适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，包括：底座，底座的一端与机架连接，其另一端与平底板连接，平底板的中心处开设容许延长管通过的中心孔；波纹管；直线驱动机构，两个直线驱动机构对称地位于波纹管的两侧，直线驱动机构的上端安装在平底板下方，直线驱动机构的下端与波纹管的下端连接，直线驱动机构驱动波纹管的下端在垂直于副室上端面方向上下运动。本发明专利技术通过直线驱动机构驱动波纹管上下直线运动，以实现波纹管与副室在脱离状态和结合状态之间切换，有效解决现有技术中杠杆机构的端部圆弧运动导致波纹管形成水平方向上的侧向位移、密封圈唇部密封位置的拖带、过早磨损以及疲劳的问题，延长波纹管的使用寿命。的使用寿命。的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置


[0001]本专利技术涉及硬轴单晶炉领域，尤其是涉及一种适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置。

技术介绍

[0002]硬轴单晶炉不存在软轴单晶炉软轴系统类似于单摆和弹簧振子容易产生固有共振干扰的结构特点，在提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质方面相对软轴更有优势。但是硬轴系统结构相对更加复杂，为保证高位置精度，硬轴单晶炉的晶体提升部件是固定在机架上的。而下部的副室在清理热场及加料时，需要移开。因此就存在晶体提升部件与副室间的结合及脱离的问题。同时副室与晶体提升部件在结合时需要保持真空密封。
[0003]现有的技术中，晶体提升部件与副室间的结合及脱离动作是通过电缸推动杠杆机构摆动产生上下方向上的运动实现，但杠杆机构的端部运动轨迹不是垂直于水平面的直线，而是一段圆弧，从而导致波纹管形成水平方向上的侧向位移。波纹管下法兰的侧向位移会导致波纹管膜片间产生应力，缩减了波纹管的使用寿命，而且波纹管下法兰形成侧向位移后，下法兰的下端面将不平行于副室的上端面，导致密封圈唇部密封位置的拖带、过早磨损以及产生密封圈的疲劳，导致密封失效问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术在于提出一种适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
[0006]一种适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，所述波纹管提升装置安装在机架上，所述波纹管提升装置包括：/>[0007]底座，所述底座的一端与机架连接，其另一端与平底板连接，所述平底板的中心处开设容许延长管通过的中心孔；
[0008]波纹管，所述波纹管位于所述中心孔与副室上端面中心孔之间，所述波纹管上端与晶体提升装置的延长管的底部连接；
[0009]直线驱动机构，所述直线驱动机构有两个，两个所述直线驱动机构对称地位于所述波纹管的两侧，所述直线驱动机构的上端安装在所述平底板下方，所述直线驱动机构的下端与所述波纹管的下端连接，所述直线驱动机构驱动所述波纹管的下端在垂直于副室上端面方向上下运动，以使波纹管与副室在脱离状态和结合状态之间切换。
[0010]在本专利技术的一些实施例中，所述底座包括连接板、立杆和支架，所述立杆竖直设置，所述立杆的一侧下部垂直固定连接连接板，所述立杆的另一侧上部垂直固定连接支架，所述支架远离所述立杆的一端固定连接安装框，所述安装框的上表面固定连接所述平底板。
[0011]在本专利技术的一些实施例中，所述直线驱动机构包括丝杆、丝杆螺母和螺母座，所述
螺母座内安装有丝杆螺母，所述丝杆螺母与丝杆螺纹连接，所述丝杆的上端通过带轮传动机构与动力机构连接。
[0012]在本专利技术的一些实施例中，所述带轮传动机构包括主动轮、张紧轮、两个从动轮和同步带，所述主动轮、张紧轮和两个从动轮位于所述平底板上表面的四角处，所述主动轮和所述张紧轮对向设置，两个所述从动轮对向设置，所述主动轮与所述动力机构的输出端连接，所述同步带依次绕过主动轮、一个从动轮、张紧轮和另一个从动轮，两个所述从动轮的中心分别连接一个所述直线驱动机构的丝杆。
[0013]在本专利技术的一些实施例中，所述波纹管提升装置还包括自适应转动机构，用于动态适应副室上端面与水平面之间的倾斜，所述自适应转动机构包括铰链块和铰链块轴，所述铰链块下表面固定在所述波纹管的下法兰上，所述铰链块远离所述波纹管的一侧固定在所述铰链块轴上，所述铰链块轴与所述螺母座转动连接。
[0014]在本专利技术的一些实施例中，所述铰链块轴的一端沿周向向外凸起形成挡环，所述螺母座靠近所述波纹管的一端开设有容纳所述铰链块轴的圆孔，所述铰链块轴套设在带肩减磨套内，所述铰链块轴和带肩减磨套伸入至圆孔内并通过销轴固定环固定。
[0015]在本专利技术的一些实施例中，所述平底板的下方设置有位置检测机构，所述位置检测机构包括行程开关支架、上行程开关、下行程开关和撞块，所述行程开关支架位于所述螺母座的外侧，且所述行程开关支架与所述螺母座平行设置，所述行程开关支架的上部垂直安装有上行程开关，所述行程开关支架的下部垂直安装有下行程开关，所述螺母座靠近所述行程开关支架的一侧上部安装有撞块。
[0016]在本专利技术的一些实施例中，所述行程开关支架的上部和下部分别开设用于安装上行程开关和下行程开关的高度调节孔。
