本实用新型专利技术涉及化学气相沉积领域，尤其涉及一种按压式可控化学气相沉积装置。一种按压式可控化学气相沉积装置，包括箱体、一侧转动连接于所述箱体上方的箱盖，所述箱盖中央上方设有插件筒，所述插件筒中螺纹连接有按压机构，所述箱体底部接触连接有开盖机构，所述开盖机构的顶部与所述按压机构的底部位于同一轴线上，所述开盖机构底部设有化学试剂瓶，所述化学试剂瓶上转动连接有瓶盖，所述瓶盖与所述开盖机构转动连接。利用这种结构，实现了一种沉积效率高、沉积过程可控、沉积效果好的按压式可控化学气相沉积装置。压式可控化学气相沉积装置。压式可控化学气相沉积装置。
【技术实现步骤摘要】
一种按压式可控化学气相沉积装置
[0001]本技术涉及化学气相沉积领域，尤其涉及一种按压式可控化学气相沉积装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。化学气相沉积一般用于构建粗糙表面或者在粗糙表面沉积膜层，还可以在膜层或者其他粗糙结构上修饰低表面自由能物质。
[0003]化学气相沉积反应装置是实现上述工艺的关键设备。现有技术中，大都是将较易挥发的反应前体通过氢气或氮气等载气携带到反应腔内，从而引发化学反应。该工艺过程往往不可控，不能很好地实现薄膜均匀生长。因此，如何改进化学气相沉积过程不可控、气体消耗量大、薄膜生长不均匀等缺点，是本领域技术人员目前需要解决的技术难题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种按压式可控化学气相沉积装置，以解决上述问题，达到提高沉积效率、控制沉积过程、提高沉积效果的目的。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0006]一种按压式可控化学气相沉积装置，包括箱体、一侧转动连接于所述箱体上方的箱盖，所述箱盖中央上方设有插件筒，所述插件筒中螺纹连接有按压机构，所述箱体底部接触连接有开盖机构，所述开盖机构的顶部与所述按压机构的底部位于同一轴线上，所述开盖机构底部设有化学试剂瓶，所述化学试剂瓶上转动连接有瓶盖，所述瓶盖与所述开盖机构转动连接。
[0007]优选的，所述按压机构包括带口螺塞，所述带口螺塞与所述插件筒螺纹连接，所述带口螺塞上端螺纹连接有锁紧螺母，所述带口螺塞中部一侧开设有通气孔，所述带口螺塞内部套设有按压筒，所述按压筒侧壁设有与所述通气孔对应的开口，所述按压筒顶部与所述锁紧螺母底部接触设置，所述按压筒下方螺纹连接有尖套；
[0008]所述按压筒内部上方套设有按压头，所述按压头下方接触连接有滑爪，所述滑爪下方接触连接有推杆，所述推杆位于所述按压筒内部，所述推杆下方固定连接有撞针，所述撞针外侧套设有弹簧，所述弹簧位于所述尖套内侧底部和所述推杆底端之间，所述尖套上开设有与所述撞针匹配的孔洞，所述撞针穿过所述尖套上的孔洞。
[0009]优选的，所述开盖机构包括底座，所述底座与所述箱体内侧底部接触连接，所述底座上方内部滑动连接有滑块推杆，所述滑块推杆下方设有位于所述底座上方内部的回位弹簧；所述滑块推杆与所述撞针位于同一轴线上；
[0010]所述底座上端设有与所述滑块推杆对应的滑动孔，所述滑块推杆一侧固定连接有滑块，所述滑块竖直滑动连接在所述滑动孔内，所述滑块与所述瓶盖之间连接有联动杆结
构。
[0011]优选的，所述联动杆结构包括第一传动机构、第二传动机构；
[0012]所述第一传动机构包括第一连杆，所述第一连杆与所述瓶盖固定连接，所述第一连杆的中部转动连接有第六连杆，所述第一连杆远离所述瓶盖的一端转动连接有第二连杆，所述底座的中部转动连接有L型的第三连杆，所述第三连杆的L型的转弯处与所述底座转动连接，所述第三连杆的L型长柄端与所述第二连杆中部转动连接，所述第三连杆的L型短柄端与所述第六连杆远离所述第一连杆的一端转动连接；所述第一连杆靠近所述瓶盖的一端底部固定连接有凸起，所述化学试剂瓶侧壁与所述凸起铰接。
[0013]所述第二传动机构包括第五连杆，所述第五连杆的一端与所述滑块转动连接，所述第五连杆远离所述滑块的一端转动连接有第四连杆，所述第四连杆远离所述第五连杆的一端转动连接在所述底座上，所述第四连杆与第二连杆转动连接。
[0014]优选的，所述箱体内的下侧设有隔板，所述隔板中央开设有圆形孔洞，围绕所述圆形孔洞设有若干通气孔，所述开盖机构穿过所述圆形孔洞。
[0015]优选的，所述按压筒上设有与所述滑爪对应的导轨，所述按压头上设有与所述导轨对应的限位块。
[0016]优选的，所述按压头下方为锯齿结构，所述滑爪上设有与锯齿结构对应的凸齿，所述凸齿上表面转动连接有球面滚子。
[0017]优选的，所述箱体与所述箱盖通过锁止机构卡接，所述箱体、所述箱盖远离所述锁止机构的一侧设有连接转轴。
