一种硅片高压吸附电路制造技术

本发明专利技术属于硅片吸附技术领域，具体涉及一种硅片高压吸附电路，包括反激变压器电路和空气继电器电路；通过在每个副边绕组子模块内交替串联多组副边绕组和多个二极管，将副边绕组上二极管的电压应力分到多个相串联的二极管上，大幅降低了单个二极管上的电压应力，增加了二极管的使用寿命，提高了电路的安全性，并通过两组副边绕组模块的连接实现两端正负电荷的输出；同时能够通过改变副边绕组和二极管的串联数量，灵活调配反激变压器的升压倍数，不受二极管电压应力的限制；并且通过高耐压的空气继电器实现高压直流电的输出，提高了电路的可靠性。的可靠性。的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片高压吸附电路


[0001]本专利技术属于硅片吸附
，具体涉及一种硅片高压吸附电路。

技术介绍

[0002]在芯片制造的过程中，在对硅片进行刻蚀和光刻时，需要用高压直流电将硅片吸附在制定工作区域，从而实现精细化的工艺。现有技术下，通过传统的反激电路实现高压直流电，反激变换器的副边绕组电压很高，导致二极管的电压应力很高，这种方式存在反激电路器件应力高的问题，严重影响了器件的使用寿命，降低了电路的安全性，同时，传统的反激电路升压倍数比较固定，由于器件应力限制不能灵活调整，电路的安全性和灵活性都比较低。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片高压吸附电路采用传统反激电路实现高压直流电，器件应力高并且不能灵活调整升压倍数的缺陷，从而提供一种硅片高压吸附电路。
[0004]一种硅片高压吸附电路，包括反激变压器电路和空气继电器电路；所述反激变压器电路包括原边绕组模块和副边绕组模块；所述副边绕组模块包括两个副边绕组子模块，每个所述副边绕组子模块包括多组副边绕组和多个二极管交替串联，然后与一个电容并联；一个副边绕组子模块的副边绕组的一端和另一个副边绕组子模块的二极管的负极形成反激变压器电路的输出端，连接至所述空气继电器电路。
[0005]进一步的，所述副边绕组子模块中多组所述副边绕组的匝数相同，使串联的多个所述二极管上在反激变压器电路工作时分担相同的电压应力。
[0006]进一步的，所述原边绕组串联一个开关管，并在两端连接电源输入。
[0007]进一步的，所述原边绕组和开关管还并联有一个第一滤波电容。
[0008]进一步的，所述开关管为MOS管。
[0009]进一步的，所述空气继电器电路包括第一空气继电器、第二空气继电器、第三空气继电器和第四空气继电器；所述第一空气继电器触点端连接第一反激输出端和第一负载接入端；所述第二空气继电器触点端连接第一反激输出端和第二负载接入端；所述第三空气继电器触点端连接第二反激输出端和第二负载接入端；所述第四空气继电器触点端连接第二反激输出端和第一负载接入端。
[0010]进一步的，第一三极管连接所述第一空气继电器的线圈端，第二三极管连接所述第二空气继电器的线圈端，第三三极管连接所述第三空气继电器的线圈端，第四三极管连接所述第四空气继电器的线圈端；一个控制信号连接第一三极管和第三三极管的基极，从而同时控制第一空气继电器和第三空气继电器触点端的闭合和断开；另一个控制信号同时连接第二三极管和第四三极管的基极，从而同时控制第二空气继电器和第四空气继电器触
点端的闭合和断开。
[0011]进一步的，所述第一空气继电器和所述第三空气继电器闭合，所述第二空气继电器和所述第四空气继电器断开时，所述第一反激输出端连接所述第一负载接入端，所述第二反激输出端连接所述第二负载接入端；所述第一空气继电器和所述第三空气继电器断开，所述第二空气继电器和所述第四空气继电器闭合时，所述第一反激输出端连接所述第二负载接入端，所述第二反激输出端连接所述第一负载接入端。
[0012]进一步的，所述第一负载接入端和第二负载接入端还连接有第二滤波电容，所述第二滤波电容另一端接地。
[0013]进一步的，所述反激变压器电路的输出端和所述空气继电器之间连接有LC滤波电路。
[0014]有益效果：1.本专利技术提出的一种硅片高压吸附电路，通过在每个副边绕组子模块内交替串联多组副边绕组和多个二极管，将副边绕组上二极管的电压应力分到多个相串联的二极管上，大幅降低了单个二极管上的电压应力，增加了二极管的使用寿命，提高了电路的安全性，并通过两组副边绕组模块的连接实现两端正负电荷的输出；同时能够通过改变副边绕组和二极管的串联数量，灵活调配反激变压器的升压倍数，不受二极管电压应力的限制；并且通过高耐压的空气继电器实现高压直流电的输出，提高了电路的可靠性。
[0015]2.本专利技术通过副边绕组子模块中多组副边绕组匝数相同的设置，确保串联的每一个二极管上电压应力相等，进一步提高了电路的可靠性；通过在原边绕组的电源输入端串联一个开关管的设置，能够有效控制反激变压器的电源输入从而控制输出。
