一种微机械力学性能测试仪制造技术

本发明专利技术公开了一种微机械力学性能测试仪，其结构包括底座、测试台、急停按钮、放置机构、下压机构，底座上表面与测试台下端相固定，并且测试台前端表面嵌有急停按钮，伸缩软管受到重力进行收缩，从而使得伸缩软管将吸盘内部的气体进行挤出，提高对微机械卡合固定的牢固性，连动板下端顺着滑动块在弹簧杆上往外侧进行弹性移动，从而使得受力板进行缓冲下降，接触机构在缓冲套管内部往下移动，通过弹簧对接触机构与缓冲套管内部起到缓冲下降的效果，避免接触机构与微机械接触瞬间产生较大的压力，磁块对微机械的上端进行磁性吸附，提高压力板对微机械上端的磁性吸附效果，从而防止在压力测试过程中，微机械从压力板下端飞出。微机械从压力板下端飞出。微机械从压力板下端飞出。

【技术实现步骤摘要】
一种微机械力学性能测试仪


[0001]本专利技术涉及微机械力学领域，更具体地说，尤其是涉及到一种微机械力学性能测试仪。

技术介绍

[0002]微机械是指利用半导体技术设计和制造微米领域的三维力学系统，以及微米尺度的力学元件的技术，微机械设备生产后需要对其压力进行测试，使用到微机械力学性能测试仪，对尺寸非常小的微机械进行压力测试，但是由于测试仪在对尺寸非常小的微机械进行压力测试的过程中，微机械的表面较小，测试仪难以对微机械进行有效的卡合固定，导致压板在对微机械进行下压的过程中，微机械容易在压板施加压力条件下发生翘起，压板持续的往下施加压力，导致微机械从压板的下方飞出，从而降低对微机械有效的进行压力测试的效果。

