一种晶圆生产用解UV机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆生产用解UV机，包括底座，底座上安装有解UV机本体，解UV机本体上带有可自动移动的运输平台，底座上安装有两个立柱，两个立柱之间安装有横梁，横梁上设置有至少一组取放机构，取放机构包括导轨、往复座、推杆电机、齿轮、齿条和伺服电机一，导轨水平固定在横梁上，往复座滑动连接在导轨上，推杆电机安装在往复座上，推杆电机的推杆端部和X型杆中部相连，X型杆端部均设置有吸盘，齿条水平固定在横梁上，伺服电机一安装在往复座上，齿轮固定在伺服电机一的输出轴端部，且齿轮与齿条相啮合，立柱上均还固定有底板，底板上固定有伺服电机二，伺服电机二的输出轴端部和切换杆中部相连，切换杆端部和放置台相连。切换杆端部和放置台相连。切换杆端部和放置台相连。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆生产用解UV机


[0001]本技术属于机械
，涉及一种解UV机，特别是一种晶圆生产用解UV机。

技术介绍

[0002]在半导体芯片生产过程中，芯片划片前，应使用划片胶膜将晶圆固定在框架上。划线工艺完成后，用紫外线照射固定胶膜，使UV胶膜的粘度固化硬化，以降低划线固定膜的粘度，即暴露在紫外线下，粘合强度变低。因此，在紫外线照射后，晶片或芯片容易从胶带上剥离。解UV机解决了晶圆、玻璃和陶瓷切割过程的脱胶过程。
[0003]现有技术中的解UV机需要人工将晶圆放入到运输平台上，处理完后，又需要人工将晶圆从运输平台上取下，操作繁琐，因此，设计出一种晶圆生产用解UV机是很有必要的。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种晶圆生产用解UV机，该解UV机具有操作省力的特点。
[0005]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种晶圆生产用解UV机，包括底座，底座上安装有解UV机本体，解UV机本体上带有可自动移动的运输平台，其特征在于，所述底座上安装有两个立柱，且两个立柱相对运输平台对称分布，两个立柱之间安装有横梁，横梁上设置有至少一组取放机构，取放机构包括导轨、往复座、推杆电机、齿轮、齿条和伺服电机一，导轨水平固定在横梁上，往复座滑动连接在导轨上，推杆电机安装在往复座上，且推杆电机的推杆竖直向下，推杆电机的推杆端部和X型杆中部相连，X型杆端部均设置有吸盘，齿条水平固定在横梁上，且齿条与导轨相互平行，伺服电机一安装在往复座上，且伺服电机一的输出轴竖直设置，齿轮固定在伺服电机一的输出轴端部，且齿轮与齿条相啮合，立柱上均还固定有底板，底板上固定有伺服电机二，且伺服电机二的输出轴竖直向上，伺服电机二的输出轴端部和切换杆中部相连，切换杆端部和放置台相连，且切换杆呈水平布置。
[0006]采用该结构，其中一个底板是用于存储待处理的晶圆，另一个底板是用于存储处理后的晶圆；通过伺服电机一带动齿轮转动，齿轮与齿条相啮合，使往复座沿着导轨来回移动，往复座使X型杆在运输平台与底板之间来回移动，通过推杆电机可使X型杆根据需要上下升降，可方便将晶圆从放置台搬运到运输平台或者从运输平台搬回到放置台，从而可实现自动上下料，操作省力；
[0007]在每个底板上都设置有两个放置台，通过伺服电机二带动切换杆每次转动180
°
，可对放置台进行切换，使一个处于工作状态，另一个处于准备状态。
[0008]所述放置台上具有呈竖直布置的三个限位导杆，其中两个限位导杆和放置台相固连，其中另外一个限位杆下端和活动摆杆一端相连，活动摆杆另一端和放置台转动连接，活动摆杆中部具有把手，活动摆杆一端还安装有插销，放置台上具有与插销相配合的插孔。
[0009]采用该结构，通过三个限位导杆可对晶圆在放置台上进行限位，同时，在需要取放的时候，解锁插销，使活动摆杆摆动，从而可方便对晶圆进行放入或者取出。
[0010]所述放置台上还具有辅助缺口。
[0011]采用该结构，通过该辅助缺口可方便对晶圆进行拿取。
[0012]所述导轨两端均具有限位块。
[0013]采用该结构，可方便对往复座在移动时候进行有效限位。
[0014]所述X型杆端部均滑动连接有调整块，调整块上螺纹连接有手拧螺丝，吸盘安装在调整块上。
[0015]采用该结构，通过调节块可方便对吸盘的位置进行调整，满足不同尺寸的吸取需求。
[0016]与现有技术相比，本晶圆生产用解UV机具有该优点：
