利要求3所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述纯化器(7)和所述特气源液瓶(3)之间设有用于检测气体流量的第一流量计(8)。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述检测装置和所述特气使用设备(25)之间设有第二流量计(9)和第一控...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭路斌，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：