一种激光晶体铱籽晶杆制造技术

本实用新型专利技术属于籽晶杆技术领域，尤其是一种激光晶体铱籽晶杆，包括装于晶体生长炉内的籽晶杆，籽晶杆的外表面套装有固定铱杆，固定铱杆与籽晶杆之间设置有可调式稳定装置，可调式稳定装置包括固定环和铱环，固定环与铱环通过相互套接而实现固定铱杆与籽晶杆的固定连接，实现籽晶杆的同心转动。该激光晶体铱籽晶杆，通过固定铱杆的锥形连接头与固定环上表面对接后，上铱环与下铱环靠自重在固定环与锥形连接头的外表面向下滑动，两个铱环越向下运动，则越对固定环与锥形连接头进行挤压收缩，将固定环牢固的固定在籽晶杆上，并通过将固定销杆插入对接的固定销孔，使籽晶杆不能上下运动，使籽晶体在旋转的旋转过程中能够保持很好的同心度。的同心度。的同心度。

【技术实现步骤摘要】
一种激光晶体铱籽晶杆


[0001]本技术涉及籽晶杆
，尤其涉及一种激光晶体铱籽晶杆。

技术介绍

[0002]激光晶体目前大多采用提拉法进行生长，在生长初期，需要籽晶作为形核核心，在形核过程中，籽晶需要不断的旋转，提拉法的基本原理是将原料在坩埚中加热溶化，缓慢将籽晶与熔体接触，通过精确控制温度和晶体的拉速与转速，使得固液界面处熔体不断凝固而生长出晶体。
[0003]晶体生长过程中，籽晶安装在籽晶杆下端头，籽晶需要接触到材料的熔体中心并稳定的旋转及上升，籽晶的提拉和旋转通过籽晶杆的升降和旋转来实现，籽晶杆运动的稳定性直接影响晶体的生长质量。当籽晶杆进行机械运动时，顶端传动、连接装置的细微震动通过籽晶杆传导到籽晶处时，会导致籽晶摆动，影响籽晶在熔体中的稳定性及旋转同心度，使得籽晶扰乱所接触熔体的局部热场和温度梯度，对引晶产生很大的影响，从而影响晶体生长的质量，甚至无法生长出合格的单晶，因此如何将籽晶固定牢固，并且能够在晶体生长过程中不发生摆动，是籽晶固定中亟需解决的技术难题。