[0017]本技术中通过伺服电机一带动齿轮转动，齿轮与齿条相啮合，使往复座沿着导轨来回移动，往复座使X型杆在运输平台与底板之间来回移动，通过推杆电机可使X型杆根据需要上下升降，可方便将晶圆从放置台搬运到运输平台或者从运输平台搬回到放置台，从而可实现自动上下料，操作省力。
附图说明
[0018]图1是本技术的立体结构示意图；
[0019]图2是本技术中拆去部分的立体结构示意图；
[0020]图3是图1中A处的局部放大图。
[0021]图中，1、解UV机本体；1a、运输平台；2、立柱；3、底板；4、横梁；5、伺服电机二；6、放置台；6a、辅助缺口；7、插销；8、把手；9、活动摆杆；10、限位导杆；12、切换杆；13、往复座；14、导轨；15、齿条；16、伺服电机一；17、手拧螺丝；18、调整块；19、吸盘；20、X型杆；21、推杆电机。
具体实施方式
[0022]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0023]如图1
‑
图3所示，本晶圆生产用解UV机，包括底座，底座上安装有解UV机本体1，在本实施例中，解UV机本体1采用的是现有结构，如品牌为尔谷光电的半导体晶圆解胶机；解UV机本体1上带有可自动移动的运输平台1a，在本实施例中，运输平台1a采用的是现有结构，根据需要在水平方向可自动移动，可将放置在其上面的晶圆输入到解UV机本体1内进行处理；底座上安装有两个立柱2，且两个立柱2相对运输平台1a对称分布，两个立柱2之间安装有横梁4，横梁4上设置有至少一组取放机构，在本实施例中，取放机构的数量为两组，一组负责上料，另一组负责下料；取放机构包括导轨14、往复座13、推杆电机21、齿轮、齿条15和伺服电机一16，导轨14水平固定在横梁4上，往复座13滑动连接在导轨14上，推杆电机21安装在往复座13上，且推杆电机21的推杆竖直向下，推杆电机21的推杆端部和X型杆20中部相连，X型杆20端部均设置有吸盘19，齿条15水平固定在横梁4上，且齿条15与导轨14相互平行，伺服电机一16安装在往复座13上，且伺服电机一16的输出轴竖直设置，齿轮固定在伺服电机一16的输出轴端部，且齿轮与齿条15相啮合，立柱2上均还固定有底板3，底板3上固定有伺服电机二5，且伺服电机二5的输出轴竖直向上，伺服电机二5的输出轴端部和切换杆12
中部相连，切换杆12端部和放置台6相连，且切换杆12呈水平布置。
[0024]采用该结构，其中一个底板3是用于存储待处理的晶圆，另一个底板3是用于存储处理后的晶圆；通过伺服电机一16带动齿轮转动，齿轮与齿条15相啮合，使往复座13沿着导轨14来回移动，往复座13使X型杆20在运输平台1a与底板3之间来回移动，通过推杆电机21可使X型杆20根据需要上下升降，可方便将晶圆从放置台6搬运到运输平台1a或者从运输平台1a搬回到放置台6，从而可实现自动上下料，操作省力；
[0025]在每个底板3上都设置有两个放置台6，通过伺服电机二5带动切换杆12每次转动180
°
，可对放置台6进行切换，使一个处于工作状态，另一个处于准备状态。
[0026]放置台6上具有呈竖直布置的三个限位导杆10，其中两个限位导杆10和放置台6相固连，其中另外一个限位杆下端和活动摆杆9一端相连，活动摆杆9本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆生产用解UV机，包括底座，底座上安装有解UV机本体(1)，解UV机本体(1)上带有可自动移动的运输平台(1a)，其特征在于，所述底座上安装有两个立柱(2)，且两个立柱(2)相对运输平台(1a)对称分布，两个立柱(2)之间安装有横梁(4)，横梁(4)上设置有至少一组取放机构，取放机构包括导轨(14)、往复座(13)、推杆电机(21)、齿轮、齿条(15)和伺服电机一(16)，导轨(14)水平固定在横梁(4)上，往复座(13)滑动连接在导轨(14)上，推杆电机(21)安装在往复座(13)上，且推杆电机(21)的推杆竖直向下，推杆电机(21)的推杆端部和X型杆(20)中部相连，X型杆(20)端部均设置有吸盘(19)，齿条(15)水平固定在横梁(4)上，且齿条(15)与导轨(14)相互平行，伺服电机一(16)安装在往复座(13)上，且伺服电机一(16)的输出轴竖直设置，齿轮固定在伺服电机一(16)的输出轴端部，且齿轮与齿条(15)相啮合，立柱(2)上均还固定有底板(3)，底板(3)上固定有伺服电机二(5)，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆金发，杨琦，郁曹佳，刘烽，殷秋鹤，
申请(专利权)人：嘉兴联康沃源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：