一种一体式水刀装置制造方法及图纸

技术编号:35399265 阅读:41 留言:0更新日期:2022-10-29 19:29
本实用新型专利技术涉及一种一体式水刀装置,包括底座,所述底座上设置导轨,所述底座的近端和远端相对设置水刀机构,所述导轨的后端设置传送机构,所述导轨上设置料托。本实用新型专利技术在水刀机构的本体中设置多个分支孔同时射流,射出方向以及水压稳定,分片效果好,同时通过拧紧或拧松固定件使第二支架可以在底座上活动或固定,从而调节水刀机构射流的角度以及与待分片硅片的距离,实用不同尺寸的硅片,分片效果好。好。好。

【技术实现步骤摘要】
一种一体式水刀装置


[0001]本技术涉及硅片分选
,尤其涉及一种一体式水刀装置。

技术介绍

[0002]水刀装置主要应用于薄片化插片的分片工序,硅片在生产过程中需要对切割脱胶之后的硅片进行分片入篮以有利于后一清洗工序快速干净的进行清洗作业。现有技术中的水刀装置存在一下缺陷:
[0003](一)水刀的出水口分散式设置,水压不稳且容易导致射水方向发生偏移,影响分片效果。
[0004](二)水刀的角度和距离不可调整,无法适应不同尺寸的硅片,且分片效果不佳。

