检查治具以及包括所述检查治具的基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可抑制检查治具所用的基板的翘曲的结构。检查治具4包括：第一基板10；探针单元70，具有探针71；第二基板40，与第一基板10并排配置，与探针71电性连接；电性连接部80，将第一基板10及第二基板40电性连接，以及基板保持部50，以相对于第一基板10在厚度方向并排的状态保持第二基板40，且保持探针单元70。基板保持部50具有：探针侧保持板部52，位于第二基板40的探针单元70侧；以及保持板支撑部53，将探针侧保持板部52定位于相对于第一基板10在厚度方向并排的位置。基板保持部50通过第一基板10与第二基板40夹持电性连接部80，从而以经由电性连接部80将第一基板10与第二基板40电性连接的状态保持第二基板40。40电性连接的状态保持第二基板40。40电性连接的状态保持第二基板40。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查治具以及包括所述检查治具的基板检查装置


[0001]本专利技术涉及一种检查治具以及包括所述检查治具的基板检查装置。

技术介绍

[0002]已知有为了对半导体晶片进行检查而使用的检查治具。作为所述检查治具，专利文献1中，专利文献1中公开有下述结构，即包括：探针单元，具有与被检查体的检查用垫接触的探针；空间转换器(space transformer)，包含陶瓷基板；弹簧顶针(pogo pin)单元；以及印刷电路基板。
[0003]所述空间转换器在一个面具有与探针的配置图案对应的配线图案。通过对所述一个面连接探针单元，从而将所述探针与所述空间转换器电性连接。所述空间转换器在相反面具有与所述印刷电路基板对应的配线图案。所述空间转换器与所述印刷电路基板经由所述弹簧顶针单元而连接。
[0004]另外，已知有使用探针卡来检查半导体元件的电气特性的检查装置。所述检查装置中，使所述探针卡所具有的探针用针的前端接触所述半导体元件上的端子，进行所述半导体元件的检查。因此，所述检查装置具有用于进行所述探针卡与载置所述半导体元件的载置台的对位的结构。专利文献1中，专利文献2中公开有一种晶片检查装置，其具有探针卡、及搬送检查对象的晶片的搬送臂，通过使所述搬送臂所具有的定位销嵌合于所述探针卡所具有的缺口部，从而针对所述探针卡进行所述搬送臂相向的位置的对位。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本专利特开2019
‑
178961号公报
[0008]专利文献2：日本专利特开2013
‑
191737号公报

