本发明专利技术实施例涉及微量气体配制技术领域，特别涉及一种微量气体的配置方法。其中，方法包括：利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗，使得冲洗完成后待配制气瓶和整体管路为正压状态；根据待配制微量气体各组分气体的目标浓度，确定配制各组分气体时每一个组分气体所需充入的目标压力值；在待配制气瓶和整体管路为正压状态下，分别根据除平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对待配制气瓶进行对应组分气体的配制；根据配制平衡气所需的目标压力值和预先确定好的向待配制气瓶充入的初始平衡气质量，在待配制气瓶和整体管路为正压状态下，对待配制气瓶进行平衡气配制。本发明专利技术提供的技术方案可以提高微量气体的配制纯度。量气体的配制纯度。量气体的配制纯度。
【技术实现步骤摘要】
微量气体的配制方法
[0001]本专利技术实施例涉微量气体配制
，特别涉及一种微量气体的配置方法。
技术介绍
[0002]微量气体配制技术应用非常广泛，在常规化学反应、燃料电池、环境检测、大气仿真、精密电子、医疗与生物等领域成为常见的应用技术。微量气体一般是指目标组分在总气体中的含量在mmol/mol甚至μmol/mol以下的组分配比。
[0003]目前，随着国民经济和科技水平的不断发展，特别是化学、电子工业的不断进步，对各种微量气体纯度的要求也越来越高。然而，相关技术中，在配制微量气体的过程中配制系统常常处于负压状态，这就使得大气中的气体因为压差的影响特别容易进入配制系统中，影响微量气体的配制纯度。
技术实现思路
[0004]为了提高微量气体的配制纯度，本专利技术实施例提供了一种微量气体的配制方法，包括：
[0005]利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗，使得冲洗完成后所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态；
[0006]根据待配制微量气体各组分气体的目标浓度，确定配制各组分气体时每一个组分气体所需充入的目标压力值；
[0007]在所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态下，分别根据除所述平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对所述待配制气瓶进行对应组分气体的配制；
[0008]根据配制所述平衡气所需的目标压力值和预先确定好的向所述待配制气瓶充入的初始平衡气质量，在所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态下，对所述待配制气瓶进行平衡气配制。
[0009]优选的，所述利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗之前，还包括：
[0010]S1、对待配制气瓶进行加热抽真空处理；
[0011]S2、将清洗气体充入所述待配制气瓶，然后放空所述待配制气瓶中的清洗气体，再将所述待配制气瓶抽真空至设定真空度；
[0012]S3、重复执行S2设定次数。
[0013]优选的，所述利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗，使得冲洗完成后所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态，包括：
[0014]A1、将待配制微量气体中的平衡气充入整体管路；
[0015]A2、对所述整体管路进行放空，直至所述整体管路的压力为第一设定正压值；
[0016]A3、重复跳转执行A1至A2设定次数，直至最后一次执行A2时，对所述整体管路放空至压力为第二设定正压值为止；
[0017]A4、连通所述待配制气瓶和所述整体管路；
[0018]A5、利用平衡气对所述待配制气瓶和所述整体管路进行冲洗，对所述整体管路和所述待配制气瓶进行放空，直至所述整体管路和所述待配制气瓶的压力为第三设定正压值；
[0019]A6、重复执行A5设定次数。
[0020]优选的，所述利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗之前，还包括：
[0021]确定符合真空度要求的待配制气瓶的初始重量；
[0022]在所述分别根据除所述平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对所述待配制气瓶进行对应组分气体的配制之前，还包括：
[0023]称量使用平衡气对所述待配制气瓶和所述整体管路进行冲洗后所述待配制气瓶的重量；
[0024]根据冲洗后所述待配制气瓶的重量和所述初始重量，确定向所述待配制气瓶充入的初始平衡气质量。
[0025]优选的，在所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态下，分别根据除所述平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对所述待配制气瓶进行对应组分气体的配制，包括：
[0026]针对除所述平衡气以外的每一个组分气体进行配制时，均执行：
[0027]B1、将该组分气体充入整体管路；
[0028]B2、对所述整体管路进行放空，直至所述整体管路的压力为第一设定正压值；
[0029]B3、重复跳转执行B1至B2设定次数，直至最后一次执行B2时，对所述整体管路放空至压力为第四设定正压值为止；所述第四设定正压值大于当前所述待配制气瓶的压力值；
[0030]B4、连通所述待配制气瓶和所述整体管路；
[0031]B5、向所述待配制气瓶充入对应目标压力值的该组分气体。
[0032]优选的，在所述将该组分气体充入整体管路之前，还包括：
[0033]利用所述平衡气重复对所述整体管路进行冲洗，并在每次冲洗后使所述整体管路的压力放空至第一设定正压值。
