对准装置及叠压机制造方法及图纸

本申请涉及半导体生产技术领域，具体而言，涉及一种对准装置及叠压机，包括机架、工作台组件和至少三个相机组件，所述相机组件安装于所述机架，所述相机组件位于所述工作台组件的上方，所述工作台组件用于放置陶瓷膜片，所述陶瓷膜片的对准标记的信息的个数与所述相机组件的个数相同，各所述相机组件用于一一对应的采集所述陶瓷膜片上各对准标记的信息。本申请的目的在于针对陶瓷膜片上对准标记点在制作过程中，存在位置偏差和形状差异，致使图像对准技术对陶瓷膜片上特定标记点的识别出现偏差，陶瓷膜片的位置精度降低的问题，提供一种对准装置及叠压机。一种对准装置及叠压机。一种对准装置及叠压机。

【技术实现步骤摘要】
对准装置及叠压机


[0001]本申请涉及半导体生产
，具体而言，涉及一种对准装置及叠压机。

技术介绍

[0002]在叠层式电子元件叠层加工过程中，保证每层陶瓷膜片的位置精度是至关重要的。为了达到每层陶瓷膜片间精确的位置精度，通常采用图像对准技术对陶瓷膜片上特定标记点进行图像识别并计算出位置偏差，然后通过精密工作台的移动来进行位置补偿。陶瓷膜片上对准标记点一般采用冲切的定位孔，或者通过印刷工艺制作的特点标记点。在这些特征的制作过程中，均会产生一定的位置偏差和形状差异，致使图像对准技术对陶瓷膜片上特定标记点的识别出现偏差，陶瓷膜片的位置精度降低。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于针对陶瓷膜片上对准标记点在制作过程中，存在位置偏差和形状差异，致使图像对准技术对陶瓷膜片上特定标记点的识别出现偏差，陶瓷膜片的位置精度降低的问题，提供一种对准装置及叠压机。
[0004]为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：
[0005]本申请提供一种对准装置，包括机架、工作台组件和至少三个相机组件，所述相机组件安装于所述机架，所述相机组件位于所述工作台组件的上方，所述工作台组件用于放置陶瓷膜片，所述陶瓷膜片的对准标记的信息的个数与所述相机组件的个数相同，各所述相机组件用于一一对应的采集所述陶瓷膜片上各对准标记的信息。
[0006]可选的，所述相机组件的个数为四个，在水平面内各所述相机组件呈矩形的四个角点。
[0007]该技术方案的有益效果在于：这样，使各相机组件能够从多个方向采集陶瓷膜片上的对准标记，进一步提高识别陶瓷膜片位置的准确性。当然，也可以为五个、六个或八个等数量。
[0008]可选的，所述相机组件包括相机、底板和第一调节台，所述底板固定于所述机架，所述第一调节台与所述底板在第一方向上滑动配合，所述相机安装于所述第一调节台，所述第一方向平行于水平面。
[0009]该技术方案的有益效果在于：这样，使相机能够与第一调节台一同相对底板在第一方向上移动，进而使相机能够相对工作台组件在第一方向上运动，以调节相机获取信息的位置，提高获取信息的准确性。
[0010]可选的，所述相机组件还包括第二调节台，所述第二调节台安装于所述第一调节台，所述第二调节台与所述第一调节台在第二方向上滑动配合，所述相机安装于所述第二调节台，所述第二方向平行于水平面，且所述第二方向垂直于所述第一方向。
[0011]该技术方案的有益效果在于：这样，增加了相机在水平面内可调整位置的方向，增加了相机调节的灵活性，提高了相机获取信息的准确性。
[0012]可选的，所述相机组件还包括第三调节台，所述第三调节台安装于所述第二调节台，所述第三调节台与所述第二调节台在第三方向上滑动配合，所述相机安装于所述第三调节台，所述第三方向为竖直方向。
[0013]该技术方案的有益效果在于：这样，使相机能够在竖直方向上调整位置，进而适应相机的焦距，改善获取信息的效果，提高获取信息的准确性。
[0014]可选的，还包括安装于所述第二调节台的光源件，所述光源件为环形，所述光源件位于所述相机下方，且所述光源件与所述相机同轴设置。
[0015]该技术方案的有益效果在于：这样，相机可以通过光源件的中心孔获取信息，而环形的光源件能够360
°
为相机提供光照，进而更利于相机获取信息，提高获取信息的准确性。
[0016]可选的，所述光源件通过气缸与所述第二调节台连接，以使所述光源件能够相对所述相机在竖直方向上移动。
[0017]该技术方案的有益效果在于：这使光源件具有较好的竖向位置调节能力，更好的适配相机所需要的光照条件，进而改善获取信息的准确性。
[0018]可选的，所述工作台组件包括工作台面、旋转工作台和底座，所述旋转工作台安装于所述底座，所述工作台面安装于所述旋转工作台的顶部，所述旋转工作台用于带动所述工作台面在水平面内转动。
