一种改善镀膜效果的镀膜伞结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改善镀膜效果的镀膜伞结构，包括伞状骨架及三块扇形镀膜板，三块所述扇形镀膜板分别可拆卸安装于所述伞状骨架上；所述伞状骨架包括固定盘、外环及三根支撑骨架，所所述固定盘与外环之间通过三根等距设置的支撑骨架连接，相邻两根所述支撑骨架之间的区域构成定位安装区，所述扇形镀膜板设于定位安装区内,所述扇形镀膜板包括呈扇形结构的过滤板及承载板，所述过滤板设于承载板底部，承载板上设有若干放置待镀膜工件的定位孔。本实用新型专利技术将扇形镀膜板可拆卸安装于伞状骨架内使之形成一个整体的大伞架，相比于多个伞状骨架的结构，整体结构的稳定性更高，在旋转镀膜时产生的抖动量更小，从而提高膜层的均匀性，镀膜效果好。镀膜效果好。镀膜效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种改善镀膜效果的镀膜伞结构


[0001]本技术涉及镀膜伞领域，尤其涉及的是一种改善镀膜效果的镀膜伞结构。

技术介绍

[0002]光学镀膜是光学领域中常见的改善光学器件表面性能的技术手段。常见的镀膜形式为蒸发镀膜，即加热靶材使表面组分以原子团或者离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。
[0003]为了能够使得成膜均匀，现在常见的工件夹具均为可旋转的伞状。在蒸发镀膜的过程中，工件均匀排布在光学镀膜伞上，同时光学镀膜伞旋转，如此能够最大程度的克服光学工件边缘薄膜分布差异的问题。
[0004]现有技术中，在对工件的某一面进行镀膜时，通常是将待镀工件固定于镀膜伞架上，蒸镀靶材设置于镀膜伞架下方，通过蒸发而将靶材冲至镀膜伞架，然而市面上的镀膜伞架一般为多伞架结构，整体稳定性较差，在旋转镀膜过程中，镀膜伞架容易产生抖动，从而影响工件的镀膜效果。
[0005]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题是：提供一种结构简单、镀膜效果好的改善镀膜效果的镀膜伞结构。
[0007]本技术的技术方案如下：一种改善镀膜效果的镀膜伞结构，包括伞状骨架及三块扇形镀膜板，三块所述扇形镀膜板分别可拆卸安装于所述伞状骨架上；
[0008]所述伞状骨架包括固定盘、外环及三根支撑骨架，所述固定盘设于外环中部，所述固定盘与外环之间通过三根等距设置的支撑骨架连接，相邻两根所述支撑骨架之间的区域构成定位安装区，所述扇形镀膜板设于定位安装区内；<br/>[0009]所述扇形镀膜板包括呈扇形结构的过滤板及承载板，所述过滤板设于承载板底部，所述过滤板上设有若干过滤孔，所述承载板上设有若干放置待镀膜工件的定位孔。
[0010]采用上述技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述支撑骨架的左右两侧分别设有托板，所述扇形镀膜板的左右两侧分别设于托板上，且所述扇形镀膜板的侧端分别与托板通过螺栓连接。
[0011]采用上述各个技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述过滤板与承载板之间通过螺栓连接。
[0012]采用上述各个技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述承载板上还设有若干定位凸点。
[0013]采用上述各个技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述承载板上还设有便于人手持握抬举的把手。
[0014]采用上述各个技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述固定盘的顶
部设有便于与镀膜机旋转机构连接的转轴。
[0015]采用上述各个技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述过滤板及承载板均为弧形面板结构。
[0016]采用上述各个技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述过滤板及承载板靠近所述固定盘的侧壁为圆弧段结构。
[0017]采用上述各个技术方案，所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构中，所述过滤板及承载板均采用金属材质制成。