[0017]在本专利技术的一些实施例中，所述波纹管提升装置还包括同心调整机构，用于调整所述波纹管提升装置与晶体提升装置的同心度，所述同心调整机构包括横向调节孔和纵向调节孔，所述横向调节孔和所述纵向调节孔相互垂直设置，所述连接板上沿周向开设多个所述横向调节孔，所述波纹管提升装置通过拉紧螺栓穿过所述横向调节孔与所述机架螺纹连接，所述安装框上沿周向均匀开设有多个所述纵向调节孔，所述安装框通过螺栓穿过所述纵向调节孔与所述平底板螺纹连接，所述横向调节孔用于调整波纹管提升装置在前后方向的位置，所述纵向调节孔用于调整波纹管提升装置在左右方向的位置。
[0018]在本专利技术的一些实施例中，所述同心调整机构还包括同心调节孔和顶紧螺栓，所述连接板在所述同心调节孔的外侧分别开设一个高度调节孔，所述顶紧螺栓穿过所述同心调节孔顶在所述机架上，所述同心调节孔和所述顶紧螺栓用于调整所述波纹管提升装置在上下方向的位置。
[0019]与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
[0020](1)本专利技术的适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置通过动力机构的旋转运动，驱动主动轮，再通过同步带带动丝杆旋转，从而驱动螺母座上下运动，螺母座的上下运动带动波纹管底部与副室上端面在脱离状态和结合状态之间切换。
[0021](2)本专利技术中直线驱动机构有两个，两个直线驱动机构对称地位于波纹管的两侧，直线驱动机构包括丝杆、丝杆螺母和螺母座，螺母座内安装有丝杆螺母，丝杆螺母与丝杆螺纹连接，丝杆的上端通过带轮传动机构与动力机构连接。直线驱动机构能够通过驱动丝杆
推动螺母座作上下直线运动，进而带动波纹管做上下直线运动，有效解决现有技术中杠杆机构的端部圆弧运动导致波纹管形成水平方向上的侧向位移、密封圈唇部密封位置的拖带、过早磨损以及产生密封圈的疲劳的问题，从而延长波纹管的使用寿命。
[0022](3)本专利技术中带轮传动机构包括主动轮、张紧轮、两个从动轮和同步带，主动轮与动力机构的输出端连接，同步带依次绕过主动轮、一个从动轮、张紧轮和另一个从动轮，两个从动轮的中心分别连接一个直线驱动机构的丝杆。带轮传动机构能驱动两个丝杆产生同步的旋转运动，张紧轮的设置，一方面起到同步带张紧的作用，另一方面，通过张紧轮将同步带进一步撑大，以形成允许延长管通过的足够大的空间。
[0023](4)本专利技术中自适应转动机构包括铰链块和铰链块轴，铰链块下表面固定在波纹管的下法兰上，铰链块远离波纹管的一侧固定在铰链块轴上，铰链块轴与螺母座转动连接。可以理解的是，当副室上端面前后方向发生倾斜时，波纹管自适应地跟随副室上端面倾斜，铰链块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，所述波纹管提升装置安装在机架上，其特征在于，所述波纹管提升装置包括：底座，所述底座的一端与机架连接，其另一端与平底板连接，所述平底板的中心处开设容许延长管通过的中心孔；波纹管，所述波纹管位于所述中心孔与副室上端面中心孔之间，所述波纹管上端与晶体提升装置的延长管的底部连接；直线驱动机构，所述直线驱动机构有两个，两个所述直线驱动机构对称地位于所述波纹管的两侧，所述直线驱动机构的上端安装在所述平底板下方，所述直线驱动机构的下端与所述波纹管的下端连接，所述直线驱动机构驱动所述波纹管的下端在垂直于副室上端面方向上下运动，以使波纹管与副室在脱离状态和结合状态之间切换。2.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，其特征在于，所述底座包括连接板、立杆和支架，所述立杆竖直设置，所述立杆的一侧下部垂直固定连接连接板，所述立杆的另一侧上部垂直固定连接支架，所述支架远离所述立杆的一端固定连接安装框，所述安装框的上表面固定连接所述平底板。3.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，其特征在于，所述直线驱动机构包括丝杆、丝杆螺母和螺母座，所述螺母座内安装有丝杆螺母，所述丝杆螺母与丝杆螺纹连接，所述丝杆的上端通过带轮传动机构与动力机构连接。4.根据权利要求3所述的适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，其特征在于，所述带轮传动机构包括主动轮、张紧轮、两个从动轮和同步带，所述主动轮、张紧轮和两个从动轮位于所述平底板上表面的四角处，所述主动轮和所述张紧轮对向设置，两个所述从动轮对向设置，所述主动轮与所述动力机构的输出端连接，所述同步带依次绕过主动轮、一个从动轮、张紧轮和另一个从动轮，两个所述从动轮的中心分别连接一个所述直线驱动机构的丝杆。5.根据权利要求3所述的适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，其特征在于，还包括自适应转动机构，用于动态适应副室上端面与水平面之间的倾斜，所述自适应转动机构包括铰链块和铰链块轴，所述铰链块下表面固定在所述波纹管的下法兰上，所述铰链块远离所述波纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建军，汪佳，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：