[0019]该技术方案的有益效果在于：这样，通过旋转工作台带动工作台面在水平面内转动，可以调整陶瓷膜片在周向上对陶瓷膜片进行位置补偿。
[0020]可选的，所述工作台组件还包括第一直线工作台和第二直线工作台，所述第一直线工作台安装于所述底座的顶部，所述第一直线工作台与所述底座在第一方向上滑动配合，所述第二直线工作台安装于所述第一直线工作台的顶部，所述第二直线工作台与所述第一直线工作台在第二方向上滑动配合，所述旋转工作台安装于所述第二直线工作台，所述第一方向和所述第二方向均平行于水平面，且所述第一方向垂直于所述第二方向。
[0021]该技术方案的有益效果在于：这样，通过第一直线工作台可以在第一方向上对陶瓷膜片进行位置补偿，第二直线工作台可以在第二方向上对陶瓷膜片进行位置补偿。
[0022]本申请的另一个方面提供一种叠压机，包括本申请实施例所提供的对准装置。
[0023]本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
[0024]本申请所提供的对准装置及叠压机，在对陶瓷膜片上的对准标记进行图像识别的过程中，通过各所述相机组件用于一一对应的采集所述陶瓷膜片上各对准标记的信息，使陶瓷膜片上位置和形状均正确的各对准标记之间的信息相互佐证，对陶瓷膜片的位置进行准确识别，并排除陶瓷膜片上位置偏差或形状偏差的对准标记的信息对陶瓷膜片位置识别的影响，为精密工作台的移动提供准确依据，进而提高陶瓷膜片的位置精度。
[0025]本申请的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本申请的具体实践可以了解到。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图
获得其他的附图。
[0027]图1为本申请实施例提供的对准装置的一种实施方式的立体结构示意图；
[0028]图2为本申请实施例提供的对准装置的一种实施方式的主视结构示意图；
[0029]图3为本申请实施例提供的相机组件的一种实施方式的立体结构示意图；
[0030]图4为本申请实施例提供的工作台组件的一种实施方式的俯视结构示意图。
[0031]附图标记：
[0032]1‑
相机组件；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
工作台组件；
[0033]3‑
机架；
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光源件；
[0034]5‑
工作台面；
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旋转工作台；
[0035]7‑
第二直线工作台；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ8‑
第一直线工作台本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.对准装置，其特征在于，包括机架、工作台组件和至少三个相机组件，所述相机组件安装于所述机架，所述相机组件位于所述工作台组件的上方，所述工作台组件用于放置陶瓷膜片，所述陶瓷膜片的对准标记的信息的个数与所述相机组件的个数相同，各所述相机组件用于一一对应的采集所述陶瓷膜片上各对准标记的信息。2.根据权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述相机组件的个数为四个，在水平面内各所述相机组件呈矩形的四个角点。3.根据权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述相机组件包括相机、底板和第一调节台，所述底板固定于所述机架，所述第一调节台与所述底板在第一方向上滑动配合，所述相机安装于所述第一调节台，所述第一方向平行于水平面。4.根据权利要求3所述的对准装置，其特征在于，所述相机组件还包括第二调节台，所述第二调节台安装于所述第一调节台，所述第二调节台与所述第一调节台在第二方向上滑动配合，所述相机安装于所述第二调节台，所述第二方向平行于水平面，且所述第二方向垂直于所述第一方向。5.根据权利要求4所述的对准装置，其特征在于，所述相机组件还包括第三调节台，所述第三调节台安装于所述第二调节台，所述第三调节台与所述第二调节台在第三方向上滑动配合，所述相机安装于所述第三调节台，所述第三方向为竖直...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱林涛，魏红飞，黄帅，邓珏琼，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：