一种反应器及废气处理设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种反应器及废气处理设备，涉及气体净化设备技术领域。反应器包括反应腔体和冷却层。反应腔体用于处理废气，第一冷却层包括第一导流件和第一外壳，第一外壳间隔地套设于反应腔体外，第一导流件设置于第一外壳和反应腔体之间，并与第一外壳和反应腔体共同形成第一导流通道，第一外壳设置有第一进气口和第一出气口，通过第一进气口持续向第一导流通道内通入高压的冷却气体，使得冷却气体与反应腔体的外壁充分接触并带走反应腔体外壁的热量，达到了反应腔体外显著的冷却降温的效果。另外，冷却气体不会腐蚀反应腔体，降低了反应器的维护成本，延长了使用寿命。延长了使用寿命。延长了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种反应器及废气处理设备


[0001]本技术涉及气体净化设备
，具体而言，涉及一种反应器及废气处理设备。

技术介绍

[0002]在一些设备或材料(例如半导体)制造的过程中会产生一些对人类及环境有害的气体，这些气体需要通过处理设备使其变成无害气体排放到大气环境中。现有的处理有害气体的设备通过在反应腔中燃烧加热，以使高温的废气加热分解。在加热处理废气的过程中，由于反应腔内部的高温使得反应腔外壁也处于高温状态，会对于整个设备以及维护人员造成威胁甚至伤害。
[0003]现有的处理设备通常在反应腔的外部设置一层水冷壁，通过冷却水带走反应腔的热量。然而在实际使用过程中，冷却水会腐蚀反应腔的外壁，不仅会降低设备的寿命，也会提高维护以及运行成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种反应器及废气处理设备，其能够有效地对反应腔进行降温散热。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术实施例提供一种反应器，包括反应腔体和第一冷却层；
[0007]所述反应腔体用于处理废气；
[0008]所述第一冷却层包括第一导流件和第一外壳，所述第一外壳间隔地套设于所述反应腔体外，所述第一导流件设置于所述第一外壳和所述反应腔体之间，并与所述第一外壳和所述反应腔体共同形成第一导流通道，其中，所述第一导流件的两侧边均与所述第一外壳和所述反应腔体抵接；
[0009]所述第一导流通道设置有第一进气口和第一出气口，所述第一进气口用于向所述第一导流通道通入冷却气体，所述第一出气口用于排出所述冷却气体。
[0010]在上述实施例中，通过向第一导流通道内通入冷却气体，使得冷却气体与反应腔体的外壁充分接触并带走反应腔体外壁的热量，达到了反应腔体外显著的冷却降温的效果。另外，冷却气体不会腐蚀反应腔体，降低了反应器的维护成本，延长了使用寿命。
[0011]在可选的实施方式中，所述第一导流件绕设在所述反应腔体的外壁，所述第一导流件呈螺旋状，以使所述第一导流通道呈螺旋状。
[0012]通过将呈螺旋状的第一导流件绕设在反应腔体的外壁，以使冷却气体沿第一导流件形成的呈螺旋状的第一导流通道螺旋流动，在此过程中，冷却气体充分地与反应腔体的外壁接触，有效地带走传递至反应腔体外壁的热量，提高了冷却效果。
[0013]在可选的实施方式中，所述第一进气口靠近所述反应腔体的顶部，所述第一出气口靠近所述反应腔体的底部；
[0014]或，所述第一进气口靠近所述反应腔体的底部，所述第一出气口靠近所述反应腔体的顶部。
[0015]在上述实施例中，冷却气体通过第一外壳顶部的第一进气口通入第一导流通道，并在第一导流通道内沿第一导流通道从上往下流动，再通过第一外壳底部的第一出气口排出，冷却效果好；或冷却气体通过第一外壳底部的第一进气口通入第一导流通道，并在第一导流通道内沿第一导流通道从下往上流动，再通过第一外壳顶部的第一出气口排出，从而保证冷却效果好。
[0016]在可选的实施方式中，所述第一进气口和所述第一出气口分别位于所述第一外壳的弧形面的周向两侧。
[0017]在上述实施例中，冷却气体从反应腔体的一侧的第一进气口进入第一导流通道并沿第一导流通道流动，并从反应腔体相对的另一侧的第一出气口排出，冷却效果好。
[0018]在可选的实施方式中，所述冷却层的数量包括至少两个，所述反应器还包括至少一个第二冷却层，至少一个所述第二冷却层依次套设于所述第一冷却层外；
[0019]所述第二冷却层包括第二导流件和第二外壳，所述第二导流件和所述第二外壳与相邻的所述第一外壳或所述第二外壳形成第二导流通道。
[0020]在上述实施例中，通过设置至少两个冷却层，即设置一个第一冷却层以及设置在第一冷却层外的至少一个第二冷却层，以进一步提高对反应腔体的冷却效果以及安全性能。
