本申请提供一种硅片抛光装置，属于太阳电池制造领域。装置包括箱体、吸附件和抛光组件。箱体具有容纳抛光液的抛光腔，吸附件用于吸附硅片；抛光组件用于对硅片抛光。抛光组件包括第一驱动件、连接框架、第二驱动件、安装件、第三驱动件和抛光件。第一驱动件的动力输出端与连接框架连接且能够驱动连接框架沿第一预设方向运动并到达吸附件的上方；第二驱动件的动力输出端设置有传动件，传动件与安装件传动连接且能够在第二驱动件的驱动下带动安装件沿箱体的高度方向做往复运动；第三驱动件的动力输出端与抛光件连接且能够驱动抛光件旋转以对硅片进行抛光，该装置能够在仅对硅片背面进行抛光的情况下提高抛光效果，进而保证电池的转换效率。转换效率。转换效率。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片抛光装置
[0001]本申请涉及太阳电池制造领域，具体而言，涉及一种硅片抛光装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，为了提高太阳电池的转换效率，需要在电池背面增设电解质钝化层，在进行该工艺前，通常需要先使用抛光装置来对硅片背面进行单面抛光。但是，现有抛光装置存在抛光效果欠佳的问题，导致电池质量受到影响。
技术实现思路
[0003]本申请的目的在于提供一种硅片抛光装置，能够在一定程度上提高抛光效果，进而保证电池质量。
[0004]本申请的实施例是这样实现的：
[0005]本申请实施例提供一种硅片抛光装置，包括箱体、吸附件和抛光组件。箱体具有用于容纳抛光液的抛光腔；吸附件连接于抛光腔内，吸附件用于吸附硅片；抛光组件包括第一驱动件、连接框架、第二驱动件、安装件、第三驱动件和抛光件。
[0006]第一驱动件连接于箱体侧壁，第一驱动件的动力输出端位于箱体内并与连接框架连接，第一驱动件被配置为可驱动连接框架沿第一预设方向运动，以使连接框架能够沿第一预设方向运动并到达吸附件的上方，第一预设方向与箱体的高度方向垂直。
[0007]第二驱动件连接于连接框架，第二驱动件的动力输出端设有传动件，传动件与安装件传动连接，传动件被配置为能够在第二驱动件的驱动下带动安装件沿箱体的高度方向做往复运动。
[0008]第三驱动件与安装件连接，第三驱动件的动力输出端与抛光件连接，第三驱动件被配置为能够驱动抛光件旋转以对硅片进行抛光。
[0009]上述技术方案中，第一驱动件用于驱动连接框架在预设第一方向上做往复运动，实际是为了能够驱动抛光件到达吸附件的上方，在此基础上，第二驱动件设置传动件并将其与安装件传动连接，是为了通过传动件和安装件的配合使得抛光件能够与硅片需要进行抛光的一侧抵接，而第三驱动件则是为了驱动抛光件旋转，从而实现对硅片的抛光。其中，箱体的抛光腔用于容纳抛光液，吸附件用于对硅片进行吸附固定，抛光件用于对被固定在吸附件上的硅片进行抛光。通过抛光液以及抛光件的配合，可以同时将化学抛光以及物理抛光相结合，相较于单独采用化学抛光或物理抛光的方式，能够提高抛光效果，从而保证电池质量。
[0010]在一些可选的实施方案中，在箱体的高度方向上，第一驱动件的动力输出端与连接框架靠近第一驱动件的一侧的中部连接。
[0011]上述技术方案中，第一驱动件的动力输出端与连接框架靠近第一驱动件的一侧的中部连接，是由于处于该连接方式下，连接框架整体结构受力更均匀、结构稳定性更好。
[0012]在一些可选的实施方案中，箱体沿第二预设方向相对分布的两侧侧壁设置有沿第
一预设方向延伸的直线导轨，第二预设方向与第一预设方向以及箱体的高度方向垂直，连接框架设置有与直线导轨可滑动配合的滑块，以使连接框架能够沿第一预设方向作往复运动。
[0013]上述技术方案中，设置直线导轨以及滑轨的形式来实现连接框架在预设第一方向的往复运动，是由于直线导轨以及滑轨相配合的形式，能够为连接框架的移动提供较好的稳定性。
[0014]在一些可选的实施方案中，传动件为丝杆。
[0015]上述技术方案中，将传动件设置为丝杆，是由于该设置形式能够较好地带动安装件沿箱体的高度方向上下移动，并且丝杆的结构简单，便于进行工艺制造。
[0016]在一些可选的实施方案中，连接框架包括框架本体和限位杆，第二驱动件连接于框架本体；在箱体的高度方向上，框架本体具有相对分布的框边，限位杆的两端分别与连接框架的两侧的框边连接；安装件靠近连接框架的一端开设有限位孔，限位杆穿设于限位孔内且与限位孔滑动配合。
[0017]上述技术方案中，连接框架设置限位杆、安装件开设限位孔，并且将二者设置为可滑动配合的形式，能够加强安装件与传动件的连接稳定性；此外，限位杆的两端分别与连接框架的两侧的框边连接，限位杆还能起到支撑连接框架的作用，从而进一步提高连接框架的稳定性。