[0018]与现有技术相比，本技术将三块扇形镀膜板可拆卸安装于伞状骨架内使之形成一个整体的大伞架，相比于多个伞状骨架的结构，整体结构的稳定性更高，在旋转镀膜时产生的抖动量更小，从而提高膜层的均匀性，镀膜效果好；另外，扇形镀膜板与伞状骨架之间通过螺栓连接，拆装方式简单方便，有效提高对镀膜伞的维护效率，镀膜效率高。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术的扇形镀膜板安装结构示意图；
[0021]图3为本技术的扇形镀膜板结构示意图；
[0022]图4为本技术的伞状骨架侧面结构示意图；
[0023]图5为本技术的伞状骨架俯视结构示意图。
具体实施方式
[0024]以下结合附图和具体实施例，对本技术进行详细说明。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“里面”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]如图1至图5所示，一种改善镀膜效果的镀膜伞结构，包括伞状骨架1及三块扇形镀膜板2，三块所述扇形镀膜板2分别可拆卸安装于所述伞状骨架1上。三块扇形镀膜板2可拆卸安装于伞状骨架1内使之形成一个整体的大伞架，相比于多个伞状骨架1的结构，整体结构的稳定性更高，在旋转镀膜时产生的抖动量更小，从而提高膜层的均匀性，镀膜效果好。
[0027]如图4及图5所示，所述伞状骨架1包括固定盘11、外环12及三根支撑骨架13，所述固定盘11设于外环12中部，所述固定盘11与外环12之间通过三根等距设置的支撑骨架13连接，相邻两根所述支撑骨架13之间的区域构成定位安装区10，所述扇形镀膜板2设于定位安装区10内。本实施例中，定位安装区10的个数为三个，即每一定位安装区10内分别设有一扇形镀膜板2。
[0028]如图3所示，所述扇形镀膜板2包括呈扇形结构的过滤板及承载板22，所述过滤板设于承载板22底部，所述过滤板上设有若干过滤孔210，所述承载板22上设有若干放置待镀膜工件的定位孔220。承载板22的定位孔220内可放置待镀工件，如此设置，可提高对待镀工件的镀膜效率。过滤孔210的设置，可将上升的蒸镀靶材进行分隔，从而提高膜层的镀膜均
匀性。
[0029]如图4所示，进一步的，所述支撑骨架13的左右两侧分别设有托板131，所述扇形镀膜板2的左右两侧分别设于托板131上，且所述扇形镀膜板2的侧端分别与托板131通过螺栓连接。扇形镀膜板2与伞状骨架1之间通过螺栓连接，拆装方式简单方便，有效提高对镀膜伞的维护效率。
[0030]进一步的，所述过滤板与承载板22之间通过螺栓连接。
[0031]如图3所示，进一步的，所述承载板22上还设有若干定位凸点221。定位凸点221的设置，可防止待镀工件在承载板22上滑脱，镀膜稳定性好。
[0032]如图3所示，进一步的，所述承载板22上还设有便于人手持握抬举的把手222。把手222的设置，可便于用户将连接螺栓拆卸后抬起承载板22。
[0033]如图4所示，进一步的，所述固定盘11的顶部设有便于与镀膜机旋转机构连接的转轴110。
[0034]进一步的，所述过滤板及承载板22均为弧形面板结构。
[0035]如图1及图2所示，进一步的，所述过滤板及承载板22靠近所述固定盘11的侧壁为圆弧段结构211。
[0036]进一步的，所述过滤板及承载板22均采用金属材质制成。本实施例中，过滤板及承载板22均采用铝合金材质制成。
[0037]与现有技术相比，本技术将三块扇形镀膜板可拆卸安装于伞状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善镀膜效果的镀膜伞结构，其特征在于：包括伞状骨架及三块扇形镀膜板，三块所述扇形镀膜板分别可拆卸安装于所述伞状骨架上；所述伞状骨架包括固定盘、外环及三根支撑骨架，所述固定盘设于外环中部，所述固定盘与外环之间通过三根等距设置的支撑骨架连接，相邻两根所述支撑骨架之间的区域构成定位安装区，所述扇形镀膜板设于定位安装区内；所述扇形镀膜板包括呈扇形结构的过滤板及承载板，所述过滤板设于承载板底部，所述过滤板上设有若干过滤孔，所述承载板上设有若干放置待镀膜工件的定位孔。2.根据权利要求1所述的改善镀膜效果的镀膜伞结构，其特征在于：所述支撑骨架的左右两侧分别设有托板，所述扇形镀膜板的左右两侧分别设于托板上，且所述扇形镀膜板的侧端分别与托板通过螺栓连接。3.根据权利要求1所述的改善镀膜效果的镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：周勇，何倩，贺舜，
申请(专利权)人：河源市圣祥光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：