激光诱导击穿分光器制造技术

本发明专利技术提供了激光诱导击穿分光器。可以节省对分析点的摄像所需的时间和精力，并提高分析装置的可用性。作为激光诱导击穿分光器的分析观察装置包括：第一照相机；向样本发射激光的电磁波发射器；收集在样本中生成的等离子体光的反射物镜；生成强度分布谱的第一检测器和第二检测器；以及处理器。该处理器响应于接收到开始触发信号而控制第一照相机以生成作为用激光照射样本之前的图像的照射前图像，并且在控制第一照相机向样本发射激光之后控制电磁波发射器。磁波发射器。磁波发射器。

【技术实现步骤摘要】
激光诱导击穿分光器


[0001]本文公开的技术涉及激光诱导击穿分光器。

技术介绍

[0002]例如，JP 2020
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113569 A公开了被配置为进行对样本的成分分析的分析装置(分光装置)。具体地，JP 2020
‑
113569 A中公开的分光装置包括聚光透镜和收集头，该聚光透镜被配置为收集主电磁波(紫外激光)，该收集头被配置为收集响应于主电磁波而在样本表面上生成的副电磁波(等离子体)，以使用激光诱导击穿分光法(LIBS)进行成分分析。
[0003]根据JP 2020
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113569 A，从副电磁波的信号来测量样本的谱的峰，使得可以执行基于测量出的峰的样本的化学分析。
[0004]另一方面，JP 2020
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113569 A中公开的分光装置被配置成专门用于分析功能的装置。当使用这种装置时，需要用与分光装置分离的数字照相机等单独拍摄分析对象的图像，以留下样本的被摄像的分析点。
[0005]然而，使用数字照相机等的拍摄需要用户的时间和精力，并且在可用性方面造成不便。

