一种半导体生产加工用测试工装制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体生产加工用测试工装，涉及半导体技术领域。本发明专利技术包括检测箱，检测箱的一端设置有观察板，检测箱底部两侧的两端均设置有横向旋转轴，同一侧的两个横向旋转轴之间通过履带进行连接；检测箱内部的两侧均设置有横向移动柱，横向移动柱的底部设置有检测端口。本发明专利技术通过位移机构以及旋转机构的设置，使得圆形旋转盘能够得到三轴以及旋转，便于半导体的检测时的位置，且能够对不同尺寸的半导体进行固定，适用性更好，通过横向旋转轴、第一驱动电机以及调节机构的设置，使得半导体能够移动至检测箱的内部，且使得两个横向移动柱之间的间距能够调节，便于横向移动柱底部的检测端口能够对半导体进行检测。部的检测端口能够对半导体进行检测。部的检测端口能够对半导体进行检测。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产加工用测试工装


[0001]本专利技术属于半导体
，特别是涉及一种半导体生产加工用测试工装。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
[0003]在半导体生产过程中，最后需要对其进行测试工序，以确保半导体的出厂使用，在测试过程中，其上下料均需要人工操作，才能完成整个操作，操作繁琐，使用专用的工装对半导体产品进行固定，但通常在固定半导体产品时，不能够很好的对不同的半导体进行固定，进而降低了本装置的适用性。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种半导体生产加工用测试工装，以解决现有的问题：在测试过程中，其上下料均需要人工操作，才能完成整个操作，操作繁琐，使用专用的工装对半导体产品进行固定，但通常在固定半导体产品时，不能够很好的对不同的半导体进行固定，进而降低了本装置的适用性。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种半导体生产加工用测试工装，包括检测箱，所述检测箱的一端设置有观察板，所述检测箱底部两侧的两端均设置有横向旋转轴，同一侧的两个所述横向旋转轴之间通过履带进行连接；
[0006]所述检测箱内部的两侧均设置有横向移动柱，所述横向移动柱的底部设置有检测端口，所述检测箱的内部还设置有用于两个横向移动柱间隙调节的调节机构；
[0007]所述检测箱内部的底部还设置有弧型固定箱，所述弧型固定箱的内部转动连接有圆形旋转盘，所述弧型固定箱的内部设置有用于圆形旋转盘旋转的旋转机构；
[0008]所述弧型固定箱的底部设置有用于弧型固定箱三轴移动的位移机构；
[0009]所述检测箱内部的顶端设置有观测相机。
[0010]进一步地，同一端的两个所述横向旋转轴的外侧均通过轴承转动连接有L型连接板，所述L型连接板与检测箱固定连接；
[0011]所述检测箱的一侧螺栓固定有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定有横向旋转杆，所述横向旋转杆与检测箱内部的两个横向旋转轴固定连接。
[0012]进一步地，所述调节机构包括第二驱动电机，所述检测箱的一侧且位于第一驱动电机的顶部还螺栓固定有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端固定有第一横向螺纹杆，所述第一横向螺纹杆远离第二驱动电机的一端固定有第二横向螺纹杆，所述第一横向
螺纹杆与第二横向螺纹杆的外侧均与横向移动柱螺纹连接。
[0013]进一步地，所述第一横向螺纹杆与第二横向螺纹杆的螺纹旋向相反，所述横向移动柱与检测箱为滑动连接。
[0014]进一步地，所述位移机构包括第一气压缸，所述第一气压缸的一端固定于检测箱的内部，所述第一气压缸的输出端固定有矩形移动柱，所述矩形移动柱与检测箱为滑动连接，所述矩形移动柱的一侧固定有第二气压缸，所述第二气压缸的输出端固定有弧形固定块，所述弧形固定块的顶部固定有U型架；
[0015]所述U型架的一端螺栓固定有第三驱动电机，所述第三驱动电机的输出端固定有第一纵向螺纹杆，所述第一纵向螺纹杆远离第三驱动电机的一端固定有第二纵向螺纹杆，所述第一纵向螺纹杆与第二纵向螺纹杆的外侧螺纹连接有矩形移动块，所述矩形移动块的顶部转动连接有矩形传动杆，所述矩形传动杆的顶部与弧型固定箱转动连接。
[0016]进一步地，所述矩形移动柱的底部固定有燕尾滑块，所述检测箱的内部开设有与燕尾滑块适配的燕尾滑槽，所述检测箱与矩形移动柱之间通过燕尾滑块以及燕尾滑槽的配合滑动连接。
[0017]进一步地，所述U型架的内部还固定有横向光杆，所述横向光杆贯穿矩形移动块的内部且与矩形移动块滑动连接；
[0018]所述矩形移动块与矩形传动杆以及矩形传动杆与弧型固定箱之间均通过销钉转动连接。
[0019]进一步地，所述旋转机构包括第四驱动电机，所述弧型固定箱的底部螺栓固定有第四驱动电机，所述弧型固定箱的内部还转动连接有竖向圆柱，所述第四驱动电机的输出端以及竖向圆柱的外侧均固定有传动齿轮，两个所述传动齿轮之间通过履带进行连接；