[0016]3.本专利技术通过空气继电器电路中第一空气继电器、第二空气继电器、第三空气继电器、第四空气继电器的配合连接设置，能够实现负载加压两端灵活的极性转换。
[0017]4.本专利技术通过在开关管和原边绕组上并联一个第一滤波电容，在反激变压器电路和空气继电器之间设置LC滤波电路，以及在第一负载接入端和第二负载接入端处设置第二滤波电容，能够有效滤除电源输入端、反激变压器和空气继电器之间的电流传输以及负载加压端的杂波干扰，确保本专利技术的高压硅片电路控制信号以及功率传输的可靠性。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的整体电路结构示意图；图2为本专利技术实施例1中的一种电路结构示意图。
[0019]附图标记：1、反激变压器电路；11、原边绕组；12、副边绕组；13、二极管；14、开关管；15、第一滤波电容；2、空气继电器电路；21、第一空气继电器；22、第二空气继电器；23、第三空气继电器；24、第四空气继电器；25、第二滤波电容；26、第一三极管；27、第二三极管；28、第三三极管；29、第四三极管；31、第一反激输出端；32、第二反激输出端；41、第一负载接入端；42、第二负载接入端；51、第一控制点；52、第二控制点；53、第三控制点；54、第四控制点。
具体实施方式
[0020]为了使本领域的技术人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实
施例中的附图对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0021]本实施例提供了一种硅片高压吸附电路，参照图1所示，包括反激变压器电路1和空气继电器电路2；所述反激变压器电路1包括原边绕组模块和副边绕组模块；所述副边绕组模块包括两个副边绕组子模块，每个所述副边绕组子模块包括多组副边绕组12和多个二极管13交替串联，然后与一个电容并联；一个副边绕组子模块的副边绕组12的一端和另一个副边绕组子模块的二极管13的负极形成反激变压器电路1的输出端，连接至所述空气继电器电路2。
[0022]通过在每个副边绕组子模块内交替串联多组副边绕组12和多个二极管13，将副边绕组12上二极管13的电压应力分到多个相串联的二极管13上，大幅降低了单个二极管13上的电压应力，增加了二极管13的使用寿命，提高了电路的安全性，并通过两组副边绕组模块的连接实现两端正负电荷的输出；同时能够通过改变副边绕组12和二极管13的串联数量，灵活调配反激变压器的升压倍数，不受二极管13电压应力的限制；并且通过高耐压的空气继电器实现高压直流电的输出，提高了电路的可靠性。
[0023]具体来说，所述副边本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片高压吸附电路，其特征在于，包括反激变压器电路（1）和空气继电器电路（2）；所述反激变压器电路（1）包括原边绕组模块和副边绕组模块；所述副边绕组模块包括两个副边绕组子模块，每个所述副边绕组子模块包括多组副边绕组（12）和多个二极管（13）交替串联，然后与一个电容并联；一个副边绕组子模块的副边绕组（12）的一端和另一个副边绕组子模块的二极管（13）的负极形成反激变压器电路（1）的输出端，连接至所述空气继电器电路（2）。2.根据权利要求1所述的一种硅片高压吸附电路，其特征在于，所述副边绕组子模块中多组所述副边绕组（12）的匝数相同，使串联的多个所述二极管（13）上在反激变压器电路（1）工作时分担相同的电压应力。3.根据权利要求1所述的一种硅片高压吸附电路，其特征在于，所述原边绕组模块包括，所述原边绕组（11）串联一个开关管（14），并在两端连接电源输入。4.根据权利要求3所述的一种硅片高压吸附电路，其特征在于，所述原边绕组（11）和开关管（14）还并联有一个第一滤波电容（15）。5.根据权利要求4所述的一种硅片高压吸附电路，其特征在于，所述开关管（14）为MOS管。6.根据权利要求1所述的一种硅片高压吸附电路，其特征在于，所述空气继电器电路（2）包括第一空气继电器（21）、第二空气继电器（22）、第三空气继电器（23）和第四空气继电器（24）；所述第一空气继电器（21）触点端连接第一反激输出端（31）和第一负载接入端（41）；所述第二空气继电器（22）触点端连接第一反激输出端（31）和第二负载接入端（42）；所述第三空气继电器（23）触点端连接第二反激输出端（32）和第二负载接入端（42）；所述第四空气继电器（24）触点端连接第二反激输出...

【专利技术属性】
技术研发人员：林伟群，唐亚海，姚志毅，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：