一种自带限位机构的光刻机制造技术

本发明专利技术涉及光刻机进料技术领域，具体为一种自带限位机构的光刻机，导向座贴合支撑底杆的侧壁，导向座的端面上设置有卡块，卡块与导向座弹性挤压，支撑底杆的端面上设置有与卡块配合插接的定位卡槽，支撑底杆的下端压合在导轨的上端面，有益效果为：通过设置升降盘与载物台的配合连接，从而在实现自动调节载物台高度的同时，带动升降盘下降，利用升降盘的下降挤压，使得支撑底杆压合在导轨上，实现对两侧的稳定支撑，同时在下降过程中通过第二弹簧的复位弹力，使得卡块错位卡接达到固定支撑底杆的目的。的目的。的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种自带限位机构的光刻机


[0001]本专利技术涉及光刻机进料
，具体为一种自带限位机构的光刻机。

技术介绍

[0002]一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
[0003]在进行光刻机加工过程中，为了实现硅片的工序位置转换，通过采用滚轮、传动带等传输装置对硅片的位置进行切换，现有技术中大多采用摩擦力实现传输过程中的硅片位置停止。
[0004]然而在实际生成过程中，由于硅片的光刻加工工艺复杂，精度要求高，需要使得硅片的位置保持稳定，避免产生偏移，而单纯的依靠刹车装置的摩擦力实现位置固定难以满足精度的要求，同时在进行装载硅片的载物台还需进行高度的调节，而运输装置难以高度调节和位置固定的目的。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种自带限位机构的光刻机，以解决光刻机中硅片的定位和调节问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种自带限位机构的光刻机，所述光刻机包括输送组件和限位组件；
[0008]所述输送组件包括固定在光刻机上的导轨、运输块和载物台，所述运输块的下端设置有电机驱动的滚轮，滚轮安装在导轨上，运输块的上端通过升降柱连接载物台，载物台的下端设置有左右对称的一对定位压杆，运输块的内腔中间竖直滑动插接有升降杆，升降杆上设置有长圆压槽，运输块的中间段横向插接有左右对称的一对伸缩块，伸缩块的另一端设置有插杆，插杆与运输块的内壁之间设置有第一弹簧，插杆的端部设置为单侧锥头，单侧锥头的下端倾斜面压合在长圆压槽的下端内壁上；
[0009]所述限位组件包括升降盘和伸缩块，所述升降盘滑动套接在运输块的外壁上，升降盘位于伸缩块的下端，升降盘的外壁转动安装有左右对称的一对支撑底杆，运输块的下端倾斜固定安装一对调节转杆，所述调节转杆的端部安装有导向座，所述导向座贴合支撑底杆的侧壁，导向座的端面上设置有卡块，卡块与导向座弹性挤压，支撑底杆的端面上设置有与卡块配合插接的定位卡槽，支撑底杆的下端压合在导轨的上端面，升降杆的下端连接有拉绳，拉绳的另一端延伸至运输块的外侧，拉绳的端部固定在卡块上。
[0010]优选的，所述升降盘的上端设置有圆环槽，所述定位压杆的下端固定压合在升降盘上，定位压杆的外壁贴合升降盘的圆环槽内壁。
[0011]优选的，所述升降盘的内孔上下两端分别设置有倒角，所述伸缩块的端部延伸至运输块的外侧，且伸缩块的端部设置有半球形。
[0012]优选的，所述导轨的两侧对称设置有一对调节槽，调节槽上滑动插接有一对定位
块，定位块的下端通过固定螺栓固定在导轨上，定位块的侧壁与支撑底杆的下端外壁压合。
[0013]优选的，所述升降盘的两侧外壁对称设置有第一铰座，所述支撑底杆的上端转动安装在第一铰座上，支撑底杆的下端内壁设置有滑槽，所述导向座的一侧端面与支撑底杆的下端倾斜面平行，且导向座滑动插接在滑槽中，调节转杆和运输块的外壁上均设置有第二铰座，所述导向座和调节转杆固定套接在第二铰座上。
[0014]优选的，所述定位卡槽设置在滑槽中，导向座的端面上设置有向内侧凹陷的收纳槽，所述卡块滑动插接在收纳槽中，卡块与收纳槽的内壁之间压合有第二弹簧。
[0015]优选的，所述运输块的内腔竖直设置有升降槽，升降槽的上端端部设置有宽度大于升降槽的限位槽，所述升降杆的上端设置有限位板，限位板滑动插接在限位槽中。
[0016]优选的，所述升降槽的中间段两侧连通有对称设置的一对伸缩槽，所述伸缩块的一端延伸至伸缩槽中，且伸缩块的端部与插杆之间设置有挡板，挡板滑动安装在伸缩槽中，第一弹簧压合在挡板与伸缩槽的内壁之间。
[0017]优选的，所述所述升降槽的下端横向设置有贯穿运输块的线槽，线槽与升降槽垂直连接位置对称设置有一对导向轮，所述拉绳沿线槽延伸至运输块中，拉绳沿导向轮平滑垂直弯折并延伸固定在升降杆的下端。