[0018]本技术具有如下技术效果：
[0019]通过设置按压机构与开盖机构相互配合，可以实现对开盖机构底部的化学试剂瓶的打开和关闭进行有效控制，而设置密闭的箱体与箱盖为化学气相沉积反应提供了稳定的外界环境，降低了干扰，提升了化学气相沉积的效率，从而对化学气相沉积的过程进行控制，利用这种结构，实现了一种沉积效率高、沉积过程可控、沉积效果好的按压式可控化学气相沉积装置。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术的剖视图；
[0022]图2为按压机构的示意图；
[0023]图3为开盖机构的示意图；
[0024]图4为图2的A部分示意图；
[0025]图5为图1的B部分中的导轨示意图；
[0026]图6为按压筒的剖视图；
[0027]其中，1、箱体；2、箱盖；3、锁止机构；4、按压机构；5、开盖机构；6、隔板；7、导轨；401、尖套；402、弹簧；403、推杆；404、带口螺塞；405、锁紧螺母；406、按压头；407、球面滚子；
408、按压筒；409、通气孔；410、撞针；411、滑爪；501、底座；502、第一连杆；503、第二连杆；504、第三连杆；505、第四连杆；506、第五连杆；507、滑块推杆；508、回位弹簧；509、第六连杆；510、化学试剂瓶；701、限位阻块；702、滑爪浅轨；703、滑爪深轨；704、开口。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0030]根据图1
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6：一种按压式可控化学气相沉积装置，包括箱体1、一侧转动连接于箱体1上方的箱盖2，箱盖2中央上方设有插件筒，插件筒中螺纹连接有按压机构4，箱体1底部接触连接有开盖机构5，开盖机构5的顶部与按压机构4的底部位于同一轴线上，开盖机构5底部设有化学试剂瓶510，化学试剂瓶510上转动连接有瓶盖，瓶盖与开盖机构5转动连接。
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种按压式可控化学气相沉积装置，其特征在于，包括箱体(1)、一侧转动连接于所述箱体(1)上方的箱盖(2)，所述箱盖(2)中央上方设有插件筒，所述插件筒中螺纹连接有按压机构(4)，所述箱体(1)底部接触连接有开盖机构(5)，所述开盖机构(5)的顶部与所述按压机构(4)的底部位于同一轴线上，所述开盖机构(5)底部设有化学试剂瓶(510)，所述化学试剂瓶(510)上转动连接有瓶盖，所述瓶盖与所述开盖机构(5)转动连接。2.根据权利要求1所述的一种按压式可控化学气相沉积装置，其特征在于，所述按压机构(4)包括带口螺塞(404)，所述带口螺塞(404)与所述插件筒螺纹连接，所述带口螺塞(404)上端螺纹连接有锁紧螺母(405)，所述带口螺塞(404)中部一侧开设有通气孔(409)，所述带口螺塞(404)内部套设有按压筒(408)，所述按压筒(408)侧壁设有与所述通气孔(409)对应的开口(704)，所述按压筒(408)顶部与所述锁紧螺母(405)底部接触设置，所述按压筒(408)下方螺纹连接有尖套(401)；所述按压筒(408)内部上方套设有按压头(406)，所述按压头(406)下方接触连接有滑爪(411)，所述滑爪(411)下方接触连接有推杆(403)，所述推杆(403)位于所述按压筒(408)内部，所述推杆(403)下方固定连接有撞针(410)，所述撞针(410)外侧套设有弹簧(402)，所述弹簧(402)位于所述尖套(401)内侧底部和所述推杆(403)底端之间，所述尖套(401)上开设有与所述撞针(410)匹配的孔洞，所述撞针(410)穿过所述尖套(401)上的孔洞。3.根据权利要求2所述的一种按压式可控化学气相沉积装置，其特征在于，所述开盖机构(5)包括底座(501)，所述底座(501)与所述箱体(1)内侧底部接触连接，所述底座(501)上方内部滑动连接有滑块推杆(507)，所述滑块推杆(507)下方设有位于所述底座(501)上方内部的回位弹簧(508)；所述滑块推杆(507)与所述撞针(410)位于同一轴线上；所述底座(501)上端设有与所述滑块推杆(507)对应的滑动孔，所述滑块推杆(507)一侧固定连接有滑块，所述滑块竖直滑动连接在所述滑动孔内...
【专利技术属性】
技术研发人员：解林坤，唐唯，蹇玉兰，万辉，
申请(专利权)人：西南林业大学，
类型：新型
国别省市：
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