一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法技术

本发明专利技术涉及机械手技术领域，具体公开了一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法，在吸盘吸附固定晶元过程中，首先通过吹尘组件对晶元的待吸附区域的灰尘杂质进行吹除，之后再通过设置的避尘组件对灰尘、杂质进行过滤，避免造成吸盘的堵塞；且对于避尘组件与吹尘组件分别设置有相适配的两套，即第一避尘组件与第一吹尘组件相适配使用；在吸附工作时，避免吸盘端面会有杂质积聚的问题，使其与晶元吸附区域能够进行紧密接触，提高吸附转运工作稳定性，提升晶元整体加工经济效益。提升晶元整体加工经济效益。提升晶元整体加工经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法


[0001]本专利技术涉及机械手
，具体为一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法。

技术介绍

[0002]晶元作为制作芯片的基本材料，被广泛地应用在电子设备领域中。在晶元的加工过程中，通常需要通过机械手夹持晶元并将晶元传输至指定加工位置；业界内夹持晶元的机械手大多为刚性机械手，其主要包括吸附机构以及机械手本体，其中，机械手本体用于放置晶元，吸附机构利用吸力吸附住晶元。
[0003]对于现有技术公告号为CN217009167U、公开日为20220719的中国专利文件公开了晶圆吸附机械手与晶圆吸附装置，其针对现有技术下在芯片的生产过程中，外延片由于生产工艺应力的原因，会产生一定的形变，这会导致晶圆出现翘曲的情况；此时，晶圆与吸附机构之间存在间隙，吸附机构无法与晶圆表面贴合，进而致使吸附机构不能够夹紧发生翘曲晶圆的问题进行改进和优化；即晶圆吸附机械手包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖；所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件之间，所述吸附件与所述抽吸管之间具有预定间隙，便于发生翘曲的晶圆压在所述吸附件上时，所述吸附件可实现微动调节，进而与所述发生翘曲的晶圆紧密贴合，使所述晶圆吸附机械手不但能够吸附表面水平的晶圆，也能够吸附发生翘曲的晶圆，增大了所述晶圆吸附机械手的适用范围和应用场景。
[0004]上述方案以及现有技术下的晶元转运机械手在进行吸附固定时，一般是通过对气体的抽吸，对晶元片进行吸附固定，在进行吸附工作时，通常是将吸盘贴在晶元片上，之后通过抽吸气体使其贴附在吸盘上，在吸附时，对于晶元片上粘附的灰尘也会进行吸附，长时间工作下会造成吸盘堵塞，对于晶元的吸附转运工作效率具有影响，且灰尘杂质也会粘附在吸盘的端面上，对于吸盘与晶元的接触紧密性也会造成影响，进而也会将其转运工作稳定性。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，包括机械手主体、支撑架、吸盘、吸附孔，所述机械手主体上固定连接设置有支撑架，支撑架的底端边角位置固定设置有吸盘，吸盘中设置有吸附孔；所述吸盘上设置有避尘组件，在对晶元进行吸附转运工作时，能够避免吸盘的堵塞，且吸盘上还设置有相应的吹尘组件，在对晶元吸附工作时，能够将其吸附区域的灰尘进行清除，避免粘附积聚在吸盘的端面，保证吸盘与晶元的吸附固定紧密性。
[0007]优选的，对于避尘组件可以选用第一避尘组件，所述第一避尘组件包含有活动腔、活动封块、传动条、复位弹簧、对接斜坡、第一避尘孔、第二避尘孔、弧形传动斜槽、活动外齿
