本申请实施例公开了一种抛光垫粘贴装置，包括压紧件、夹持舒展组件和驱动组件。夹持舒展组件在驱动组件的作用下贴合抛光垫的上下表面运动，使抛光垫处于舒展状态，压紧件在驱动组件的作用下沿着抛光垫的上表面运动，对粘贴在大盘上的抛光垫施加压紧力，使抛光垫平整粘贴在抛光机的大盘上。夹持舒展组件对抛光垫进行夹持舒展，舒展后的抛光垫粘贴在大盘上，压紧件同时对粘贴在大盘上的抛光垫进行压紧，使抛光垫在大盘上粘贴平整。本申请公开的抛光垫粘贴装置能够实现抛光垫在大盘上的自动粘贴，相对于现有技术中通过人工手动粘贴的方式，降低了抛光垫粘贴的人工劳动强度。降低了抛光垫粘贴的人工劳动强度。降低了抛光垫粘贴的人工劳动强度。
【技术实现步骤摘要】
一种抛光垫粘贴装置
[0001]本申请涉及半导体
，特别涉及一种抛光垫粘贴装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，抛光垫一般是通过工作人员手动贴布在抛光机的大盘上，导致抛光垫的贴布效率低，人工劳动强度大。
[0003]因此，如何提高抛光垫的贴布效率，降低抛光垫贴布的人工劳动强度，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0004]本申请提出了一种抛光垫粘贴装置，以提高抛光垫的贴布效率，降低抛光垫贴布的人工劳动强度。
[0005]为了实现上述目的，本申请提供了一种抛光垫粘贴装置，包括：
[0006]压紧件，能够位于抛光垫的上表面，用于向所述抛光垫施加压紧力；
[0007]夹持舒展组件，能够夹持所述抛光垫，使所述抛光垫处于舒展状态；
[0008]驱动组件，与所述压紧件和所述夹持舒展组件连接，用于驱动所述夹持舒展组件在所述抛光垫上运动，同时驱动所述压紧件沿所述抛光垫的上表面运动，以压紧所述抛光垫在抛光机的大盘上。
[0009]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述夹持舒展组件包括上夹持件、下夹持件和连接组件，
[0010]所述连接组件用于连接所述上夹持件和所述下夹持件；
[0011]所述上夹持件和所述下夹持件平行且能够分别位于所述抛光垫的上表面和下表面，所述上夹持件与所述下夹持件之间的距离至少等于所述抛光垫的厚度。
[0012]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述上夹持件为滚筒或夹板，所述下夹持件为滚筒或夹板。
[0013]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述上夹持件和所述下夹持件为长度可调夹持件，所述长度可调夹持件的最大长度至少等于所述抛光垫的直径，所述长度可调夹持件的长度方向的两端分别设置所述连接组件。
[0014]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述驱动组件包括：
[0015]圆形滑轨，所述圆形滑轨的直径至少等于所述大盘的直径；
[0016]第一滑杆，能够在所述圆形滑轨上滑动，所述第一滑杆的个数为两个，且分别与所述连接组件连接，所述第一滑杆与所述压紧件连接。
[0017]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述连接组件包括：
[0018]第一连接杆，与所述上夹持件连接；
[0019]第二连接杆，与所述下夹持件连接；
[0020]第三连接杆，所述第三连接杆的两端分别与所述第一连接杆和所述第二连接杆连
接，所述第三连接杆与所述驱动组件连接。
[0021]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述第一连接杆通过调节螺杆与所述第三连接杆连接，和/或，所述第二连接杆通过调节螺杆与所述第三连接杆连接。
[0022]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述压紧件通过拉杆或链条或钢丝绳与所述驱动组件连接。
[0023]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述压紧件为棱柱形压紧件，所述棱柱形压紧件的其中一个棱柱面压紧在所述抛光垫上。
[0024]优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，还包括测距传感器，与所述驱动组件连接，用于检测所述测距传感器与所述大盘的上表面之间的第一距离以及所述测距传感器与所述抛光垫的上表面之间的第二距离。
