一种高质量镀膜的光学用真空腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高质量镀膜的光学用真空腔体，涉及到真空腔体技术领域，包括真空腔体，真空腔体的内部设置有放置罩，放置罩内的壁开设有多个放置口，多个放置口内壁的相对一侧均开设有第一凹槽，多个第一凹槽内壁的相对一侧均开设有滑槽，多个相对应的两个滑槽内壁的相反一侧共同转动连接有双向丝杆。本实用新型专利技术，在放置罩中设置有挡板将需要进行镀膜的材料进行挡住，同时挡板具有挡光、阻热和耐高温的效果，当底部的蒸发源在加热过程中，达到所需要的温度的时候，运作放置罩中的伺服电机，带动一系列装置进行运作，使得挡板打开，对所需要进行镀膜的材料能够在所需要的温度环境下进行镀膜。境下进行镀膜。境下进行镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种高质量镀膜的光学用真空腔体


[0001]本技术涉及真空腔体
，特别涉及一种高质量镀膜的光学用真空腔体。

技术介绍

[0002]OLED，即有机发光二极管，又称为有机电激光显示，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT
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LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度，其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜，因为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。
[0003]现有的真空腔体在使用的时候，通过挡板避免底部的蒸发源被蒸发掉，但是在使用过程中，真空腔体内下部分的温度和上部分的温度相差较大，在挡板打开的时候，底部的温度迅速上升，容易导致温度的流失，达不到所需要的温度，导致在进行镀膜的时候仍然不均匀，容易受到干扰。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高质量镀膜的光学用真空腔体，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的真空腔体在使用的时候，通过挡板避免底部的蒸发源被蒸发掉，但是在使用过程中，真空腔体内下部分的温度和上部分的温度相差较大，在挡板打开的时候，底部的温度迅速上升，容易导致温度的流失，达不到所需要的温度，导致在进行镀膜的时候仍然不均匀，容易受到干扰的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高质量镀膜的光学用真空腔体，包括真空腔体，所述真空腔体的内部设置有放置罩，所述放置罩内的壁开设有多个放置口，多个所述放置口内壁的相对一侧均开设有第一凹槽，多个所述第一凹槽内壁的相对一侧均开设有滑槽，多个相对应的两个所述滑槽内壁的相反一侧共同转动连接有双向丝杆，多个所述双向丝杆杆壁的左右两侧均螺纹连接有两个移动块，两个相对应的所述移动块的相对一侧表面共同固定连接有挡板，多个相对应的所述挡板上侧表面相对一侧的一方均开设有卡槽，多个相对应的所述挡板相对一侧表面的一侧均固定连接有与卡槽相匹配的卡块；
[0006]所述放置罩内壁位于第一凹槽的一侧均开设有第一空腔，两个相对应侧所述双向丝杆的一端均贯穿滑槽内壁的一侧至第一空腔的内部，两个相对应的所述双向丝杆的一端均固定连接有皮带轮，两个相对应的所述皮带轮的相反一侧表面共同通过皮带转动连接，所述放置罩内壁位于第一空腔的一侧均开设有第二空腔，多个所述第二空腔的内壁均固定
连接有伺服电机，多个所述伺服电机的输出端均贯穿第二空腔内壁的一侧至第一空腔的内部，多个所述伺服电机的输出端均与其中一个皮带轮的一侧表面固定连接。
[0007]优选的，多个所述放置口的内壁均固定连接有夹紧装置。
[0008]优选的，所述真空腔体内壁的上侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的下端固定连接有放置壳，所述放置壳的内壁固定连接有电动机，所述电动机的输出端与放置罩的上侧表面固定连接。
[0009]优选的，所述真空腔体内壁的下侧固定连接有底座，所述底座的上侧表面固定连接有蒸发源。
[0010]优选的，所述真空腔体的前侧表面通过铰链转动连接有门体，所述门体前侧表面的右侧固定连接有把手。
[0011]优选的，所述真空腔体下侧表面的四侧均固定连接有支撑腿，多个所述支撑腿的下端均固定连接有脚垫。
