微机电系统声波转换器技术方案

本发明专利技术提供了一种微机电系统声波转换器。所述声波转换器包含第一板、间隔层以及在第一板和间隔层之上的第二板。所述第一板包含一载板、第一衬底层和第一金属层。所述载板具有形成在中央区域中的第一开口。所述第一衬底层位于所述载板上以及所述第一开口的上方。所述第一金属层位于所述第一衬底层上。所述间隔层位于所述第一板上并围绕所述中央区域。所述第二板包含第二衬底层、位于所述间隔层上的第二金属层、以及贯穿所述第二衬底层与所述第二金属层的多个第二开口。层的多个第二开口。层的多个第二开口。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统声波转换器


[0001]本专利技术实施例涉及一种微机电系统声波转换器。

技术介绍

[0002]随着电子和信息产业的快速发展，多媒体播放器设备也朝越来越小型化和便携化而发展。例如，电子便携式媒体播放器(PMP)或数字音频播放器(DAP)即是一种可以存储和播放多媒体文件的便携式电子设备。上述设备都需要扬声器来播放声音，但是现有的扬声器结构和制造技术不利于集成到需要轻薄短小的多媒体播放设备中。为了弥补这种不足，开发了以下技术手段。

技术实现思路

[0003]本专利技术之一态样提供了一种声波转换器。所述声波转换器包含第一板、间隔层以及在所述第一板和所述间隔层之上的第二板。所述第一板包含载板、第一衬底层和第一金属层。在所述载板的中央区域中形成有第一开口。所述第一衬底层位于所述载板上以及所述第一开口上方。所述第一金属层位于所述第一衬底层上。所述间隔层位于所述第一板上并围绕所述中央区域。所述第二板包含第二衬底层、位于所述间隔层上的第二金属层、以及贯穿所述第二衬底层与所述第二金属层的多个第二开口。
[0004]本专利技术之另一态样提供了一种声波转换器模块。所述声波转换器模块包含第一声波转换器、第一封胶壁、顶盖和第一信号处理单元。所述第一声波转换器包含第一底板、第一间隔层和第一顶板。所述第一底板包含第一玻璃层、形成在所述第一玻璃层的中央区域中的第一开口、位于所述第一玻璃层上且位于所述第一开口上方的第一衬底层、以及位于所述第一衬底层上的第一金属层。所述第一间隔层位于所述第一底板上并围绕所述第一玻璃层的中央区域。所述第一顶板具有多个第二开口。所述第一顶板还包含位于所述第一间隔层上的第二衬底层和第二金属层。所述第一封胶壁位于所述第一声波转换器的所述第一底板上。所述顶盖位于所述第一封胶壁上。所述第一信号处理电路耦接所述第一金属层与所述第二金属层。
附图说明
[0005]从结合附图来阅读的以下具体实施方式最好理解本公开的方面。应注意，根据行业标准做法，各种构件未按比例绘制。事实上，为使论述清楚，可任意增大或减小各种构件的尺寸。
[0006]图1是本揭示的用于形成微机电(microelectromechanical；MEMS)麦克风的方法实施例的流程图。
[0007]图2A是本揭示根据形成MEMS麦克风的方法在制造阶段MEMS麦克风的实施例的俯视图，图2B是沿图2A的线I
‑
I'截取的截面图，图2C是沿图2A的线II
‑
II'截取的截面图。
[0008]图3A是在图2A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图3B是沿图3A的线
I
‑
I'截取的截面图，图3C是沿图3A的线II
‑
II'截取的截面图。
[0009]图4A是在图3A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图4B是沿图4A的线I
‑
I'截取的截面图，图4C是沿图4A的线II
‑
II'截取的截面图。
[0010]图5A是在图4A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图5B是沿图5A的线I
‑
I'截取的截面图，图5C是沿图5A的线II
‑
II'截取的截面图。
[0011]图6A是在图5A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图6B是沿图6A的线I
‑
I'截取的截面图，图6C是沿图6A的线II
‑
II'截取的截面图。
[0012]图7是绘示本揭示包含压电式(Piezoelectric
‑
Based)MEMS麦克风的声波转换器的实施例的示意图。
[0013]图8是绘示本揭示包含压电式MEMS麦克风的声波转换器的实施例的示意图。
[0014]图9A是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的前视图，图9B是图9A中电容式MEMS麦克风的后视图。
[0015]图10是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意分解图。