[0018]优选的，所述运输块的前端设置有螺钉紧固安装的防护盖板，防护盖板封闭覆盖在升降槽、伸缩槽、限位槽、线槽的前端。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0020]本专利技术通过设置升降盘与载物台的配合连接，从而在实现自动调节载物台高度的同时，带动升降盘下降，利用升降盘的下降挤压，使得支撑底杆压合在导轨上，实现对两侧的稳定支撑，同时在下降过程中通过第二弹簧的复位弹力，使得卡块错位卡接达到固定支撑底杆的目的，在复位上升时，通过拉绳的牵引，使得卡块复位，达到解除支撑的目的，从而实现高度调节与固定安装的结合，大大提高了运输的稳定性和便捷性。
附图说明
[0021]图1为本专利技术的结构示意图；
[0022]图2为本专利技术的主视图；
[0023]图3为图1中A处结构放大图；
[0024]图4为图1中B处结构放大图；
[0025]图5为本专利技术的运输块立体结构剖视图；
[0026]图6为本专利技术的伸缩块立体结构示意图。
[0027]图中：1、运输块；2、导轨；3、滚轮；4、调节槽；5、定位块；6、固定螺栓；7、升降柱；8、载物台；9、定位压杆；10、升降盘；11、第一铰座；12、调节转杆；13、防护盖板；14、支撑底杆；15、第二铰座；16、拉绳；17、限位槽；18、伸缩槽；19、升降槽；20、升降杆；21、长圆压槽；22、伸缩块；23、挡板；24、第一弹簧；25、滑槽；26、导向座；27、定位卡槽；28、卡块；29、收纳槽；30、第二弹簧；31、插杆；32、单侧锥头；33、导向轮；34、线槽；35、限位板。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]请参阅图1至图6，本专利技术提供一种技术方案：
[0030]实施例1：
[0031]一种自带限位机构的光刻机，光刻机包括输送组件和限位组件。
[0032]输送组件包括固定在光刻机上的导轨2、运输块1和载物台8，运输块1的下端设置有电机驱动的滚轮3，滚轮3安装在导轨2上，通过导轨2和滚轮3的配合，实现运输块1的定位运输。
[0033]运输块1的上端通过升降柱7连接载物台8，载物台8的下端设置有左右对称的一对定位压杆9，升降盘10的上端设置有圆环槽，定位压杆9的下端压合固定在升降盘10上，定位压杆9的外壁贴合升降盘10的圆环槽内壁，通过升降柱7控制载物台8升降运动。
[0034]升降盘10的外壁转动安装有左右对称的一对支撑底杆14，运输块1的下端倾斜固定安装一对调节转杆12，调节转杆12的端部安装有导向座26，导向座26贴合支撑底杆14的侧壁，导向座26的端面上设置有卡块28，卡块28与导向座26弹性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自带限位机构的光刻机，其特征在于：所述光刻机包括输送组件和限位组件；所述输送组件包括固定在光刻机上的导轨(2)、运输块(1)和载物台(8)，所述运输块(1)的下端设置有电机驱动的滚轮(3)，滚轮(3)安装在导轨(2)上，运输块(1)的上端通过升降柱(7)连接载物台(8)，载物台(8)的下端设置有左右对称的一对定位压杆(9)，运输块(1)的内腔中间竖直滑动插接有升降杆(20)，升降杆(20)上设置有长圆压槽(21)，运输块(1)的中间段横向插接有左右对称的一对伸缩块(22)，伸缩块(22)的另一端设置有插杆(31)，插杆(31)与运输块(1)的内壁之间设置有第一弹簧(24)，插杆(31)的端部设置为单侧锥头(32)，单侧锥头(32)的下端倾斜面压合在长圆压槽(21)的下端内壁上；所述限位组件包括升降盘(10)和伸缩块(22)，所述升降盘(10)滑动套接在运输块(1)的外壁上，升降盘(10)位于伸缩块(22)的下端，升降盘(10)的外壁转动安装有左右对称的一对支撑底杆(14)，运输块(1)的下端倾斜固定安装一对调节转杆(12)，所述调节转杆(12)的端部安装有导向座(26)，所述导向座(26)贴合支撑底杆(14)的侧壁，导向座(26)的端面上设置有卡块(28)，卡块(28)与导向座(26)弹性挤压，支撑底杆(14)的端面上设置有与卡块(28)配合插接的定位卡槽(27)，支撑底杆(14)的下端压合在导轨(2)的上端面，升降杆(20)的下端连接有拉绳(16)，拉绳(16)的另一端延伸至运输块(1)的外侧，拉绳(16)的端部固定在卡块(28)上。2.根据权利要求1所述的一种自带限位机构的光刻机，其特征在于：所述升降盘(10)的上端设置有圆环槽，所述定位压杆(9)的下端压合固定在升降盘(10)上，定位压杆(9)的外壁贴合升降盘(10)的圆环槽内壁。3.根据权利要求2所述的一种自带限位机构的光刻机，其特征在于：所述升降盘(10)的内孔上下两端分别设置有倒角，所述伸缩块(22)的端部延伸至运输块(1)的外侧，且伸缩块(22)的端部设置有半球形。4.根据权利要求1所述的一种自带限位机构的光刻机，其特征在于：所述导轨(2)的两侧对称设置有一对调节槽(4)，调节槽(4)上滑动插接有一对定位块(5)，定位块(5)的下端通过固定螺栓(6)固定在导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜忠平，
申请(专利权)人：杜忠平，
类型：发明
国别省市：