技术实现思路

[0004]基于现有的激光晶体在生长的过程中连接装置的细微震动通过籽晶杆传导到籽晶处时，会导致籽晶摆动，影响籽晶在熔体中的稳定性及旋转同心度，导致无法生长出合格的单晶的技术问题，本技术提出了一种激光晶体铱籽晶杆。
[0005]本技术提出的一种激光晶体铱籽晶杆，包括装于晶体生长炉内的籽晶杆，所述籽晶杆的外表面套装有固定铱杆，所述固定铱杆与所述籽晶杆之间设置有可调式稳定装置，所述可调式稳定装置包括固定环和铱环，所述固定环与所述铱环通过相互套接而实现所述固定铱杆与所述籽晶杆的固定连接，实现所述籽晶杆的同心转动。
[0006]优选地，所述籽晶杆的外表面与所述固定铱杆的内壁活动套接，所述籽晶杆的外表面与所述固定环的内壁滑动套接；
[0007]通过上述技术方案，籽晶杆的外表面与固定铱杆的内壁滑动接触，从而固定铱杆可对籽晶杆的外表面通过套接而限位，使籽晶杆与固定铱杆保持同轴同心转动，固定环呈锥形，并设置在籽晶杆的底端外表面，进而对籽晶杆的底端进行稳固。
[0008]优选地，所述固定铱杆的下端外表面固定套接有锥形连接头，所述锥形连接头的下表面与所述固定环的上表面滑动接触，所述铱环包括上铱环与下铱环，所述上铱环的内壁分别与所述锥形连接头的外表面及所述固定环的外表面滑动卡接，所述下铱环的内壁与所述固定环的外表面滑动卡接；
[0009]通过上述技术方案，锥形连接头实现将固定铱杆与固定环实现对接，籽晶杆的外表面分别与固定铱杆的内壁与固定环的内壁滑动接触，上铱环与下铱环均呈锥形，从而在锥形连接头与固定环上表面对接后，上铱环与下铱环靠自重在固定环与锥形连接头的外表
面向下滑动，两个铱环越向下运动，则越对固定环与锥形连接头进行挤压收缩，将固定环牢固的固定在籽晶杆上，将固定铱杆与固定环实现连接。
[0010]优选地，所述籽晶杆的底端两侧外表面均开设有呈对称的固定销孔，所述固定环的外表面与所述固定销孔对应的位置开设有对接孔，所述对接孔与所述固定销孔的内壁固定插接有固定销杆；
[0011]通过上述技术方案，在固定环将籽晶杆固定后，固定销孔与对接孔位置对应，从而将固定销杆插入对接的固定销孔，使籽晶杆不能上下运动，从而避免籽晶杆的重力使铱环与固定环脱离。
[0012]优选地，所述籽晶杆与所述固定铱杆的上端表面贯穿开设有对应的支撑销孔，所述支撑销孔的内壁固定插接有支撑销杆；
[0013]通过上述技术方案，支撑销杆将固定铱杆与籽晶杆的上端进行连接，从而使得贯穿支撑销孔的支撑销杆对籽晶杆进行承重，避免籽晶杆在重力的作用下向下运动，支撑销杆与支撑销孔居中设置。
[0014]优选地，所述籽晶杆的底端内部开设有夹持插孔，所述夹持插孔的内壁滑动插接有籽晶体，所述籽晶体的两侧外表面开设有凹通道，所述籽晶杆的底端两侧外表面与所述凹通道对应的开设有连接销孔，所述凹通道与所述连接销孔的内壁固定插接有籽晶销；
[0015]通过上述技术方案，籽晶体插入籽晶杆底部的夹持插孔中，此时凹通道与连接销孔对应，通过插入籽晶销，可将籽晶体进行固定，使籽晶体不能够上下运动。
[0016]本技术中的有益效果为：
[0017]通过设置可调式稳定装置，可使籽晶杆带动籽晶体保持旋转同心度转动，在调节的过程中，通过固定铱杆的锥形连接头与固定环上表面对接后，上铱环与下铱环靠自重在固定环与锥形连接头的外表面向下滑动，两个铱环越向下运动，则越对固定环与锥形连接头进行挤压收缩，将固定环牢固的固定在籽晶杆上，并通过将固定销杆插入对接的固定销孔，使籽晶杆不能上下运动，从而避免籽晶杆的重力使铱环与固定环脱离，实现了籽晶杆与籽晶体之间很好的同轴度，使籽晶体在旋转的旋转过程中能够保持很好的同心度，保证了其稳定性，同时提高的籽晶体的生长效率。
附图说明
[0018]图1为本技术提出的一种激光晶体铱籽晶杆的示意图；
[0019]图2为本技术提出的一种激光晶体铱籽晶杆的籽晶杆结构爆炸图；
[0020]图3为本技术提出的一种激光晶体铱籽晶杆的籽晶体结构爆炸图。
[0021]图中：1、籽晶杆；11、固定销孔；12、支撑销孔；13、支撑销杆；14、夹持插孔；15、连接销孔；16、籽晶销；2、固定铱杆；21、锥形连接头；3、固定环；31、对接孔；32、固定销杆；4、铱环；41、上铱环；42、下铱环；5、籽晶体；51、凹通道。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]参照图1
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3，一种激光晶体铱籽晶杆，包括装于晶体生长炉内的籽晶杆1，籽晶杆1的外表面套装有固定铱杆2，固定铱杆2与籽晶杆1之间设置有可调式稳定装置，可调式稳定装置包括固定环3和铱环4，固定环3与铱环4通过相互套接而实现固定铱杆2与籽晶杆1的固定连接，实现籽晶杆1的同心转动；
[0024]籽晶杆1的外表面与固定铱杆2的内壁活动套接，籽晶杆1的外表面与固定环3的内壁滑动套接，籽晶杆1的外表面与固定铱杆2的内壁滑动接触，从而固定铱杆2可对籽晶杆1的外表面通过套接而限位，使籽晶杆1与固定铱杆2保持同轴同心转动，固定环3呈锥形，并设置在籽晶杆1的底端外表面，进而对籽晶杆1的底端进行稳固；
[0025]固定铱杆2的下端外表面固定套接有锥形连接头21，锥形连接头21的下表面与固定环3的上表面滑动接触，铱环4包括上铱环41与下铱环42，上铱环41的内壁分别与锥形连接头21的外表面及固定环3的外表面滑动卡接，下铱环42的内壁与固定环3的外表面滑动卡接，锥形连接头21实现将固定铱杆2与固定环3实现对接，籽晶杆1的外表面分别与固定铱杆2的内壁与固定环3的内壁滑动接触，上铱环41与下铱环42均呈锥形，从而在锥形连接头21与固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光晶体铱籽晶杆，包括装于晶体生长炉内的籽晶杆(1)，其特征在于：所述籽晶杆(1)的外表面套装有固定铱杆(2)，所述固定铱杆(2)与所述籽晶杆(1)之间设置有可调式稳定装置，所述可调式稳定装置包括固定环(3)和铱环(4)，所述固定环(3)与所述铱环(4)通过相互套接而实现所述固定铱杆(2)与所述籽晶杆(1)的固定连接，实现所述籽晶杆(1)的同心转动。2.根据权利要求1所述的一种激光晶体铱籽晶杆，其特征在于：所述籽晶杆(1)的外表面与所述固定铱杆(2)的内壁活动套接，所述籽晶杆(1)的外表面与所述固定环(3)的内壁滑动套接。3.根据权利要求1所述的一种激光晶体铱籽晶杆，其特征在于：所述固定铱杆(2)的下端外表面固定套接有锥形连接头(21)，所述锥形连接头(21)的下表面与所述固定环(3)的上表面滑动接触，所述铱环(4)包括上铱环(41)与下铱环(42)，所述上铱环(41)的内壁分别与所述锥形连接头(21)的外表面及所述固定环(3)的外表面滑动卡接，所述下铱环(42)...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，周义春，
申请(专利权)人：咸阳旭光晶圆材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：