[0021]在可选的实施方式中，位于最外侧的所述第二外壳设置有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一进气口以及至少一个所述第二导流通道均连通，所述第二出气口与所述第一出气口以及至少一个所述第二导流通道均连通；
[0022]或，所述第二外壳设置有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与对应的所述第二导流通道连通，所述第二出气口与对应的所述第二导流通道连通。
[0023]在上述实施例中，通过第二进气口同时对第一导流通道和至少一个第二导流通道通入冷却气体，并共同从第二出气口排出，以使第一冷却层和至少一个第二冷却层内气体冷却反应腔且能隔热，外壁温度进一步降低，结构简单，易于制造。
[0024]或，在每一个第二外壳上均设置第二进气口，从而通过与第二外壳数量相同的第二进气口向对应的第二导流通道通入冷却气体，且通过第一进气口向第一导流通道通入冷却气体，以分别对第一导流通道和至少一个第二导流通道通入冷却气体，同理第一出气口和第二出气口分别排出第一导流通道和对应的第二导流通道内的冷却气体，从而使得冷却气体流通效率高，散热效果好。
[0025]在可选的实施方式中，所述第一导流件和所述第二导流件均呈螺旋状，所述第一导流件和至少一个所述第二导流件的绕设轨迹相同或交错。
[0026]在上述实施例中，至少两个冷却层内的第一导流件和至少一个第二导流件的绕设轨迹相同或交错，绕设轨迹相同时便于批量制造，成本低。绕设轨迹交错时，以使冷却气体沿对应的第一导流通道或第二导流通道内以交错方向螺旋流动，确保至少两个冷却层的冷却效果好。
[0027]在可选的实施方式中，所述反应腔体包括隔热层，所述第一导流件设置于所述隔热层和所述外壳之间。
[0028]在上述实施例中，通过设置隔热层，以减少反应腔体内的热量向外部传导，避免浪费能源，也避免导致外部温度过高损坏设备甚至带来安全隐患。
[0029]在可选的实施方式中，所述反应腔体还包括耐火层，所述隔热层设置于所述耐火层外。
[0030]在上述实施例中，通过设置耐火层可保护反应腔体，避免其因高温而破坏。
[0031]第二方面，本技术实施例提供一种废气处理设备，包括如前述实施方式任一项所述的反应器。
[0032]本技术实施例提供的反应器及废气处理设备的有益效果包括：通过第一进气口向第一导流通道内通入冷却气体，使得冷却气体与反应腔体的外壁充分接触并带走反应腔体外壁的热量，达到了对反应腔体的外壁良好的冷却降温效果。另外，冷却气体不会腐蚀反应腔体，降低了反应器的维护成本，延长了使用寿命。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0034]图1为本技术实施例提供的反应器第一视角结构示意图；
[0035]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反应器，其特征在于，包括反应腔体(100)和第一冷却层(200)；所述反应腔体(100)用于处理废气；所述第一冷却层(200)包括第一导流件(210)和第一外壳(220)，所述第一外壳(220)间隔地套设于所述反应腔体(100)外，所述第一导流件(210)设置于所述第一外壳(220)和所述反应腔体(100)之间，并与所述第一外壳(220)和所述反应腔体(100)共同形成第一导流通道(230)，其中，所述第一导流件(210)的两侧边分别与所述第一外壳(220)和所述反应腔体(100)抵接；所述第一外壳(220)设置有第一进气口(240)和第一出气口(250)，所述第一进气口(240)用于向所述第一导流通道(230)通入冷却气体，所述第一出气口(250)用于排出所述冷却气体。2.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于，所述第一导流件(210)绕设在所述反应腔体(100)的外壁，所述第一导流件(210)呈螺旋状，以使所述第一导流通道(230)呈螺旋状。3.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于，所述第一进气口(240)靠近所述反应腔体(100)的顶部，所述第一出气口(250)靠近所述反应腔体(100)的底部；或，所述第一进气口(240)靠近所述反应腔体(100)的底部，所述第一出气口(250)靠近所述反应腔体(100)的顶部。4.根据权利要求3所述的反应器，其特征在于，所述第一进气口(240)和所述第一出气口(250)分别位于所述第一外壳(220...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，丁宇，余欢，荀本舟，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：