一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置制造方法及图纸

技术编号:35385146 阅读:13 留言:0更新日期:2022-10-29 18:50
本实用新型专利技术涉及微电子材料技术领域,且公开了一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置,包括顶板、移动装置、升降装置以及夹取装置,移动装置安装在顶板内部,升降装置安装在移动装置下方,夹取装置安装在升降装置底部。该用于微电子材料生产的便捷式夹取装置,通过在底板底部安装槽内设置多个夹片,在夹片上开设与第二螺纹杆相适配的螺纹孔,使用时可通过安装在底板侧壁的第二驱动电机转动第二螺纹杆,带动夹片的移动,由于第二螺纹杆上的外螺纹交错相反设置,使得螺纹杆转动时第一夹片和第二夹片可进行夹取或松开操作。第二夹片可进行夹取或松开操作。第二夹片可进行夹取或松开操作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置


[0001]本技术涉及微电子材料
,具体为一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置。

技术介绍

[0002]微电子材料主要是大直径(400mm)硅单晶及片材技术,大直径(200mm)硅片外延技术,150mmGaAs和100mmI nP晶片及其以它们为基的Ⅲ一V族半导体超晶格、量子阱异质结构材料制备技术,GeSi合金和宽禁带半导体材料等。
[0003]在微电子材料生产中,目前市场上的夹取装置多为单一夹片,每次只能夹取单一微电子材料,导致生产效率低,且多数夹取装置只能提供建议的夹取升降操作,并不能实现水平位移,使用不便。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对上述
技术介绍
中现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置,以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上的一些夹取装置,存在多为单一夹片,每次只能夹取单一微电子材料,导致生产效率低,且多数夹取装置只能提供建议的夹取升降操作,并不能实现水平位移,使用不便的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:
[0008]一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置,包括顶板、移动装置、升降装置以及夹取装置,移动装置安装在顶板内部,升降装置安装在移动装置下方,夹取装置安装在升降装置底部;
[0009]顶板内部水平开设有T形槽,T形槽底部贯穿顶板底壁;
[0010]移动装置包括第一固定装置、第一驱动电机、第一螺纹杆以及与T形槽相适配的T形块,第一固定装置安装在顶板一端,第一固定装置内部安装有第一驱动电机,第一驱动电机输出端通过联轴器固定有第一螺纹杆,T形块上开设有与第一螺纹杆相适配的第一螺纹孔,第一螺纹杆远离第一驱动电机的一端贯穿第一螺纹孔并与T形槽的侧壁通过轴承转动连接;
[0011]升降装置包括液压缸、液压伸缩杆,T形块底部固定有连接板,连接板底部固定有液压缸,液压缸底部输出端安装有液压伸缩杆;
[0012]夹取装置包括底板、第二固定装置、第二驱动电机、第二螺纹杆以及多个夹片,底板底部开设有安装槽,底板侧壁安装有第二固定装置,第二驱动电机安装在第二固定装置内部,第二驱动电机输出端通过联轴器固定有第二螺纹杆,第二螺纹杆远离第二驱动电机的一端贯穿安装槽并与安装槽的侧壁通过轴承转动连接;
[0013]第二螺纹杆上交错开设有多个第一外螺纹以及多个第二外螺纹,多个第一外螺纹
均与多个第二外螺纹方向相反,多个夹片包括多个第一夹片以及多个第二夹片,多个第一夹片侧壁顶部均开设有与第一外螺纹相适配的第一螺纹孔,多个第二夹片侧壁顶部均开设有与第二外螺纹相适配的第二螺纹孔,多个第一夹片与第二外螺纹交错螺纹连接在第二螺纹杆上。
[0014]优选的,第一固定装置包括壳体以及延伸板,延伸板设有两个,且两个延伸板对称焊接在壳体一端的两侧,两个延伸板上均开设有多个第一固定螺纹孔,壳体一侧壁开设有电机固定槽,壳体对称两侧壁均开设有多个散热槽。
[0015]优选的,第二固定装置与第一固定装置结构相同,且多个散热槽均与电机固定槽相连通。
[0016]优选的,安装槽内部固定有两个均与第二螺纹杆相平行的导向杆,两个导向杆的两端分别与安装槽的两侧壁相固定,多个夹片上均开设有与导向杆相适配的导向孔,夹片与导向杆滑动连接。
[0017]进一步的,夹片侧壁均粘接有橡胶垫。
[0018]进一步的,多个夹片均安装在安装槽内部。
[0019]进一步的,顶板顶部开设有多个第二固定螺纹孔。
[0020](三)有益效果
[0021]与现有技术相比,本技术的有益效果是:该用于微电子材料生产的便捷式夹取装置:
[0022](1)通过在底板底部安装槽内设置多个夹片,在夹片上开设与第二螺纹杆相适配的螺纹孔,使用时可通过安装在底板侧壁的第二驱动电机转动第二螺纹杆,带动夹片的移动,由于第二螺纹杆上的外螺纹交错相反设置,使得螺纹杆转动时第一夹片和第二夹片可进行夹取或松开操作,通过在升降装置顶部增设顶板,在顶板内部设置移动装置,可实现升降装置和夹取装置的水平移动操作,方便使用。
[0023](2)通过在夹片的侧壁粘接橡胶垫,避免由于夹取力度过大导致夹片损伤微电子材料;通过在顶板顶部开设多个第二固定螺纹孔,方便顶板的拆装;通过在第一驱动电机和第二驱动电机外侧分别设置第一固定装置以及第二固定装置,对驱动电机起到固定装置的同时,延伸板上的第一固定螺纹孔方便固定装置的拆装。
附图说明
[0024]图1为本技术用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的主体结构示意图;
[0025]图2为本技术用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的局部剖视结构示意图;
[0026]图3为本技术用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的主视剖面结构示意图;
[0027]图4为本技术用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的夹取装置结构示意图;
[0028]图5为本技术用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的第一固定装置结构示意图。
[0029]图中:顶板1,T形槽2,T形块3,第一螺纹孔4,第一螺纹杆5,第一固定装置6,第一驱
动电机7,连接板8,液压缸9,液压伸缩杆10,底板11,第二固定装置12,第二驱动电机13,安装槽14,多个夹片15,第一夹片1501,第二夹片1502,第二螺纹杆16,第一外螺纹17,第二外螺纹18,导向杆19,橡胶垫20,延伸板21,第一固定螺纹孔22,电机固定槽23,散热槽24,第二固定螺纹孔25,壳体26。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0031]请参阅图1

