蒸汽干燥机制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种蒸汽干燥机，包括顶端设置有放料口的壳体；所述壳体内形成有加热区和烘干区，两者之间通过油浴加热板隔离；所述放料口居中设置于所述烘干区的顶端，且两者连通；所述壳体的加热区侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口，所述加热区加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区；所述烘干区的外壁上设置有IPA回收管，且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区上；IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管再次进入所述加热区。本实用新型专利技术的有益效果体现在：将加热后产生的IPA蒸汽液化成IPA液体，并将IPA液体回收至IPA回收口中再次进入加热区进行循环使用，降低IPA的消耗，起到节约IPA的目的，同时减少对外部环境的污染。同时减少对外部环境的污染。同时减少对外部环境的污染。

【技术实现步骤摘要】
蒸汽干燥机


[0001]本技术属于晶圆清洗干燥
，尤其是涉及一种蒸汽干燥机。

技术介绍

[0002]在对晶圆（本技术中成为产品）进行清洗之后，必须对其进行有效的干燥，以防止水或清洗液等残留物残留在晶圆表面。目前常用的干燥技术是旋转清洗干燥(SRD)，异丙醇或者马兰高尼干燥旋。转清洗干燥工艺中，使湿晶圆高速旋转，通过利用离心力，将附着于晶圆表面的水或清洗液从晶圆中心甩到晶圆的外部，并且进一步脱离晶圆，在晶圆中心作用在小液滴上的离心力小，则很难将晶圆中心的残留物甩离晶圆，因此这种方法在减少形成在晶圆表面的清洗液小液滴方面存在困难，且因为疏水性晶片表面排斥水和水基(含水)清洗液，所以旋转清洗干燥工艺难以对疏水性晶片表面进行干燥。
[0003]异丙醇（IPA）干燥目前是通过异丙醇蒸汽将附着在晶圆表面的水滴挥发，取出晶圆表面的水渍。异丙醇具有微量毒性，但现有技术中采用这种干燥处理方式后并未对产生的异丙醇蒸汽进行处理，大大增加了异丙醇消耗量较大，且容易对环境产生污染。
[0004]为解决上述问题，设计一种蒸汽干燥机是目前本领域技术人员所要解决的重要技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种蒸汽干燥机。
[0006]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0007]蒸汽干燥机，包括顶端设置有放料口的壳体；所述壳体内形成有加热区和烘干区，两者之间通过油浴加热板隔离；所述放料口居中设置于所述烘干区的顶端，且两者连通；所述壳体的加热区侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口，所述加热区加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区；所述烘干区的外壁上设置有IPA回收管，且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区上； IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管再次进入所述加热区。
[0008]优选的，所述烘干区的内居中设置有接液盒，以及相对所述接液盒升降并与其同轴设置的载料架。
[0009]优选的，所述载料架由提升组件驱动升降，所述提升组件包括动力源，以及由所述动力源驱动上下移动的升降杆；所述升降杆的底端插接至所述烘干区内，并与所述载料架固定连接。
[0010]优选的，所述壳体内部还设置有两根平行的L型的导向板，所述导向板的顶端固定连接至所述壳体的侧壁上，其底端设置于所述接液盒的底部；所述载料架两端与所述导向板之间通过滚轮连接，所述滚轮的端面与所述导向板的侧壁抵接，其圆周面与所述导向板的另一侧壁接触，并沿竖直方向滑行。
[0011]优选的，所述放料口位于所述接液盒的正上方；所述放料口上枢轴连接有盖板组
件；第一状态，所述盖板组件打开，所述载料架位于所述放料口处；第二状态，所述盖板组件关闭，所述载料架带动未烘干的产品移动至所述接液盒的处进行干燥化处理，所述接液盒收集部分蒸汽液化后的液体。
[0012]优选的，所述盖板组件包括两个对称设置于所述壳体侧壁上的支撑件，贯穿两个所述支撑件的转轴，以及与所述转轴固定连接的盖板；所述转轴与所述支撑件之间设置有轴承；所述盖板居中设置于所述转轴上。
[0013]优选的，所述烘干区四周的内壁上均设置有内部存储有冷凝水的冷凝盘管，所述冷凝盘管的进口和出口均设置于所述壳体的烘干区上，且所述进口位于所述出口的下方。
[0014]优选的，所述壳体上还设置有与所述烘干区连通的抽风管道，所述抽风管道位于所述烘干区的顶端，将所述烘干区内的气体抽出所述壳体内部。