[0034]优选的，在所述向所述待配制气瓶充入对应目标压力值的该组分气体之后，还包括：
[0035]称量充入该组分气体之后所述待配制气瓶的重量；
[0036]根据充入该组分气体之后所述待配制气瓶的重量确定该组分气体的配制质量；
[0037]根据该组分气体的所述配制质量和该组分气体对应的所述目标压力值，确定是否继续进行下一个组分气体的配制。
[0038]优选的，所述根据配制所述平衡气所需的目标压力值和预先确定好的向所述待配制气瓶充入的初始平衡气质量，在所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态下，对所述待配制气瓶进行平衡气配制，包括：
[0039]C1、将所述平衡气充入整体管路；
[0040]C2、对所述整体管路进行放空，直至所述整体管路的压力为第一设定正压值；
[0041]C3、重复跳转执行C1至C2设定次数，直至最后一次执行C2时，对所述整体管路放空
至压力为第五设定正压值为止；所述第五设定正压值大于当前所述待配制气瓶的压力值；
[0042]C4、连通所述待配制气瓶和所述整体管路；
[0043]C5、根据所述平衡气所需的目标压力值和预先确定好的向所述待配制气瓶充入的初始平衡气质量，向所述待配制气瓶充入对应量的平衡气。
[0044]优选的，所述第二设定正压值大于所述待配制气瓶的体积与所述整体管道的体积的比值与大气压力的乘积。
[0045]优选的，所述整体管道的体积的计算过程为：
[0046]将指定压力的测量气体充入已知容量的测量气瓶；所述指定压力根据所述整体管道的体积确定；
[0047]称量所述测量气瓶的第一重量；
[0048]将所述测量气瓶中的测量气体充入所述整体管道内，确定所述整体管道的压力和所述测量气瓶的第二重量；
[0049]根据所述第一重量、所述第二重量、所述整体管道的压力、所述测量气体的平均分子质量和理想气体状态方程，计算所述整体管道的体积。
[0050]本专利技术实施例提供了一种微量气体的配制方法，首先利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗，使得冲洗完成后所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态；然后，根据待配制微量气体各组分气体的目标浓度，确定配制各组分气体时每一个组分气体所需充入的目标压力值；最后，在待配制气瓶和整体管路为正压状态下，分别根据各组分气体对应的目标压力值对待配制气瓶进行对应组分气体的配制，以及根据配制平衡气所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微量气体的配制方法，其特征在于，包括：利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗，使得冲洗完成后所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态；根据待配制微量气体各组分气体的目标浓度，确定配制各组分气体时每一个组分气体所需充入的目标压力值；在所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态下，分别根据除所述平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对所述待配制气瓶进行对应组分气体的配制；根据配制所述平衡气所需的目标压力值和预先确定好的向所述待配制气瓶充入的初始平衡气质量，在所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态下，对所述待配制气瓶进行平衡气配制。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗之前，还包括：S1、对待配制气瓶进行加热抽真空处理；S2、将清洗气体充入所述待配制气瓶，然后放空所述待配制气瓶中的清洗气体，再将所述待配制气瓶抽真空至设定真空度；S3、重复执行S2设定次数。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗，使得冲洗完成后所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态，包括：A1、将待配制微量气体中的平衡气充入整体管路；A2、对所述整体管路进行放空，直至所述整体管路的压力为第一设定正压值；A3、重复跳转执行A1至A2设定次数，直至最后一次执行A2时，对所述整体管路放空至压力为第二设定正压值为止；A4、连通所述待配制气瓶和所述整体管路；A5、利用平衡气对所述待配制气瓶和所述整体管路进行冲洗，对所述整体管路和所述待配制气瓶进行放空，直至所述整体管路和所述待配制气瓶的压力为第三设定正压值；A6、重复执行A5设定次数。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗之前，还包括：确定符合真空度要求的待配制气瓶的初始重量；在所述分别根据除所述平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对所述待配制气瓶进行对应组分气体的配制之前，还包括：称量使用平衡气对所述待配制气瓶和所述整体管路进行冲洗后所述待配制气瓶的重量；根据冲洗后所述待配制气瓶的重量和所述初始重量，确定向所述待配制气瓶充入的初始平衡气质量。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述待配制气瓶和所述整体管路为正压状态下，分别根据除所述平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对所述待配制气瓶进
行对应组分气体的配制，包括：针对...
【专利技术属性】
技术研发人员：王传福，王相文，姚显章，高天东，
申请(专利权)人：大连大特气体有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。