5所示,本技术提供一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置;包括顶板1、移动装置、升降装置以及夹取装置,移动装置安装在顶板1内部,升降装置安装在移动装置下方,夹取装置安装在升降装置底部;
[0032]顶板1内部水平开设有T形槽2,T形槽2底部贯穿顶板1底壁;
[0033]移动装置包括第一固定装置6、第一驱动电机7、第一螺纹杆5以及与T形槽2相适配的T形块3,第一固定装置6安装在顶板1一端,第一固定装置6内部安装有第一驱动电机7,第一驱动电机7输出端通过联轴器固定有第一螺纹杆5,T形块3上开设有与第一螺纹杆5相适配的第一螺纹孔4,第一螺纹杆5远离第一驱动电机7的一端贯穿第一螺纹孔4并与T形槽2的侧壁通过轴承转动连接;
[0034]升降装置包括液压缸9、液压伸缩杆10,T形块3底部固定有连接板本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置,包括顶板(1)、移动装置、升降装置以及夹取装置,其特征在于,移动装置安装在顶板(1)内部,升降装置安装在移动装置下方,夹取装置安装在升降装置底部;所述顶板(1)内部水平开设有T形槽(2),T形槽(2)底部贯穿顶板(1)底壁;所述移动装置包括第一固定装置(6)、第一驱动电机(7)、第一螺纹杆(5)以及与T形槽(2)相适配的T形块(3),第一固定装置(6)安装在顶板(1)一端,第一固定装置(6)内部安装有第一驱动电机(7),第一驱动电机(7)输出端通过联轴器固定有第一螺纹杆(5),T形块(3)上开设有与第一螺纹杆(5)相适配的第一螺纹孔(4),第一螺纹杆(5)远离第一驱动电机(7)的一端贯穿第一螺纹孔(4)并与T形槽(2)的侧壁通过轴承转动连接;所述升降装置包括液压缸(9)、液压伸缩杆(10),T形块(3)底部固定有连接板(8),连接板(8)底部固定有液压缸(9),液压缸(9)底部输出端安装有液压伸缩杆(10);所述夹取装置包括底板(11)、第二固定装置(12)、第二驱动电机(13)、第二螺纹杆(16)以及多个夹片(15),底板(11)底部开设有安装槽(14),底板(11)侧壁安装有第二固定装置(12),第二驱动电机(13)安装在第二固定装置(12)内部,第二驱动电机(13)输出端通过联轴器固定有第二螺纹杆(16),第二螺纹杆(16)远离第二驱动电机(13)的一端贯穿安装槽(14)并与安装槽(14)的侧壁通过轴承转动连接;所述第二螺纹杆(16)上交错开设有多个第一外螺纹(17)以及多个第二外螺纹(18),多个第一外螺纹(17)均与多个第二外螺纹(18)螺纹方向相反,多个夹片(15)包括多个第一夹片(15...

【专利技术属性】
技术研发人员:程泽玉
申请(专利权)人:史巴克电子苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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