[0018]在一些可选的实施方案中，第三驱动件的动力输出端设置有固定件、伸缩件以及弹性件；在箱体的高度方向上，固定件与第三驱动件的动力输出端连接，伸缩件与固定件下侧连接，伸缩件的正投影位于固定件内，且伸缩件的下侧与抛光件连接，伸缩件被配置为能够带动抛光件上下移动，弹性件弹性支撑在固定件和抛光件之间。
[0019]上述技术方案中，设置弹性件，并且将弹性件设置为弹性支撑在固定件和抛光件之间，该设置能够通过弹性件的弹力使得抛光件与固定板之间的距离基本固定，从而便于抛光件靠近硅片进行抛光；此外，伸缩件的正投影位于固定件内，是为了加强弹性件的稳定性；在此基础上，将伸缩件设置为能够带动抛光件上下移动的形式，是为了使得抛光件与硅片抵接时，二者处于弹性接触的状态，从而起到缓解冲击力、保护硅片的作用。
[0020]在一些可选的实施方案中，在箱体的高度方向上，伸缩件的下侧与抛光件的上侧可拆卸连接。
[0021]上述技术方案中，伸缩件的下侧与抛光件的上侧可拆卸连接的形式，便于在抛光件自身出现磨损、导致抛光效果不好的情况下，仅仅更换抛光件即可，从而节约材料成本。
[0022]在一些可选的实施方案中，第一驱动件包括驱动底座和驱动主体，驱动主体可活动地容纳于驱动底座内，驱动底座位于箱体外且与箱体侧壁连接，驱动主体位于箱体内，且驱动主体的动力输出端与连接框架连接。
[0023]上述技术方案中，将第一驱动件设置为包括驱动底座和驱动主体，并且将驱动底座设置在箱体侧壁外，将驱动主体设置在箱体内，相较于将第一驱动主体整个设置在箱体内，该设置方式在满足能够驱动连接框架到达吸附件上方的情况下，还能节省箱体内部的空间，从而有利于箱体内部其他构件的布局。
[0024]在一些可选的实施方案中，硅片抛光装置还包括第四驱动件，第四驱动件固定于箱体底部，第四驱动件的动力输出端与吸附件连接，第四驱动件被配置为能够驱动吸附件
沿箱体的高度方向上下移动。
[0025]上述技术方案中，硅片抛光装置增设第四驱动件，并且将第四驱动件配置为能够驱动吸附件沿箱体的高度方向上下移动，该设置使得吸附件在箱体的高度方向上的位置可调，从而能够更好地和抛光件进行配合，进而提高硅片抛光装置对不同硅片进行抛光的适用性。
[0026]在一些可选的实施方案中，第四驱动件的动力输出端设置有连接件，吸附件通过连接件与第四驱动件的动力输出端连接，在箱体的高度方向上，第四驱动件的动力输出端的正投影位于连接件内。
[0027]上述技术方案中，吸附件通过连接件与第四驱动件的动力输出端间接连接，并且设置为在箱体的高度方向上，第四驱动件的动力输出端的正投影位于连接件内，相较于吸附件直接与第四驱动件的动力输出端连接，该设置能够为吸附件提供更大的支撑区域，从而提高吸附件的结构稳定性。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片抛光装置，其特征在于，包括：箱体，所述箱体具有用于容纳抛光液的抛光腔；连接于所述抛光腔内的吸附件，所述吸附件用于吸附硅片；以及抛光组件，所述抛光组件包括第一驱动件、连接框架、第二驱动件、安装件、第三驱动件和抛光件；所述第一驱动件连接于所述箱体侧壁，所述第一驱动件的动力输出端位于所述箱体内并与所述连接框架连接，所述第一驱动件被配置为可驱动所述连接框架沿第一预设方向运动，以使所述连接框架能够沿所述第一预设方向运动并到达所述吸附件的上方，所述第一预设方向与所述箱体的高度方向垂直；所述第二驱动件连接于所述连接框架，所述第二驱动件的动力输出端设有传动件，所述传动件与所述安装件传动连接，所述传动件被配置为能够在所述第二驱动件的驱动下带动所述安装件沿所述箱体的高度方向做往复运动；所述第三驱动件与所述安装件连接，所述第三驱动件的动力输出端与所述抛光件连接，所述第三驱动件被配置为能够驱动所述抛光件旋转以对所述硅片进行抛光。2.根据权利要求1所述的硅片抛光装置，其特征在于，在所述箱体的高度方向上，所述第一驱动件的动力输出端与所述连接框架靠近所述第一驱动件的一侧的中部连接。3.根据权利要求1或2所述的硅片抛光装置，其特征在于，所述箱体沿第二预设方向相对分布的两侧侧壁设置有沿所述第一预设方向延伸的直线导轨，所述第二预设方向与所述第一预设方向以及所述箱体的高度方向垂直，所述连接框架设置有与所述直线导轨可滑动配合的滑块，以使所述连接框架能够沿所述第一预设方向作往复运动。4.根据权利要求1或2所述的硅片抛光装置，其特征在于，所述传动件为丝杆。5.根据权利要求4所述的硅片抛光装置，其特征在于，所述连接框架包括框架本体和限位杆，所述第二驱动件连接于所述框...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱浩，彭彪，郑云龙，鲁传磊，王东，程莹莹，王浩，张科，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：
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