[0020]所述竖向圆柱的顶部与圆形旋转盘固定连接，所述圆形旋转盘的顶部设置有多个吸盘。
[0021]进一步地，所述第四驱动电机的输出端贯穿弧型固定箱的内部且与弧型固定箱通过轴承转动连接。
[0022]进一步地，所述弧型固定箱的内部开设有圆形孔，所述圆形旋转盘位于圆形孔的内部且与弧型固定箱通过轴承转动连接。
[0023]本专利技术具有以下有益效果：
[0024]1、本专利技术通过位移机构以及旋转机构的设置，使得圆形旋转盘能够得到三轴以及旋转，便于半导体的检测时的位置，且能够对不同尺寸的半导体进行固定，适用性更好。
[0025]2、本专利技术通过横向旋转轴、第一驱动电机以及调节机构的设置，使得半导体能够移动至检测箱的内部，且使得两个横向移动柱之间的间距能够调节，便于横向移动柱底部的检测端口能够对半导体进行检测。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本专利技术整体的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术检测箱内部的结构剖视图；
[0029]图3为本专利技术第一横向螺纹杆与第二横向螺纹杆的连接结构示意图；
[0030]图4为本专利技术矩形移动柱的结构示意图；
[0031]图5为本专利技术弧型固定箱内部的结构剖视图。
[0032]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0033]1、检测箱；2、观察板；3、横向旋转轴；4、L型连接板；5、第一驱动电机；6、横向旋转杆；7、第二驱动电机；8、第一横向螺纹杆；9、第二横向螺纹杆；10、观测相机；11、横向移动柱；12、第一气压缸；13、矩形移动柱；14、第二气压缸；15、弧形固定块；16、第三驱动电机；17、第一纵向螺纹杆；18、第二纵向螺纹杆；19、弧型固定箱；20、第四驱动电机；21、圆形旋转盘；22、吸盘；23、U型架；24、横向光杆；25、矩形移动块；26、矩形传动杆；27、传动齿轮；28、竖向圆柱。
具体实施方式
[0034]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产加工用测试工装，包括检测箱(1)，其特征在于，所述检测箱(1)的一端设置有观察板(2)，所述检测箱(1)底部两侧的两端均设置有横向旋转轴(3)，同一侧的两个所述横向旋转轴(3)之间通过履带进行连接；所述检测箱(1)内部的两侧均设置有横向移动柱(11)，所述横向移动柱(11)的底部设置有检测端口，所述检测箱(1)的内部还设置有用于两个横向移动柱(11)间隙调节的调节机构；所述检测箱(1)内部的底部还设置有弧型固定箱(19)，所述弧型固定箱(19)的内部转动连接有圆形旋转盘(21)，所述弧型固定箱(19)的内部设置有用于圆形旋转盘(21)旋转的旋转机构；所述弧型固定箱(19)的底部设置有用于弧型固定箱(19)三轴移动的位移机构；所述检测箱(1)内部的顶端设置有观测相机(10)。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装，其特征在于，同一端的两个所述横向旋转轴(3)的外侧均通过轴承转动连接有L型连接板(4)，所述L型连接板(4)与检测箱(1)固定连接；所述检测箱(1)的一侧螺栓固定有第一驱动电机(5)，所述第一驱动电机(5)的输出端固定有横向旋转杆(6)，所述横向旋转杆(6)与检测箱(1)内部的两个横向旋转轴(3)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装，其特征在于，所述调节机构包括第二驱动电机(7)，所述检测箱(1)的一侧且位于第一驱动电机(5)的顶部还螺栓固定有第二驱动电机(7)，所述第二驱动电机(7)的输出端固定有第一横向螺纹杆(8)，所述第一横向螺纹杆(8)远离第二驱动电机(7)的一端固定有第二横向螺纹杆(9)，所述第一横向螺纹杆(8)与第二横向螺纹杆(9)的外侧均与横向移动柱(11)螺纹连接。4.根据权利要求3所述的一种半导体生产加工用测试工装，其特征在于，所述第一横向螺纹杆(8)与第二横向螺纹杆(9)的螺纹旋向相反，所述横向移动柱(11)与检测箱(1)为滑动连接。5.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装，其特征在于，所述位移机构包括第一气压缸(12)，所述第一气压缸(12)的一端固定于检测箱(1)的内部，所述第一气压缸(12)的输出端固定有矩形移动柱(13)，所述矩形移动柱(13)与检测箱(1)为滑动连接，所述矩形移动柱(13)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔群，王毅，胡学同，李海琳，陆叶兴，
申请(专利权)人：泗洪红芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：