[0015]本技术技术方案的优点主要体现在：
[0016]将加热后产生的IPA蒸汽液化成IPA液体，并将IPA液体回收至IPA回收口中再次进入加热区进行循环使用，降低IPA的消耗，起到节约IPA的目的，同时减少对外部环境的污染；
[0017]采用IPA溶液代替常用的水，其沸点比水的沸点低，更容易加热，提高加热速度；
[0018]稳定性高，在载料架两侧设置有滚轮，且滚轮沿导向板的设置方向移动，有效避免载料架在升降过程中产生晃动，保证其上承载的产品的稳定性；滚轮在导向板上滑动有效减小载料架与导向板之间的摩擦，使得移动过程更加平滑；
[0019]可收集，在壳体内部设置有接液盒，通过接液盒手机产品表面的水渍，有效避免产品表面水渍与IPA液体混合，相互影响。
附图说明
[0020]图1：本技术优选实施例的立体图；
[0021]图2：本技术图1中A部分放大图；
[0022]图3：本技术优选实施例的侧视图；
[0023]图4：本技术优选实施例的爆炸图。
具体实施方式
[0024]本技术的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。
[0025]在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。
[0026]如图1所示，本技术揭示了一种蒸汽干燥机，包括壳体1，所述壳体1内形成有加热区11和烘干区12，两者之间通过油浴加热板111隔离；所述烘干区12设置于所述加热区
11的上方。所述壳体1的顶端设置有放料口10，以方便将产品放入所述壳体1中。所述放料口10居中设置于所述烘干区12的顶端，且两者连通；为加快工件烘干速度，本技术中优选在所述放料口10上枢轴连接有盖板组件3，通过关闭盖板组件3加快对所述烘干区12内的产品的干燥化处理；打开所述盖板组件3后方便放入或取出产品。
[0027]进一步的，所述盖板组件3包括两个对称设置于所述壳体1侧壁上的支撑件31，贯穿两个所述支撑件31的转轴32，以及与所述转轴32固定连接的盖板33。所述转轴32与所述支撑件31之间设置有轴承，通过所述轴承减少两者之间的摩擦力。所述盖板33居中设置于所述转轴32上，并与所述放料口10对应。
[0028]如图4所示，所述壳体1的加热区11侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口1101，进入所述加热区11的IPA溶液经加热后产生IPA蒸汽，IPA蒸汽将进入所述烘干区12，并对放置于所述烘干区12内的产品进行干燥化处理。
[0029]进一步的，如图4所示，所述烘干区12的内居中设置有接液盒21，以及相对所述接液盒21升降并与其同轴设置的载料架22；所述放料口10位于所述接液盒21的正上方。第一状态，所述盖板组件3打本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.蒸汽干燥机，包括顶端设置有放料口（10）的壳体（1）；其特征在于：所述壳体（1）内形成有加热区（11）和烘干区（12），两者之间通过油浴加热板（111）隔离；所述放料口（10）居中设置于所述烘干区（12）的顶端，且两者连通；所述壳体（1）的加热区（11）侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口（1101），所述加热区（11）加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区（12）；所述烘干区（12）的外壁上设置有IPA回收管（1102），且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区（11）上； IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管（1102）再次进入所述加热区（11）。2.根据权利要求1所述的蒸汽干燥机，其特征在于：所述烘干区（12）的内居中设置有接液盒（21），以及相对所述接液盒（21）升降并与其同轴设置的载料架（22）。3.根据权利要求2所述的蒸汽干燥机，其特征在于：所述载料架（22）由提升组件（20）驱动升降，所述提升组件（20）包括动力源，以及由所述动力源驱动上下移动的升降杆（201）；所述升降杆（201）的底端插接至所述烘干区（12）内，并与所述载料架（22）固定连接。4.根据权利要求3所述的蒸汽干燥机，其特征在于：所述壳体（1）内部还设置有两根平行的L型的导向板（23），所述导向板（23）的顶端固定连接至所述壳体（1）的侧壁上，其底端设置于所述接液盒（21）的底部；所述载料架（22）两端与所述导向板（23）之间通过滚轮（24）连接，所述滚轮（...

【专利技术属性】
技术研发人员：张少阳，李佳森，
申请(专利权)人：苏州芯矽电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：