[0016]图11是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意分解图。
[0017]图12是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意截面图。
[0018]图13是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意分解图。
[0019]图14是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意截面图。
[0020]图15是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意截面图。
[0021]图16是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意截面图。
[0022]图17是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意截面图。
[0023]图18是本揭示的电容式MEMS麦克风的实施例的示意截面图。
[0024]图19A是绘示本揭示包含电容式MEMS麦克风的声波转换器的实施例的示意图，图19B是图19A的声波转换器俯视图。
[0025]图20是绘示本揭示包含MEMS麦克风的声波转换器的实施例的示意图。
[0026]图21是绘示本揭示包含MEMS麦克风的声波转换器的实施例的示意图。
[0027]图22是绘示本揭示声波转换器模块的实施例的示意图。
[0028]图23是本揭示的声波转换器模块的实施例的俯视图。
具体实施方式
[0029]在以下详细描述中，阐述了许多具体细节以提供对本公开的透彻理解。然而，本领域技术人员应可理解，可以在没有这些具体细节的情况下，实施本专利技术。在其他情况下，为避免混淆本专利技术，众所周知的方法、过程、组件和电路未予赘述。
[0030]本专利技术提供了多种用于实现膜片的实施例，与声波转换器中使用的其他类型的MEMS麦克风相比，所述膜片具有显著的性能优势。
[0031]下文详细讨论本揭示实施例的制作和使用。然而，应当理解的是，本文所提供的目标提供了许多可应用的专利技术概念，这些概念可以具体表现在各式各样的特定上下文中。本文讨论的特定实施例仅是说明性的，因此旨不在限制所提供目标的范围。
[0032]参考图1，图1表示根据本揭示之态样的用于形成MEMS麦克风的方法10。方法10可用于形成不同类型的MEMS麦克风。例如，在一些实施例中，方法10是用于形成压电式MEMS麦
克风的方法。方法10包含多个操作步骤(11、12、13、14和15)。将根据一或多个实施例进一步描述方法10。应当注意，可以在各个态样的范围内重新安排或以其他方式修改方法10的操作。还应注意，可以在方法10之前、之间和之后提供额外的过程，并且在此一些其他过程可能仅作简要描述。因此，在本文描述的各个态样的范围内，可能会有其他实施方式。
[0033]图2A到2C是根据本揭示一些实施例的用于形成MEMS麦克风之方法在各个阶段的MEMS麦克风(即，压电式MEMS麦克风)示意图。在步骤11，参考图2A，接收一载板102。在一些实施例中，载板102可以是玻璃，但本揭示不限于此。例如，作为载板1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声波转换器，包含：第一板，包含：载板，其具有形成在所述载板的中央区域中的第一开口；第一衬底层，其位于所述载板上以及所述第一开口上方；及第一金属层，其位于所述第一衬底层上；间隔层，其位于所述第一板上并围绕所述中央区域；及第二板，其在所述第一板以及所述间隔层上方，并且包含：第二衬底层；第二金属层，其位于所述间隔层上；及多个第二开口，其贯穿所述第二衬底层与所述第二金属层。2.根据权利要求1所述的声波转换器，其中所述间隔层形成围绕所述中央区域的封闭式支撑壁。3.根据权利要求1所述的声波转换器，其中所述间隔层包含围绕所述中央区域的多个支撑壁。4.根据权利要求1所述的声波转换器，进一步包含导电胶层，位于所述间隔层的顶部和侧壁上并电气连接所述第二金属层。5.根据权利要求1所述的声波转换器，其中所述载板具有厚度梯度。6.一种声波转换器模块，包含：第一声波转换器，包含：第一底板，包含：第一玻璃层，其具有形成在所述第一玻璃层的中央区域中的第一开口；第一衬底层，其位于所述第一玻璃层上以及所述第一开口上方；及第一金属层，其位于所述第一衬底层上；第一间隔层，其位于所述第一底板上并围绕所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林孝义，陈冠杰，魏一峰，周耀圣，
申请(专利权)人：玻音先创科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：