[0012]优选的，所述挡板包括挡光板，所述挡光板的下侧表面固定连接有隔热板，所述隔热板的下侧表面固定连接有耐热板。
[0013]本技术的技术效果和优点：
[0014]1、通过设置真空腔体、放置罩、放置口、双向丝杆、移动块、挡板、卡槽、卡块、皮带轮、伺服电机，本技术，在放置罩中设置有挡板将需要进行镀膜的材料进行挡住，同时挡板具有挡光、阻热和耐高温的效果，当底部的蒸发源在加热过程中，达到所需要的温度的时候，运作放置罩中的伺服电机，带动一系列装置进行运作，使得挡板打开，对所需要进行镀膜的材料能够在所需要的温度环境下进行镀膜。
[0015]2、通过设置放置口、夹紧装置，对需要进行镀膜的材料进行夹紧，避免材料坠落，通过设置真空腔体、电动伸缩杆、放置壳、电动机，方便控制放置罩中材料在进行镀膜的高度，同时可以使得放置罩进行转动，通过设置真空腔体、底座、蒸发源，蒸发源将需要进行镀膜的材料进行蒸发，使得材料可以随着蒸发的热量达到镀膜材料的表面。
[0016]3、通过设置真空腔体、门体、把手，方便对真空腔体中的装置进行检查，以及激昂需要进行镀膜的材料放置在放置口中，通过设置真空腔体、支撑腿、脚垫，对装置整体进行支撑，保持装置整体的稳定，通过设置挡板、挡光板、隔热板、耐热板，使得挡板更加耐用，对所需要进行镀膜的材料得到更好的保护，可以对材料一次性镀膜成功。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体立体结构示意图。
[0018]图2为本技术的真空腔体前侧刨面结构示意图。
[0019]图3为本技术的放置罩下侧结构示意图。
[0020]图4为本技术的放置罩下侧刨面截面结构示意图。
[0021]图5为本技术的挡板前侧刨面截面结构示意图。
[0022]图6为本技术的挡板左侧刨面截面结构示意图。
[0023]图中：1、真空腔体；2、放置罩；3、放置口；4、双向丝杆；5、移动块；6、挡板；7、卡槽；8、卡块；9、皮带轮；10、伺服电机；11、夹紧装置；12、电动伸缩杆；13、放置壳；14、电动机；15、底座；16、蒸发源；17、门体；18、把手；19、支撑腿；20、脚垫；21、挡光板；22、隔热板；23、耐热
板。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]本技术提供了如图1
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6所示的一种高质量镀膜的光学用真空腔体，包括真空腔体1，真空腔体1的内部设置有放置罩2，放置罩2内的壁开设有多个放置口3，多个放置口3内壁的相对一侧均开设有第一凹槽，多个第一凹槽内壁的相对一侧均开设有滑槽，多个相对应的两个滑槽内壁的相反一侧共同转动连接有双向丝杆4，多个双向丝杆4杆壁的左右两侧均螺纹连接有两个移动块5，两个相对应的移动块5的相对一侧表面共同固定连接有挡板6，多个相对应的挡板6上侧表面相对一侧的一方均开设有卡槽7，多个相对应的挡板6相对一侧表面的一侧均固定连接有与卡槽7相匹配的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高质量镀膜的光学用真空腔体，包括真空腔体(1)，其特征在于：所述真空腔体(1)的内部设置有放置罩(2)，所述放置罩(2)内的壁开设有多个放置口(3)，多个所述放置口(3)内壁的相对一侧均开设有第一凹槽，多个所述第一凹槽内壁的相对一侧均开设有滑槽，多个相对应的两个所述滑槽内壁的相反一侧共同转动连接有双向丝杆(4)，多个所述双向丝杆(4)杆壁的左右两侧均螺纹连接有两个移动块(5)，两个相对应的所述移动块(5)的相对一侧表面共同固定连接有挡板(6)，多个相对应的所述挡板(6)上侧表面相对一侧的一方均开设有卡槽(7)，多个相对应的所述挡板(6)相对一侧表面的一侧均固定连接有与卡槽(7)相匹配的卡块(8)；所述放置罩(2)内壁位于第一凹槽的一侧均开设有第一空腔，两个相对应侧所述双向丝杆(4)的一端均贯穿滑槽内壁的一侧至第一空腔的内部，两个相对应的所述双向丝杆(4)的一端均固定连接有皮带轮(9)，两个相对应的所述皮带轮(9)的相反一侧表面共同通过皮带转动连接，所述放置罩(2)内壁位于第一空腔的一侧均开设有第二空腔，多个所述第二空腔的内壁均固定连接有伺服电机(10)，多个所述伺服电机(10)的输出端均贯穿第二空腔内壁的一侧至第一空腔的内部，多个所述伺服电机(10)的输出端均与其中一个皮带轮(9)的一侧表面固定连接。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄介龙，
申请(专利权)人：江阴慕达斯真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：