技术实现思路

[0005]针对上述现有技术的缺点,本技术的目的是提供一种一体式水刀装置,以解决现有技术中的一个或多个问题。
[0006]为实现上述目的,本技术的技术方案如下:
[0007]一种一体式水刀装置,包括底座,其特征在于:所述底座上设置多根导轨,所述底座的近端和远端相对设置水刀机构,沿所述导轨的出料方向还设置传送机构,所述导轨上可移动地设置料托。
[0008]进一步的,所述水刀机构包括分别设置在所述底座近端和远端的第二支架,所述第二支架上设置本体,所述本体的近端开设多个射流孔,所述本体的远端连接水管的近端,所述水管的远端连接水泵。
[0009]进一步的,所述本体内设置通孔,所述通孔的一部分与所述水管连接,所述通孔的另一部分与所述射流孔连接。
[0010]进一步的,所述底座上开设槽,所述第二支架可活动地设置在所述槽上。
[0011]进一步的,所述一体式水刀装置还包括连接件,所述连接件一部分固定在所述第二支架上,所述连接件另一部分可活动地设置在所述槽内。
[0012]进一步的,所述传送机构包括第一电机、传动组件、转动组件、传送带,所述第一电机的输出端与所述传动组件的一部分连接,所述转动组件的一部分可旋转地连接第一支架,所述传送带的一部分连接所述传动组件的另一部分,所述传送带的另一部分连接所述转动组件的另一部分。
[0013]进一步的,所述传动组件包括第一转轴以及连接所述第一转轴的至少两个主动轮,所述第一转轴与所述第一电机的输出端连接;所述转动组件包括第二转轴以及连接所述第二转轴的两个被动轮;所述传送带为两条,每条所述传送带的近端分别连接所述主动轮,每条所述传送带远端分别连接被动轮。
[0014]进一步的,所述传送带的表面设置多个吸盘。
[0015]进一步的,所述料托包括一底板,所述底板下端设置滑轮,所述底板上分别设置第
一托架和第二托架。
[0016]进一步的,所述底座上设置挡块,所述料托底部设置挡条。
[0017]与现有技术相比,本技术的有益技术效果如下:
[0018](一)本技术设置一体式的水刀机构,在水刀机构的本体中设置多个分支孔同时射流,射出方向以及水压稳定,分片效果好。
[0019](二)本技术中通过拧紧或拧松固定件使第二支架可以在底座上活动或固定,从而调节水刀机构射流的角度以及与待分片硅片的距离,实用不同尺寸的硅片,分片效果好。
[0020](三)本技术中所述底座上设置挡块,所述料托底部对应设置挡条,当挡块与挡条接触时,所述第二电机控制所述料托停止向传送带方向移动,此时硅片刚好分片完毕,避免料托移动距离过大挤坏硅片,提高一体式水刀装置的可靠性。
附图说明
[0021]图1示出了本技术实施例一提供的一体式水刀装置的轴测图。
[0022]图2示出了本技术实施例一提供的一体式水刀装置中传送机构的轴测图。
[0023]图3示出了本技术实施例一提供的一体式水刀装置中水刀机构的轴测图。
[0024]图4示出了本技术实施例一提供的一体式水刀装置中料托的侧视结构示意图。
[0025]图5示出了本技术实施例一提供的一体式水刀装置中本体的内部结构示意图。
[0026]附图中标记:
[0027]1、底座;101、槽;102、挡块;2、导轨;3、水刀机构;301、第二支架;3011、竖直部;3012、横部;302、本体;303、水管;304、通孔;305、射流孔;306、分支孔;4、传送机构;41、第一电机;42、传动组件;421、主动轮;422、第一转轴;43、转动组件;431、被动轮;432、第二转轴;44、传送带;441、吸盘;45、第一支架;46、第三支架;5、料托;501、第一托架;5011、斜面;502、第二托架;503、滑轮;504、挡条;505、底板;6、连接件。
具体实施方式
[0028]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的装置作进一步详细说明。根据下面说明,本技术的优点和特征将更清楚。需要说明的是,附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施方式的目的。为了使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂,请参阅附图。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本技术实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0029]在本技术的描述中,限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等
指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0030]为了更加清楚地描述上述一体式水刀装置的结构,本专利技术限定术语“远端”、“近端”、“前端”、“后端”,具体而言,“远端”表示靠近第一电机41的一端,“近端”表示远离第一电机41的一端,“前端”表示远离传送机构4的一端,“后端”表示靠近传送机构4的一端,以图1为例,图1中底座1的左侧为近端,导轨2的右侧为前端,图1中底座1的右侧为远端,导轨2的左侧为后端。
[0031]实施例一
[0032]一种一体式水刀装置,包括底座1,所述底座1上设置导轨2,所述底座1的近端和远端相对设置水刀机构3,沿所述导轨2的出料方向还设置传送机构4,所述导轨2上设置料托5。
[0033]请参考图1,具体的,所述导轨2设置在两个水刀机构3之间,所述导轨2与所述底座1互为垂直设置,所述导轨2为两根且互相平行设置,所述导轨2的前端为料托5来料方向,相对的所述导轨2后端为出料方向,所述传送机构位于所述导轨2的上方,没有与所述导轨2接触。
[0034]下面描述所述水刀机构3的具体结构如下。
[0035]以远端的水刀机构为例本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体式水刀装置,包括底座,其特征在于:所述底座上设置多根导轨,所述底座的近端和远端相对设置水刀机构,沿所述导轨的出料方向还设置传送机构,所述导轨上可移动地设置料托。2.如权利要求1所述的一种一体式水刀装置,其特征在于:所述水刀机构包括分别设置在所述底座近端和远端的第二支架,所述第二支架上设置本体,所述本体的近端开设多个射流孔,所述本体的远端连接水管的近端,所述水管的远端连接水泵。3.如权利要求2所述的一种一体式水刀装置,其特征在于:所述本体内设置通孔,所述通孔的一部分与所述水管连接,所述通孔的另一部分与所述射流孔连接。4.如权利要求2所述的一种一体式水刀装置,其特征在于:所述底座上开设槽,所述第二支架可活动地设置在所述槽上。5.如权利要求4所述的一种一体式水刀装置,其特征在于:所述一体式水刀装置还包括连接件,所述连接件一部分固定在所述第二支架上,所述连接件另一部分可活动地设置在所述槽内。6.如权利要求1所述的一种一体式水刀装置,其特征在于:所述传...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯震坤黄新普
申请(专利权)人:无锡京运通科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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