[0025]本申请实施例提供的抛光垫粘贴装置，包括压紧件、夹持舒展组件和驱动组件配合。夹持舒展组件在驱动组件的作用下贴合抛光垫的上下表面运动，使抛光垫处于舒展状态，压紧件在驱动组件的作用下对粘贴在大盘上的抛光垫施加压紧力，使抛光垫平整粘贴在抛光机的大盘上。夹持舒展组件对抛光垫进行夹持舒展，舒展后的抛光垫粘贴在大盘上，压紧件同时对粘贴在大盘上的抛光垫进行压紧，使抛光垫在大盘上粘贴平整。本申请公开的抛光垫粘贴装置能够实现抛光垫在大盘上的自动粘贴，相对于现有技术中通过人工手动粘贴的方式，降低了抛光垫粘贴的人工劳动强度。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图，而且还可以根据提供的附图将本申请应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明，图中相同标号代表相同结构或操作。
[0027]图1是本申请的抛光垫粘贴装置的结构示意图；
[0028]图2是本申请的夹持舒展组件的结构示意图。
[0029]其中：
[0030]1、压紧件，2、抛光垫，3、夹持舒展组件，31、上夹持件， 32、下夹持件，33、连接组件，4、驱动组件，41、圆形滑轨，42、第一滑杆，5、拉杆，6、测距传感器。
具体实施方式
[0031]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关申请，而非对该申请的限定。所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0032]需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关申请相关的部分。在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0033]应当理解，本申请中使用的“系统”、“装置”、“单元”和/或“模块”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而，如果其他词语可实现相同的目
的，则可通过其他表达来替换该词语。
[0034]如本申请和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0035]其中，在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“/”表示或的意思，例如，A/B可以表示A或B；本文中的“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，在本申请实施例的描述中，“多个”是指两个或多于两个。
[0036]以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0037]本申请中使用了流程图用来说明根据本申请的实施例的系统所执行的操作。应当理解的是，前面或后面操作不一定按照顺序来精确地执行。相反，可以按照倒序或同时处理各个步骤。同时，也可以将其他操作添加到这些过程中，或从这些过程移除某一步或本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抛光垫粘贴装置，其特征在于，包括：压紧件(1)，能够位于抛光垫(2)的上表面，用于向所述抛光垫(2)施加压紧力；夹持舒展组件(3)，能够夹持所述抛光垫(2)，使所述抛光垫(2)处于舒展状态；驱动组件(4)，与所述压紧件(1)和所述夹持舒展组件(3)连接，用于驱动所述夹持舒展组件(3)在所述抛光垫(2)上运动，同时驱动所述压紧件(1)沿所述抛光垫(2)的上表面运动，以压紧所述抛光垫(2)在抛光机的大盘上。2.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述夹持舒展组件(3)包括上夹持件(31)、下夹持件(32)和连接组件(33)，所述连接组件(33)用于连接所述上夹持件(31)和所述下夹持件(32)；所述上夹持件(31)和所述下夹持件(32)平行且能够分别位于所述抛光垫(2)的上表面和下表面，所述上夹持件(31)与所述下夹持件(32)之间的距离至少等于所述抛光垫(2)的厚度。3.根据权利要求2所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述上夹持件(31)为滚筒或夹板，所述下夹持件(32)为滚筒或夹板。4.根据权利要求2
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3中任一项所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述上夹持件(31)和所述下夹持件(32)为长度可调夹持件，所述长度可调夹持件的最大长度至少等于所述抛光垫(2)的直径，所述长度可调夹持件的长度方向的两端分别设置所述连接组件(33)。5.根据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李晨霞，郭钰，刘春俊，眭旭，彭同华，杨建，
申请(专利权)人：北京天科合达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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