环、主动齿轮、固定环、控制马达，所述活动腔对称设置在吸盘中，活动腔设置在吸附孔的边侧位置，且两者相连通设置，所述活动封块活动设置在活动腔中，且活动封块的一端固定设置有传动条，另一端的两侧对称设置有对接斜坡，所述活动封块在与传动条相连接端固定设置有复位弹簧，复位弹簧另一端固定设置在活动腔中，所述传动条的一端延伸至弧形传动斜槽中，所述第一避尘孔等距贯穿设置在活动封块中，所述第二避尘孔等距贯穿设置在传动条中，所述弧形传动斜槽等距设置在活动外齿环内侧壁，且活动外齿环活动设置在固定环中，所述固定环固定设置在吸盘外侧壁，所述活动外齿环的边侧位置啮合连接设置有主动齿轮，所述主动齿轮活动设置在固定环中，且主动齿轮固定设置在转轴的一端，转轴插接设置在固定环中，转轴另一端固定连接设置有控制马达，控制马达固定设置在固定环上。
[0008]优选的，所述活动封块等距设置有四组，且活动封块一端对称设置的对接斜坡所形成的夹角为直角。
[0009]优选的，所述弧形传动斜槽与传动条、活动封块三者设置位置相对应、设置组数相同，且传动条延伸至弧形传动斜槽中的端部设置为弧形面。
[0010]优选的，与所述第一避尘组件相适配的吹尘组件为第一吹尘组件，所述第一吹尘组件包含有第一喷气管、环形输送管、第一输气管、方形喷气槽，所述第一喷气管等距固定设置在进气口位置，进气口等距设置在吸盘中，且进气口与活动腔相连通设置，第一喷气管与环形输送管固定连接，且环形输送管的一侧相连通固定设置有第一输气管，所述方形喷气槽等距设置在吸盘的底端面，且方形喷气槽与活动腔相连通设置。
[0011]优选的，所述方形喷气槽与活动腔、进气口、第一喷气管设置位置相对应、设置组数相同。
[0012]优选的，对于避尘组件可以选用第二避尘组件，所述第二避尘组件包含有固定板体、控制伸缩杆、活动挡板、条形槽、过滤孔，所述固定板体对称固定设置在吸盘的两侧，且其中一侧的固定板体的一端固定设置有控制伸缩杆，所述控制伸缩杆的一端延伸至固定板体中，且端部固定设置有活动挡板，所述活动挡板活动设置在活动槽中，且活动槽穿过吸盘延伸至另一位置的固定板体中，所述活动挡板的两侧对称设置有条形槽，且中部位置等距分布设置有过滤孔。
[0013]优选的，所述过滤孔共分成五个小区域，即每个区域的过滤孔形成一个过滤网，且每个区域过滤孔的孔径不同。
[0014]优选的，与所述第二避尘组件相适配的吹尘组件为第二吹尘组件，所述第二吹尘组件包含有第二喷气管、矩形输送管、第二输气管、圆形喷气槽，所述第二喷气管固定设置在吸盘上，且第二喷气管与矩形输送管相连通设置，所述矩形输送管与第二输气管相连通设置，所述圆形喷气槽等距设置在吸盘的底端，且关于吸附孔对称设置，圆形喷气槽与吸附孔两者直径设置相等。
[0015]一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手的加工方法，该加工方法包括以下步骤：S1：本专利技术在对晶元进行吸附转运工作时，使用吸盘对其进行吸附，且在吸盘吸附固定晶元过程中，首先通过吹尘组件对晶元的待吸附区域的灰尘杂质进行吹除，之后再通过设置的避尘组件对灰尘、杂质进行过滤，避免造成吸盘的堵塞；S2：在对晶元进行吸附固定转运工作时，吸盘缓慢靠近待吸附区域，气体通过第一输气管传输到环形输送管中，之后再通过第一喷气管将气体输送到吸盘中，且最终通过设
置的方形喷气槽喷出，对晶元上待吸附区域上的灰尘、杂质进行吹除，之后暂停吹气工作；且在进行吸附工作时，通过设置的第一避尘孔对灰尘、杂质进行过滤，避免灰尘、杂质进入到吸盘中；S3：在对晶元进行吸附固定转运工作时，吸盘缓慢靠近待吸附区域，气体通过第二输气管进入到矩形输送管中，再通过第二喷气管输送到吸盘中，从活动挡板上的过滤孔穿过，最终从圆形喷气槽中喷出，对于晶元上待吸附区域上的灰尘、杂质进行吹除；且在进行吸附工作时，通过设置的过滤孔对灰尘、杂质进行过滤，避免灰尘、杂质进入到吸盘中。