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的问题
[0010]此外，用于检查印刷基板的检查治具中，作为相当于空间转换器的构件，通常可使用树脂制的基板。因此，在印刷基板的检查治具中，在使弹簧顶针单元那样的电性连接构件接触所述基板而将两者电性连接的情形时，可能所述基板承受所述电性连接构件的按压力而翘曲。若所述基板翘曲，则可能所述电性连接构件与所述基板的电性接触产生不良。于是，可能无法稳定地进行被检查基板的检查。
[0011]本专利技术的目的在于提供下述结构，即：在印刷基板的检查装置所用的检查治具及包括所述检查器具的基板检查装置中，可抑制检查治具所用的基板的翘曲。
[0012]另外，由于近年来的半导体元件的大规模化及微细化，检查对象的检查点不断增加。由此，检查装置中，检查治具所具有的探针的个数也不断增加。随着所述检查对象的检查点增加，在使用所述检查治具对检查对象进行检查时，所述检查治具的基板自所述探针承受的厚度方向的力增加。由此，有时所述基板相对于所述检查对象在厚度方向移位。
[0013]本专利技术的目的在于获得下述结构，即：在使用基板的检查治具、及具有所述检查治具的检查装置中，可抑制所述基板相对于检查装置本体的在厚度方向的移位。
[0014]解决问题的技术手段
[0015]本专利技术的一实施方式的检查治具安装于基板检查装置的检查处理部，所述基板检查装置对被检查基板所具有的电气电路进行检查。所述检查治具包括：第一基板，由所述检查处理部检测信号；探针单元，具有接触所述被检查基板的探针；第二基板，其中一个面与所述第一基板相向且在所述第一基板的厚度方向与所述第一基板并排配置，与所述探针电性连接；电性连接部，在所述厚度方向位于所述第一基板与所述第二基板之间且将所述第一基板及所述第二基板电性连接；以及基板保持部，以相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的状态保持所述第二基板，且在与所述第一基板侧相反的一侧保持所述探针单元。所述基板保持部具有：板状的第一保持板部，位于所述第二基板的所述探针单元侧；以及保持板支撑部，将所述第一保持板部定位于相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的位置，通过在所述第一基板与所述第二基板之间在所述厚度方向夹持所述电性连接部，从而以经由所述电性连接部将所述第一基板与所述第二基板电性连接的状态保持所述第二基板。
[0016]本专利技术的一实施方式的基板检查装置包括所述检查治具。
[0017]另外，本专利技术的一实施方式的检查治具安装于检查装置，所述检查装置以基板或半导体作为检查对象。所述检查治具包括：探针，接触所述检查对象，检测电气信号；第二基板，保持所述探针，传递所述探针所检测到的电气信号；第一基板，在所述第二基板的与所述探针侧相反的一侧在所述第二基板的厚度方向并排配置，且将所述第二基板传递的电气信号传递至所述检查装置；电性连接部，将所述第一基板及所述第二基板电性连接；板状的第一基板保持部，对所述检查装置保持所述第一基板；以及板状的第二基板保持部，在所述第一基板侧对所述第一基板保持所述第二基板。所述第二基板保持部具有：探针连接开口部，以平面观看所述第二基板保持部，在与所述探针重叠的位置沿厚度方向贯穿；电性连接收容部，沿厚度方向贯穿而收容所述电性连接部；以及第一突起部，向所述第一基板突出。以平面观看所述第二基板保持部，所述第一突起部与所述探针连接开口部的中心的距离比所述电性连接收容部与所述探针连接开口部的中心的距离更短，至少在使所述探针接触所述检查对象时，所述第一突起部接触所述检查装置或所述第一基板保持部。
[0018]本专利技术的一实施方式的检查装置具有：所述检查治具；检查处理部，检测所述第一基板的信号；以及板状的检查处理保持部，保持所述检查处理部。所述检查处理保持部或第一基板保持部具有第一突起部接触的第一被接触部。
[0019]专利技术的效果
[0020]根据本专利技术的一实施方式，可提供下述结构，即：在印刷基板的检查装置所用的检查治具及包括所述检查器具的基板检查装置中，可抑制检查治具所用的基板的翘曲。
[0021]另外，根据本专利技术的一实施方式，可获得下述结构，即：在使用多个基板的检查治具、及具有所述检查治具的检查装置中，可抑制所述多个基板相对于检查装置本体的在厚度方向的移位。
附图说明
[0022][图1]图1为表示实施方式的基板检查装置的概略结构的立体图。
[0023][图2]图2为基板检查装置的剖面图。
[0024][图3]图3为表示平板部及检查治具的连结结构的图。
[0025][图4]图4为检查治具的分解立体图。
[0026][图5]图5为检查治具的分解立体图。
[0027][图6]图6为表示使第二基板向远离平板部的方向移动的状态的图。
[0028][图7]图7为表示使保持板支撑部相对于平板部沿水平方向移动的状态的图。
[0029][图8]图8为表示从基板保持部卸除保持板支撑部的状态的图。
[0030][图9]图9为表示使第二基板向靠近平板部的方向移动的状态的图。
[0031][图10]图10为表示实施方式的检查装置的概略结构的立体图。
[0032][图11]图11为图10的II
‑
II线剖面图。
[0033][图12]图12为自检查处理部侧观看的检查治本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查治具，安装于基板检查装置的检查处理部，所述基板检查装置对被检查基板所具有的电气电路进行检查，且所述检查治具包括：第一基板，由所述检查处理部检测信号；探针单元，具有接触所述被检查基板的探针；第二基板，其中一个面与所述第一基板相向且在所述第一基板的厚度方向与所述第一基板并排配置，与所述探针电性连接；电性连接部，在所述厚度方向位于所述第一基板与所述第二基板之间且将所述第一基板及所述第二基板电性连接；以及基板保持部，以相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的状态保持所述第二基板，且在与所述第一基板侧相反的一侧保持所述探针单元，所述基板保持部具有：板状的第一保持板部，位于所述第二基板的所述探针单元侧；以及保持板支撑部，将所述第一保持板部定位于相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的位置，通过在所述第一基板与所述第二基板之间在所述厚度方向夹持所述电性连接部，从而以经由所述电性连接部将所述第一基板与所述第二基板电性连接的状态保持所述第二基板。2.根据权利要求1所述的检查治具，其中所述基板保持部还具有：板状的第二保持板部，相对于所述第二基板位于所述第一基板侧，所述第一保持板部及所述第二保持板部以在所述厚度方向夹持所述第二基板的状态经固定。3.根据权利要求2所述的检查治具，其中所述保持板支撑部通过对所述检查处理部固定所述第二保持板部，从而将所述第一保持板部定位于相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的位置。4.根据权利要求3所述的检查治具，其中所述保持板支撑部为沿所述厚度方向贯穿所述第二保持板部及所述检查处理部而延伸的、棒状的构件，在所述保持板支撑部的前端部，具有沿相对于所述保持板支撑部的延伸方向交叉的方向延伸的爪部，自所述厚度方向观看，所述第二保持板部具有收容所述保持板支撑部的前端部的收容孔，自所述厚度方向观看，所述收容孔向与所述探针单元侧相反的方向延伸，具有收容所述保持板支撑部的爪部的爪部收容空间。5.根据权利要求2至4中任一项所述的检查治具，其中所述第一保持板部的厚度小于所述第二保持板部的厚度。6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查治具，其中所述电性连接部具有：多个接触端子，分别电性接触所述第一基板的端子及所述第二基板的端子，所述多个接触端子中的至少一部分能够在所述厚度方向伸缩。7.根据权利要求1至6中任一项所述的检查治具，其中在厚度方向观看所述第二基板，所述电性连接部位于所述第二基板的外周侧。
8.一种基板检查装置，包括如权利要求1至7中任一项所述的检查治具。9.一种检查治具，安装于检查装置，所述检查装置以基板或半导体作为检查对象，且所述检查治具包括：探针，接触所述检查对象，检测电气信号；第二基板，保持所述探针，传递所述探针所检测到的电气信号；第一基板，在所述第二基板的与所述探针侧相反的一侧在所述第二基板的厚度方向并排配置，且将所述第二基板传递的电气信号传递至所述检查装置；电性连接部，将所述第一基板及所述第二基板电性连接；板状的第一基板保持部，对所述检查装置保持所述第一基板；以及板状的第二基板保持部，在所述第一基板侧对所述第一基板保持所述第二基板，所述第二基板保持部具有：探针连接开口部，以平面观看所述第二基板保持部，在与所述探针重叠的位置沿厚度方向贯穿；电性连接收容部，沿厚度方向贯穿而收容所述电性连接部；以及第一突起部，向所述第一基板突出，以平...

【专利技术属性】
技术研发人员：津村耕平，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：