技术实现思路

[0006]鉴于上述观点，已经做出了本文公开的技术，并且其目的是节省对分析点进行摄像所需的时间和精力，并提高分析装置的可用性。
[0007]根据本公开的一个实施例，提供了一种激光诱导击穿分光器，用于使用激光诱导击穿分光法进行对分析对象的成分分析。所述激光诱导击穿分光器包括：放置台，其上放置有分析对象；摄像部，用于接收放置在所述放置台上的所述分析对象所反射的反射光，并且检测所接收到的反射光的光接收量；激光发射器，用于向所述分析对象发射激光；收集头，用于收集在用从所述激光发射器发射的激光照射所述分析对象时在所述分析对象中生成的等离子体光；检测器，用于接收在所述分析对象中生成并由所述收集头收集的等离子体光，并且生成强度分布谱，其中所述强度分布谱是针对各个波长的等离子体光的强度分布；以及处理器，其包括：摄像控制器，用于基于所述摄像部所检测到的反射光的光接收量来生成所述分析对象的图像，以及成分分析部，用于接收用以开始所述分析对象的成分分析的开始触发信号，并且基于所述检测器所生成的强度分布谱来进行所述分析对象的成分分析。
[0008]根据本公开的一个实施例，所述处理器进行如下操作：响应于接收到所述开始触发信号，控制所述摄像部生成照射前图像，其中所述照射前图像是在用所述激光照射所述分析对象之前的图像；以及在控制所述摄像部之后，控制所述激光发射器向所述分析对象发射所述激光。
[0009]根据一个实施例，所述处理器在用所述激光照射所述分析对象之前紧挨着的定时经由所述摄像部生成所述照射前图像。此时，被配置为观察所述分析对象的元件(诸如摄像
部等)和被配置为分析所述分析对象的元件(诸如激光发射器等)由共用处理器控制，使得可以无缝地执行对所述分析对象的观察和分析并节省对分析点进行摄像所需的时间和精力。结果，可以提高激光诱导击穿分光器(下文中，也简称为“分析装置”)的可用性。
[0010]此外，根据本公开的另一实施例，所述处理器可以生成将所述分析的结果叠加在所述照射前图像上的图像，并使显示器显示该图像。
[0011]根据另一实施例，所述处理器将分析结果叠加在所述照射前图像上。结果，用户可以掌握分析结果与分析对象之间的关系，这在提高分析装置的可用性方面是有利的。
[0012]此外，根据本公开的又一实施例，所述处理器可以在控制所述激光发射器向所述分析对象发射所述激光之后，控制所述摄像部生成照射后图像，其中所述照射后图像是在用所述激光照射所述分析对象之后的图像。
[0013]根据又一实施例，所述处理器在用所述激光照射所述分析对象之后的定时经由所述摄像部生成所述照射后图像。例如，通过将所述照射前图像和所述照射后图像进行比较，用户可以掌握利用所述激光诱导击穿分光法在所述分析对象中发生的变化。这适合于增强分析装置的可用性。此外，还可以与照射前图像的生成同样地无缝地进行照射后图像的生成，因此，可以节省生成所需的时间和精力。结果，在提高分析装置的可用性方面是有利的。
[0014]此外，根据本公开的又一实施例，激光诱导击穿分光器还可以包括：第二摄像部，用于接收放置在所述放置台上的分析对象所反射的反射光，并且检测所接收到的反射光的光接收量；以及模式切换器，用于切换到所述摄像部和所述第二摄像部其中之一，其中，所述分析对象的放大倍率可以被设置为在所述第二摄像部中比在所述摄像部中相对更高，以及所述摄像控制器可以进行如下操作：在所述模式切换器切换到所述摄像部的状态下，生成放大倍率相对低的低倍图像，以及在所述模式切换器切换到所述第二摄像部的状态下，生成放大倍率相对高的高倍图像。
[0015]此外，根据本公开的又一实施例，激光诱导击穿分光器还可以包括：观察壳体，其容纳所述摄像部；以及分析壳体，其与所述观察壳体分开配置并容纳所述第二摄像部和所述检测器，其中，所述模式切换器可以通过使所述观察壳体和所述分析壳体相对于所述放置台移动来切换到所述摄像部和所述第二摄像部中的一个。
[0016]此外，根据本公开的又一实施例，激光诱导击穿分光器还可以包括：第二摄像部，用于接收放置在所述放置台上的分析对象所反射的反射光，并且检测所接收到的反射光的光接收量；以及倍率改变器，其能够改变所述摄像部和所述第二摄像部其中至少之一对所述分析对象的放大倍率，其中，所述处理器可以进行如下操作：调整所述倍率改变器以改变所述放大倍率，以及在所述摄像部在各个放大倍率下检测所述反射光的光接收量时，生成放大倍率相对低的低倍图像和放大倍率相对高的高倍图像作为所述分析对象的所述照射前图像。
[0017]根据又一实施例，所述处理器生成具有不同放大倍率的两种类型的图像。例如，在这两种类型的图像之间，低倍图像用于用户的导航，并且高倍图像用于分析点的指定，使得可以进一步提高分析装置的可用性。
[0018]此外，根据本公开的又一实施例，所述处理器可以使显示器显示所述低倍图像、所述高倍图像和分析结果、以及第一用户界面，所述第一用户界面接收用于与所述分析结果相关联地存储所述低倍图像和所述高倍图像中的至少一个图像的操作输入。
[0019]根据又一实施例，所述处理器向用户提供所述第一用户界面，所述第一用户界面被配置为将所述两种类型的图像中的至少一种与所述分析结果相关联。结果，可以满足例如期望存储低倍图像但不需要存储高倍图像的详细需要。这在提高分析装置的可用性方面是有利的。
