一种半导体弹匣夹取机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体弹匣夹取机构，包括竖向设置的固定底板，在固定底板的侧面上沿竖直方向依次设有上活动固定板和下活动固定板，上活动固定板与下活动固定板沿竖直方向与固定底板之间滑动连接，在固定底板上设有用于驱动上活动固定板和下活动固定板相互靠近或者远离的驱动机构，在上活动固定板和下活动固定板上设有用于夹持弹匣的弹性夹紧组件；本实用新型专利技术弹匣夹取稳定，结构紧凑，可兼容多种弹匣，多项防呆功能，能有效提升生产效率和质量，保证产品的安全。保证产品的安全。保证产品的安全。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体弹匣夹取机构


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体涉及一种半导体弹匣夹取机构。

技术介绍

[0002]导体生产线中基板的转料是通过弹匣实现的，生产线通过自动上料设备将满弹匣中的基板送入线体，最后再通过自动下料设备将基板送入空弹匣中，完成基板的各项工艺生产，而自动上下料设备都需要用到弹匣夹取机构，而常规的弹匣夹取机构存在夹取不稳定，防呆不到位的缺点，容易出现弹匣夹取不平而造成的卡料、伤料现象，影响生产效率和质量。

技术实现思路

[0003]技术目的：针对现有弹匣夹取设备夹取不稳定的不足，本技术公开了一种夹持稳定可靠的半导体弹匣夹取机构。
[0004]技术方案：为实现上述技术目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种半导体弹匣夹取机构，包括竖向设置的固定底板，在固定底板的侧面上沿竖直方向依次设有上活动固定板和下活动固定板，上活动固定板与下活动固定板沿竖直方向与固定底板之间滑动连接，在固定底板上设有用于驱动上活动固定板和下活动固定板相互靠近或者远离的驱动机构，在上活动固定板和下活动固定板上设有用于夹持弹匣的弹性夹紧组件。
[0006]优选地，本技术的驱动机构包括夹取气缸、齿轮以及对称设置在齿轮两侧的传动齿条，齿轮与固定底板转动连接，传动齿条包括主动齿条和从动齿条，主动齿条和从动齿条关于齿轮的转动中心呈中心对称分布，夹取气缸的驱动端连接上活动固定板，主动齿条连接上活动固定板与齿轮，从动齿条连接齿轮与下活动固定板。
[0007]优选地，本技术的弹性夹紧组件包括沿上活动固定板和下活动固定板长度方向依次设置的第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和第二夹爪的结构相同，均包括夹爪座、夹爪块、销轴和扭簧，夹爪座固定在对应的活动固定板上，夹爪块通过销轴与夹爪座转动连接，扭簧套接在销轴上，扭簧的两端连接夹爪座和夹爪块。
[0008]优选地，本技术的上活动固定板和下活动固定板均设有定位槽口，第一夹爪和第二夹爪与对应的定位槽口之间通过旋钮固定。
[0009]优选地，本技术在第一夹爪和第二夹爪之间设有用于辅助进行弹匣夹持的限位辅助块。
[0010]优选地，本技术在第一夹爪和第二夹爪中，至少一组呈对角分布的夹爪在夹爪座上设置接近传感器，接近传感器的检测端朝向弹匣所在一侧。
[0011]优选地，本技术的夹爪块表面采用网纹滚花。
[0012]优选地，本技术的固定底板上设有拉簧，拉簧位于上活动固定板和下活动固定板之间，拉簧的拉力方向与上活动固定板的滑动方向平行，上活动固定板和下活动固定
板分别连接有一根拉簧。
[0013]优选地，本技术的固定底板沿垂直于上活动固定板滑动的方向在端部设有旋转挡板组件，旋转挡板组件包括固定座、调整板、旋臂、挡板和旋转气缸，固定座与固定底板处于同一平面上，调整板可拆卸固定在固定座上，旋转气缸与调整板固定连接，旋转气缸驱动端的轴线方向以及挡板的长度方向均与上活动固定板的滑动方向平行，旋臂连接旋转气缸的驱动端和挡板，旋转气缸通过旋臂带动挡板转动。
[0014]有益效果：本技术所提供的一种半导体弹匣夹取机构具有如下有益效果：
[0015]1、本技术的驱动机构通过夹取气缸配合齿轮、齿条结构带动上活动固定板和下活动固定板同时相向或者相背移动，进行弹匣的夹紧与松开，上下夹爪运行的行程为气缸行程的2倍，使结构更紧凑。
[0016]2、本技术的弹性夹紧组件中，夹爪与夹爪座转动连接，并通过扭簧提供扭矩，可以在夹持时使夹爪可以对弹匣的水平方向移动进行限位，夹爪与弹匣脱开后自动复位，且表面有网纹滚花，可增大摩擦力，可有效防止运动过程中弹匣的偏移，保证夹取的稳定性。