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术在对晶元进行吸附转运工作时，使用吸盘对其进行吸附，且在吸盘吸附固定晶元过程中，首先通过吹尘组件对晶元的待吸附区域的灰尘杂质进行吹除，之后再通过设置的避尘组件对灰尘、杂质进行过滤，避免造成吸盘的堵塞；且对于避尘组件与吹尘组件分别设置有相适配的两套，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，包括机械手主体（1）、支撑架（2）、吸盘（3）、吸附孔（4），所述机械手主体（1）上固定连接设置有支撑架（2），支撑架（2）的底端边角位置固定设置有吸盘（3），吸盘（3）中设置有吸附孔（4）；其特征在于：所述吸盘（3）上设置有避尘组件，在对晶元进行吸附转运工作时，能够避免吸盘（3）的堵塞，且吸盘（3）上还设置有相应的吹尘组件，在对晶元吸附工作时，能够将其吸附区域的灰尘进行清除，避免粘附积聚在吸盘（3）的端面，保证吸盘（3）与晶元的吸附固定紧密性。2.根据权利要求1所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：对于避尘组件可以选用第一避尘组件（5），所述第一避尘组件（5）包含有活动腔（501）、活动封块（502）、传动条（503）、复位弹簧（504）、对接斜坡（505）、第一避尘孔（506）、第二避尘孔（507）、弧形传动斜槽（508）、活动外齿环（509）、主动齿轮（510）、固定环（511）、控制马达（512），所述活动腔（501）对称设置在吸盘（3）中，活动腔（501）设置在吸附孔（4）的边侧位置，且两者相连通设置，所述活动封块（502）活动设置在活动腔（501）中，且活动封块（502）的一端固定设置有传动条（503），另一端的两侧对称设置有对接斜坡（505），所述活动封块（502）在与传动条（503）相连接端固定设置有复位弹簧（504），复位弹簧（504）另一端固定设置在活动腔（501）中，所述传动条（503）的一端延伸至弧形传动斜槽（508）中，所述第一避尘孔（506）等距贯穿设置在活动封块（502）中，所述第二避尘孔（507）等距贯穿设置在传动条（503）中，所述弧形传动斜槽（508）等距设置在活动外齿环（509）内侧壁，且活动外齿环（509）活动设置在固定环（511）中，所述固定环（511）固定设置在吸盘（3）外侧壁，所述活动外齿环（509）的边侧位置啮合连接设置有主动齿轮（510），所述主动齿轮（510）活动设置在固定环（511）中，且主动齿轮（510）固定设置在转轴的一端，转轴插接设置在固定环（511）中，转轴另一端固定连接设置有控制马达（512），控制马达（512）固定设置在固定环（511）上。3.根据权利要求2所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：所述活动封块（502）等距设置有四组，且活动封块（502）一端对称设置的对接斜坡（505）所形成的夹角为直角。4.根据权利要求2所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：所述弧形传动斜槽（508）与传动条（503）、活动封块（502）三者设置位置相对应、设置组数相同，且传动条（503）延伸至弧形传动斜槽（508）中的端部设置为弧形面。5.根据权利要求2所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：与所述第一避尘组件（5）相适配的吹尘组件为第一吹尘组件（6），所述第一吹尘组件（6）包含有第一喷气管（601）、环形输送管（602）、第一输气管（603）、方形喷气槽（604），所述第一喷气管（601）等距固定设置在进气口位置，进气口等距设置在吸盘（3）中，且进气口与活动腔（501）相连通设置，第一喷气管（601）与环形输送管（602）固定连接，且环形输送管（602）的一侧相连通固定设置有第一输气管（603），所述方形喷气槽（604）等距...

【专利技术属性】
技术研发人员：方亮，吴立，翁林，王吉奎，
申请(专利权)人：无锡宇邦半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：