[0020]此外，根据本公开的又一实施例，所述处理器可以进行如下操作：使显示器显示用于更新与分析结果相关联的所述至少一个图像的显示画面，以及接收用于将显示在显示器上的图像和与所述图像相关联的分析结果存储在存储部中的存储指示，以及所述显示画面可以包括：所述至少一个图像；以及第二用户界面，用于接收用以更新所述至少一个图像的操作输入。
[0021]根据又一实施例，所述处理器向用户提供用于更新图像的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光诱导击穿分光器，用于使用激光诱导击穿分光法进行对分析对象的成分分析，所述激光诱导击穿分光器包括：放置台，其上放置有分析对象；摄像部，用于接收放置在所述放置台上的所述分析对象所反射的反射光，并且检测所接收到的反射光的光接收量；激光发射器，用于向所述分析对象发射激光；收集头，用于收集在用从所述激光发射器发射的激光照射所述分析对象时在所述分析对象中生成的等离子体光；检测器，用于接收在所述分析对象中生成并由所述收集头收集的等离子体光，并且生成强度分布谱，其中所述强度分布谱是针对各个波长的等离子体光的强度分布；以及处理器，其包括：摄像控制器，用于基于所述摄像部所检测到的反射光的光接收量来生成所述分析对象的图像，以及成分分析部，用于接收用以开始所述分析对象的成分分析的开始触发信号，并且基于所述检测器所生成的强度分布谱来进行所述分析对象的成分分析，其中，所述处理器进行如下操作：响应于接收到所述开始触发信号，控制所述摄像部生成照射前图像，其中所述照射前图像是在用所述激光照射所述分析对象之前的图像，以及在控制所述摄像部之后，控制所述激光发射器向所述分析对象发射所述激光。2.根据权利要求1所述的激光诱导击穿分光器，其中，所述处理器生成将所述成分分析的结果叠加在所述照射前图像上的图像，并使显示器显示该图像。3.根据权利要求1所述的激光诱导击穿分光器，其中，所述处理器在控制所述激光发射器向所述分析对象发射所述激光之后，控制所述摄像部生成照射后图像，其中所述照射后图像是在用所述激光照射所述分析对象之后的图像。4.根据权利要求1所述的激光诱导击穿分光器，还包括：第二摄像部，用于接收放置在所述放置台上的分析对象所反射的反射光，并且检测所接收到的反射光的光接收量；以及模式切换器，用于切换到所述摄像部和所述第二摄像部其中之一，其中，所述分析对象的放大倍率被设置为在所述第二摄像部中比在所述摄像部中相对更高，以及所述摄像控制器进行如下操作：在所述模式切换器切换到所述摄像部的状态下，生成放大倍率相对低的低倍图像，以及在所述模式切换器切换到所述第二摄像部的状态下，生成放大倍率相对高的高倍图像。5.根据权利要求4所述的激光诱导击穿分光器，还包括：观察壳体，用于容纳所述摄像部；以及分析壳体，其与所述观察壳体分开配置，并且用于容纳所述第二摄像部和所述检测器，
其中，所述模式切换器通过相对于所述放置台移动所述观察壳体和所述分析壳体，来切换到所述摄像部和所述第二摄像部其中之一。6.根据权利要求1所述的激光诱导击穿分光器，还包括：第二摄像部，用于接收放置在所述放置台上的分析对象所反射的反射光，并且检测所接收到的反射光的光接收量；以及倍率改变器，其能够改变所述摄像部和所述第二摄像部其中至少之一对所述分析对象的放大倍率，其中，所述处理器进行如下操作：调整所述倍率改变器以改变所述放大倍率，以及在所述摄像部和所述第二摄像部其中至少之一在各个放大倍率下检测所述反射光的光接收量时，生成放大倍率相对低的低倍图像和放大倍率相对高的高倍图像作为所述分析对象的所述照射前图像。7.根据权利要求4所述的激光诱导击穿分光器，其中，所述处理器使显示器显示：所述低倍图像；所述高倍图像；所述成分分析的结果；以及第一用户界面，用于接收用以将所述低倍图像和所述高倍图像中的至少一个图像与所述成分分析的结果相关联地存储的操作输入。8.根据权利要求7所述的激光诱导击穿分光器，其中，所述处理器进行如下操作：使显示器显示用于更新与所述成分分析的结果相关联的所述至少一个图像的显示画面，以及接收用于将显示在显示器上的图像和与所述图像相关联的所述成分分析的结果存储在存储部中的存储指示，以及所述显示画面包括：所述至少一个图像；以及第二用户界面，用于接收用以更新所述至少一个图像的操作输入。9.根据权利要求7所述的激光诱导击穿分光器，还包括：报告输出部，用于输出报告，其中在所述报告中，在通过分配要输出所述低倍图像、所述高倍图像和所述成分分析的结果的位置而获得的模板上的各个位置处显示所述低倍图像、所述高倍图像和所述成分分析的结果其中至少之一，其中，在所述报告输出部输出所述报告的情况下，所述处理器使得在所述报告上输出通过所述第一用户界面相关联的所述图像。10.根据权利要求6所述的激光诱导击穿分光器，还包括：电驱动器，用于使指示所述放置台相对于所述摄像部的相对位置的摄像位置沿着...

【专利技术属性】
技术研发人员：近藤亮介，广瀬健一郎，
申请(专利权)人：株式会社基恩士，
类型：发明
国别省市：