[0017]3、本技术在呈对角分布的夹爪座上设置接近传感器，通过接近传感器检测弹匣是否存在夹歪、夹偏现象，若检测不到弹匣，则说明弹匣夹取位置不正确，设备进行报警，起到防呆保护作用，避免弹匣夹取不到位导致的卡料、伤料现象。
[0018]4、本技术在固定底板上设置拉簧，通过拉簧连接，当设备断气断电时，拉簧的弹簧力可以使弹匣在失去气缸夹紧力时保持稳定、不掉落，能有效保护弹匣内产品的安全。
[0019]5、本技术在固定底板的一侧设有旋转挡板组件，在弹匣夹取完成后，旋转气缸动作，旋转气缸的转轴带动旋臂上的挡板顺时针旋转，挡板处于阻挡状态，设备推料时，能有效防止基板过冲，从而保护基板。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍。
[0021]图1为本技术整体结构图；
[0022]图2为本技术主视图；
[0023]图3为本技术左视图；
[0024]图4为本技术第一夹爪主视图；
[0025]图5为本技术第一夹爪左视图；
[0026]图6为本技术夹取弹匣状态图；
[0027]其中，1
‑
固定底板、2
‑
上活动固定板、3
‑
下活动固定板、4
‑
夹取气缸、5
‑
齿轮、6
‑
主动齿条、7
‑
从动齿条、8
‑
第一夹爪、9
‑
第二夹爪、10
‑
夹爪座、11
‑
夹爪块、12
‑
销轴、13
‑
扭簧、14
‑
接近传感器、15
‑
拉簧、16
‑
固定座、17
‑
调整板、18
‑
旋臂、19
‑
挡板、20
‑
旋转气缸、21
‑
定位槽口、22
‑
限位辅助块、23
‑
气缸手动开关。
具体实施方式
[0028]下面通过一较佳实施例的方式并结合附图来更清楚完整地说明本技术，但并
不因此将本技术限制在所述的实施例范围之中。
[0029]如图1
‑
图6所示为本技术所提供的一种半导体弹匣夹取机构，包括竖向设置的固定底板1，在固定底板1的侧面上沿竖直方向依次设有上活动固定板2和下活动固定板3，上活动固定板2与下活动固定板3沿竖直方向与固定底板1之间滑动连接，在固定底板1上设有用于驱动上活动固定板2和下活动固定板3相互靠近或者远离的驱动机构，在上活动固定板2和下活动固定板3上设有用于夹持弹匣的弹性夹紧组件。
[0030]具体的，驱动机构包括夹取气缸4、齿轮5以及对称设置在齿轮5两侧的传动齿条，齿轮5与固定底板1转动连接，传动齿条包括主动齿条6和从动齿条7，主动齿条6和从动齿条7关于齿轮5的转动中心呈中心对称分布，夹取气缸4的驱动端连接上活动固定板2，主动齿条6连接上活动固定板2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体弹匣夹取机构，其特征在于，包括竖向设置的固定底板（1），在固定底板（1）的侧面上沿竖直方向依次设有上活动固定板（2）和下活动固定板（3），上活动固定板（2）与下活动固定板（3）沿竖直方向与固定底板（1）之间滑动连接，在固定底板（1）上设有用于驱动上活动固定板（2）和下活动固定板（3）相互靠近或者远离的驱动机构，在上活动固定板（2）和下活动固定板（3）上设有用于夹持弹匣的弹性夹紧组件。2.根据权利要求1所述的一种半导体弹匣夹取机构，其特征在于，所述驱动机构包括夹取气缸（4）、齿轮（5）以及对称设置在齿轮（5）两侧的传动齿条，齿轮（5）与固定底板（1）转动连接，传动齿条包括主动齿条（6）和从动齿条（7），主动齿条（6）和从动齿条（7）关于齿轮（5）的转动中心呈中心对称分布，夹取气缸（4）的驱动端连接上活动固定板（2），主动齿条（6）连接上活动固定板（2）与齿轮（5），从动齿条（7）连接齿轮（5）与下活动固定板（3）。3.根据权利要求1所述的一种半导体弹匣夹取机构，其特征在于，所述弹性夹紧组件包括沿上活动固定板（2）和下活动固定板（3）长度方向依次设置的第一夹爪（8）和第二夹爪（9），第一夹爪（8）和第二夹爪（9）的结构相同，均包括夹爪座（10）、夹爪块（11）、销轴（12）和扭簧（13），夹爪座（10）固定在对应的活动固定板上，夹爪块（11）通过销轴（12）与夹爪座（10）转动连接，扭簧（13）套接在销轴（12）上，扭簧（13）的两端连接夹爪座（10）和夹爪块（11）。4.根据权利要求3所述的一种半导体弹匣夹取机构，其特征在于，所述上活动固定板（2）和下活动固定板（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志炜，
申请(专利权)人：中电鹏程智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：