技术实现思路

[0003]本专利技术实现技术目的所采用的技术方案是：该一种微机械力学性能测试仪，其结构包括底座、测试台、急停按钮、放置机构、下压机构，所述底座上表面与测试台下端相固定，并且测试台前端表面嵌有急停按钮，所述放置机构安装在底座上端面，并且放置机构位于下压机构正下方，所述下压机构设在测试台前端底部，所述放置机构包括卡合机构、底座槽、连动板、滑动块、弹簧杆，所述卡合机构安装在底座槽顶部，并且底座槽安装在底座上端面，所述底座槽内部设有连动板，所述连动板上端与卡合机构内部中端相铰接，并且连动板下端与滑动块内部相铰接，所述弹簧杆采用间隙配合贯穿于滑动块内部，所述弹簧杆固定安装在底座槽内部，所述卡合机构位于下压机构正下方。
[0004]作为本专利技术的进一步改进，所述卡合机构包括限位盘、伸缩杆、卡合片、吸附机构，所述限位盘安装在底座槽顶部，并且限位盘内壁与伸缩杆外侧端相焊接，所述伸缩杆内侧端设有卡合片，所述限位盘内部中端设有吸附机构，并且吸附机构底部中端与连动板上端相铰接，所述吸附机构位于下压机构正下方，所述伸缩杆和卡合片均设有四个，并且呈环型分布在限位盘内壁四个方位上。
[0005]作为本专利技术的进一步改进，所述吸附机构包括受力板、吸盘、伸缩软管、排气机构，所述受力板采用间隙配合安装在限位盘内部中端，并且受力板底部中端与连动板上端相铰接，所述吸盘设在受力板上端面，所述吸盘下端与伸缩软管上端相贯通，所述伸缩软管下端设有排气机构，所述受力板位于下压机构正下方，所述伸缩软管呈褶皱型结构，并且采用橡胶材质，具有一定的回弹性。
[0006]作为本专利技术的进一步改进，所述排气机构包括排气管、固定块、扭力轴、开闭片、通孔，所述排气管设在伸缩软管下端，并且排气管内壁设有固定块，所述固定块通过扭力轴与开闭片外侧端相铰接，所述开闭片位于排气管内部，并且开闭片内部贯穿有通孔，所述固定块、扭力轴和开闭片均设有两个，并且呈左右对称安装。
[0007]作为本专利技术的进一步改进，所述下压机构包括下降杆、压力杆、缓冲套管、弹簧、接触机构，所述下降杆内部设有压力杆，并且压力杆下端与接触机构内部相固定，所述、缓冲套管上端固定安装在下降杆底部，并且缓冲套管下端内部通过弹簧与接触机构上端外侧相固定，所述接触机构位于受力板正上方，所述弹簧共设有四个，分别设在缓冲套管内侧下端与接触机构外侧上端连接间隙处的四个方位上。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，所述接触机构包括压力板、磁块、排气孔、连接板、导向杆，所述压力板下端内部嵌有排气孔，并且磁块位于排气孔内部，所述磁块外侧设有连接板，所述导向杆采用间隙配合贯穿于连接板外侧端内部，并且导向杆固定安装在压力板内部，所述磁块共设有五个，一个设在压力板的中心点上，其他四个呈环型分布在压力板四个方位上。
[0009]本专利技术的有益效果在于：1.微机械自身的重量对受力板上端的吸盘进行下压，这时伸缩软管受到重力进行收缩，从而使得伸缩软管将吸盘内部的气体进行挤出，提高对微机械卡合固定的牢固性，进行压力测试，通过连动板的连动，连动板下端顺着滑动块在弹簧杆上往外侧进行弹性移动，从而使得受力板进行缓冲下降，防止微机械从下压机构下方飞出，提高对微机械进行压力测试的效果。
[0010]2.通过压力杆继续往下推动接触机构往下移动，这时接触机构在缓冲套管内部往下移动，通过弹簧对接触机构与缓冲套管内部起到缓冲下降的效果，避免接触机构与微机械接触瞬间产生较大的压力，防止微机械直接从接触机构下方飞出，磁块对微机械的上端进行磁性吸附，提高压力板对微机械上端的磁性吸附效果，从而防止在压力测试过程中，微机械从压力板下端飞出。
附图说明
[0011]图1为本专利技术一种微机械力学性能测试仪的结构示意图。
[0012]图2为本专利技术一种放置机构的内部结构示意图。
[0013]图3为本专利技术一种卡合机构的俯视结构示意图。
[0014]图4为本专利技术一种吸附机构的内部结构示意图。
[0015]图5为本专利技术一种排气机构的俯视结构示意图。
[0016]图6为本专利技术一种下压机构的内部以及局部放大结构示意图。
[0017]图7为本专利技术一种接触机构的仰视以及局部放大结构示意图。
[0018]图中：底座
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1、测试台
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4、急停按钮
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7、放置机构
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9、下压机构
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6、卡合机构
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91、底座槽
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94、连动板
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98、滑动块
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96、弹簧杆
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92、限位盘
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c、伸缩杆
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e、卡合片
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g、吸附机构
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h、受力板
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h4、吸盘
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h3、伸缩软管
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h6、排气机构
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g9、排气管
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9z、固定块
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9s、扭力轴
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9e、开闭片
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9w、通孔
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9b、下降杆
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6c、压力杆
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6e、缓冲套管
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6h、弹簧
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6k、接触机构
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6a、压力板
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a4、磁块
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a7、排气孔
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a1、连接板
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a3、导向杆
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a9。
具体实施方式
[0019]以下结合附图对本专利技术做进一步描述：实施例1：
如附图1至附图5所示：本专利技术一种微机械力学性能测试仪，其结构包括底座1、测试台4、急停按钮7、放置机构9、下压机构6，所述底座1上表面与测试台4下端相固定，并且测试台4前端表面嵌有急停按钮7，所述放置机构9安装在底座1上端面，并且放置机构9位于下压机构6正下方，所述下压机构6设在测试台4前端底部，所述放置机构9包括卡合机构91、底座槽94、连动板98、滑动块96、弹簧杆92，所述卡合机构91安装在底座槽94顶部，并且底座槽94安装在底座1上端面，所述底座槽94内部设有连动板98，所述连动板98上端与卡合机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机械力学性能测试仪，其结构包括底座（1）、测试台（4）、急停按钮（7）、放置机构（9）、下压机构（6），所述底座（1）上表面与测试台（4）下端相固定，并且测试台（4）前端表面嵌有急停按钮（7），所述放置机构（9）安装在底座（1）上端面，并且放置机构（9）位于下压机构（6）正下方，所述下压机构（6）设在测试台（4）前端底部，其特征在于：所述放置机构（9）包括卡合机构（91）、底座槽（94）、连动板（98）、滑动块（96）、弹簧杆（92），所述卡合机构（91）安装在底座槽（94）顶部，并且底座槽（94）安装在底座（1）上端面，所述底座槽（94）内部设有连动板（98），所述连动板（98）上端与卡合机构（91）内部中端相铰接，并且连动板（98）下端与滑动块（96）内部相铰接，所述弹簧杆（92）采用间隙配合贯穿于滑动块（96）内部，所述弹簧杆（92）固定安装在底座槽（94）内部，所述卡合机构（91）位于下压机构（6）正下方。2.根据权利要求1所述的一种微机械力学性能测试仪，其特征在于：所述卡合机构（91）包括限位盘（c）、伸缩杆（e）、卡合片（g）、吸附机构（h），所述限位盘（c）安装在底座槽（94）顶部，并且限位盘（c）内壁与伸缩杆（e）外侧端相焊接，所述伸缩杆（e）内侧端设有卡合片（g），所述限位盘（c）内部中端设有吸附机构（h），并且吸附机构（h）底部中端与连动板（98）上端相铰接，所述吸附机构（h）位于下压机构（6）正下方。3.根据权利要求2所述的一种微机械力学性能测试仪，其特征在于：所述吸附机构（h）包括受力板（h4）、吸盘（h3）、伸缩软管（h6）、排气机构（g9），所述受力板（h4）采用间隙配合安装在限位盘（c）内部中端，并且受力板（h...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘玲，
申请(专利权)人：荆楚理工学院，
类型：发明
国别省市：